JPS60164200U - 調圧液封装置 - Google Patents
調圧液封装置Info
- Publication number
- JPS60164200U JPS60164200U JP5201984U JP5201984U JPS60164200U JP S60164200 U JPS60164200 U JP S60164200U JP 5201984 U JP5201984 U JP 5201984U JP 5201984 U JP5201984 U JP 5201984U JP S60164200 U JPS60164200 U JP S60164200U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- height
- pressure regulating
- liquid seal
- regulating liquid
- difference
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Pressure Vessels And Lids Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案の一実施例の簡略化した側断面図、第２
図、第３図、第４図はそれぞれ異なる他の実施例の簡略
化した側断面図、第５図は従来装置の簡略化した側断面
図。 １０は気体の゛導管、２０は液封槽、３０はＵ字
□管、４０は直立管。
図、第３図、第４図はそれぞれ異なる他の実施例の簡略
化した側断面図、第５図は従来装置の簡略化した側断面
図。 １０は気体の゛導管、２０は液封槽、３０はＵ字
□管、４０は直立管。
Claims (1)
- 貯留気体の圧力を大気圧近傍に調整する調圧液封装置に
おいて、貯留気体の導管を液封槽に連結するとともに該
槽の側面にＵ字管およびその下方に開口する直立管を取
付け、Ｕ字管の高さをＨい、Ｕ字管取付位置と直立管下
端の高さの差をＨＢとしたとき、Ｕ字管の上端と取付位
置との高さの差をＨＢより大きく直立管の上端とＵ字管
取付位置との高さの差を比より大きくなし且つ直立管よ
り封止液を供給する如くなしたことを特徴とする調圧液
封装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5201984U JPS60164200U (ja) | 1984-04-11 | 1984-04-11 | 調圧液封装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5201984U JPS60164200U (ja) | 1984-04-11 | 1984-04-11 | 調圧液封装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60164200U true JPS60164200U (ja) | 1985-10-31 |
| JPH0414712Y2 JPH0414712Y2 (ja) | 1992-04-02 |
Family
ID=30571588
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5201984U Granted JPS60164200U (ja) | 1984-04-11 | 1984-04-11 | 調圧液封装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60164200U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008078410A1 (ja) * | 2006-12-22 | 2008-07-03 | Maruzen Petrochemical Co., Ltd. | 半導体リソグラフィー用重合体の製造方法 |
-
1984
- 1984-04-11 JP JP5201984U patent/JPS60164200U/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008078410A1 (ja) * | 2006-12-22 | 2008-07-03 | Maruzen Petrochemical Co., Ltd. | 半導体リソグラフィー用重合体の製造方法 |
| JP2008174741A (ja) * | 2006-12-22 | 2008-07-31 | Maruzen Petrochem Co Ltd | 半導体リソグラフィー用重合体の製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0414712Y2 (ja) | 1992-04-02 |
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