JPS60162731U - セラミツク材を用いた空気軸受装置 - Google Patents
セラミツク材を用いた空気軸受装置Info
- Publication number
- JPS60162731U JPS60162731U JP17759383U JP17759383U JPS60162731U JP S60162731 U JPS60162731 U JP S60162731U JP 17759383 U JP17759383 U JP 17759383U JP 17759383 U JP17759383 U JP 17759383U JP S60162731 U JPS60162731 U JP S60162731U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air bearing
- ceramic material
- bearing device
- air
- orifice
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C29/00—Bearings for parts moving only linearly
- F16C29/02—Sliding-contact bearings
- F16C29/025—Hydrostatic or aerostatic
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
- F16C32/0603—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a gas cushion, e.g. an air cushion
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図はこの考案のセラミック材を用いた空気軸受装置
の概要を示す断面図、第2図は第1図A部の拡大断面図
である。 1・・・載置台、2・・・空気軸受本体、3・・・空気
導入口、4・・・ガラス板、5・・・パレット、6・・
・パレット上の溝、7・・・オリフィス部、8・・・オ
リフィス端面、9・・・空気流、10・・・光学研摩面
、11・・・オリフィス、12・・・整流板、13・・
・第1室、14・・・第2室、15・・・整流孔。
の概要を示す断面図、第2図は第1図A部の拡大断面図
である。 1・・・載置台、2・・・空気軸受本体、3・・・空気
導入口、4・・・ガラス板、5・・・パレット、6・・
・パレット上の溝、7・・・オリフィス部、8・・・オ
リフィス端面、9・・・空気流、10・・・光学研摩面
、11・・・オリフィス、12・・・整流板、13・・
・第1室、14・・・第2室、15・・・整流孔。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 1 空気を噴出するオリフィスを有する空気軸受本体と
、該空気軸受本体のオリフィスから噴出される空気を受
ける受圧面とを有する空気軸受装置において、受圧面と
対面する空気軸受本体のオリフィス部を、セラミック材
で荊成したことを特徴とするセラミック材を用いた空気
軸受装置。 2 オリフィス部が、空気軸受本体の室内側にセラミッ
ク層を形成してなる実用新案登録請求の範囲第1項記載
のセラミック材を用いた空気軸受装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17759383U JPS60162731U (ja) | 1983-11-16 | 1983-11-16 | セラミツク材を用いた空気軸受装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17759383U JPS60162731U (ja) | 1983-11-16 | 1983-11-16 | セラミツク材を用いた空気軸受装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60162731U true JPS60162731U (ja) | 1985-10-29 |
Family
ID=30735162
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP17759383U Pending JPS60162731U (ja) | 1983-11-16 | 1983-11-16 | セラミツク材を用いた空気軸受装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS60162731U (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62183129U (ja) * | 1986-05-13 | 1987-11-20 | ||
KR100756152B1 (ko) * | 1999-06-18 | 2007-09-05 | 동경 엘렉트론 주식회사 | 반송 모듈 및 클러스터 시스템 |
-
1983
- 1983-11-16 JP JP17759383U patent/JPS60162731U/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62183129U (ja) * | 1986-05-13 | 1987-11-20 | ||
KR100756152B1 (ko) * | 1999-06-18 | 2007-09-05 | 동경 엘렉트론 주식회사 | 반송 모듈 및 클러스터 시스템 |
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