JPS60176288U - 洗浄装置 - Google Patents
洗浄装置Info
- Publication number
- JPS60176288U JPS60176288U JP6335284U JP6335284U JPS60176288U JP S60176288 U JPS60176288 U JP S60176288U JP 6335284 U JP6335284 U JP 6335284U JP 6335284 U JP6335284 U JP 6335284U JP S60176288 U JPS60176288 U JP S60176288U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cleaning equipment
- processed
- substrate
- abstract
- washing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図は本考案に係る洗浄装置の一実施例を示す概略的
説明図、第2図は同じく要部拡大説明図、第3図は従来
の洗浄装置の要部拡大説明図である。 11・・・基板、14・・・洗浄装置、15・・・搬送
ロール、16・・・絞りロール、17・・・洗浄液の噴
射ノズル、18・・・押えロール。
説明図、第2図は同じく要部拡大説明図、第3図は従来
の洗浄装置の要部拡大説明図である。 11・・・基板、14・・・洗浄装置、15・・・搬送
ロール、16・・・絞りロール、17・・・洗浄液の噴
射ノズル、18・・・押えロール。
Claims (1)
- 水平搬送される被加工基板を液洗いし、液切りする洗浄
装置において、前記被加工基板の液洗い部の途上を押え
ローにてV字型に押下げたことを特徴とする洗浄装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6335284U JPS60176288U (ja) | 1984-04-28 | 1984-04-28 | 洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6335284U JPS60176288U (ja) | 1984-04-28 | 1984-04-28 | 洗浄装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60176288U true JPS60176288U (ja) | 1985-11-21 |
JPS6338954Y2 JPS6338954Y2 (ja) | 1988-10-13 |
Family
ID=30593412
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6335284U Granted JPS60176288U (ja) | 1984-04-28 | 1984-04-28 | 洗浄装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS60176288U (ja) |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5623298U (ja) * | 1979-07-25 | 1981-03-02 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5623298B2 (ja) * | 1973-04-14 | 1981-05-30 |
-
1984
- 1984-04-28 JP JP6335284U patent/JPS60176288U/ja active Granted
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5623298U (ja) * | 1979-07-25 | 1981-03-02 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS6338954Y2 (ja) | 1988-10-13 |
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