JPS60156561U - 洗浄用治具 - Google Patents
洗浄用治具Info
- Publication number
- JPS60156561U JPS60156561U JP1984045608U JP4560884U JPS60156561U JP S60156561 U JPS60156561 U JP S60156561U JP 1984045608 U JP1984045608 U JP 1984045608U JP 4560884 U JP4560884 U JP 4560884U JP S60156561 U JPS60156561 U JP S60156561U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plate
- cleaning jig
- object support
- jig
- holes
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Cleaning In General (AREA)
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図は従来の洗浄用治具を示す斜視図、第2図a、
b、 cはそれぞれ一実施例の内側治具を形成する支持
棒を示す斜視図、正面図、平面図、第3図は一実施例の
内側治具を形成する板の正面図、第4図a、 bはそれ
ぞれ一実施例の内側治具を示す斜視図、正面図、第5図
は内側治具と外側治具−とからなる一実施例の主要部斜
視図で−ある。 訃・・・・・支持棒、9・・・・・・板、10・・・・
・・内側治具、12・・・・・・外側治具、13・・・
・・・洗浄用治具、81・・・・・・溝、82・・・・
・・凹状溝、83・・・・・・凸部、91・・・・・・
貫通孔、92・・・・・・凹部、121,122・・・
・・・側壁、123・・・・・・外側溝。
゛−1−補正昭59.7.11 =
−考案の名称を次のように補正する。 、 “−1
0考案の名称 夛浄用治只 実用新案登録請求の範囲、図面の簡単な説明を−−次の
ように補正する。 − −O実用新案登録請求の範囲 、 −洗浄用
内側治具と洗浄用外側治具とからなる洗−浄用治具にお
いて、前記洗浄用内側治具は、前記洗浄用外側治具に嵌
挿できる対向する2枚の矩形−状、円形状等の板と、−
少なくとも3本のV字状、U字状等の溝及び前記板−に
嵌合する手段を設けた− 板状物支持棒−とからなる
もので、−前記2枚の板肉には、前記板状物支持棒を呻
するためめ凹部を。 2−以上有する貫通孔が前記板状物支持棒の数に対応し
て、3以上設けられ、且つそれぞれの貫通孔−には、前
記凹部が同数設けられており、さらに前−記貫通孔のう
ち2個所が前記板の上部に設けら、 れ、他の貫通孔
が、前記2箇所の貫通孔より下部に設けられており、さ
やに前記3本以上の板状物支持棒のうち2本が、前記板
の上部に設けられた貫通孔にそれぞれ嵌合され、′他の
板状物支持棒−が、該板状物支持棒の溝を前記2本や板
状物支持 −′棒の方向に向けて、前記板の下部に設
けられた貫−−−通孔に嵌合杢れtおわ、また、前記洗
浄用外側治 −−パ 具は、該洗浄用外側治具の相対
向する2側壁に、け、前記板を嵌挿ψるための溝が設け
ら些ている“ ことを−とする洗浄用治具。
−図面の簡単な説明 第1図は従来の洗浄用治具を示す斜視図、第2 −
図a、 b、 cはそh−rれ一実施例の内側治具を形
−成する支持棒を示す斜視図、正面図、平面図、第3
図はニ実施例の内側治具を形成する板の正面図、第一4
図a、 bはそれぞれ一実施例の内側治具−−−を示す
斜視図、正面図、第5図は内側治具と外側−治具とかち
なる一実施例の主要部斜視図である。 、8・・・・・・支持棒、−ト・・・・・板、10−・
・・・・内側治具、12−・・・・・外側治具、1−空
・・・・・・洗浄用治具、81−・・−・・・溝、・8
2−・・・・・凹状溝、83・・・・・・凸部、91
esaeee貫通孔、92・・・・・・凹部、122
m−〇〇〇m側壁、12−3・−・・・・・外側壁。−
−−−一−
b、 cはそれぞれ一実施例の内側治具を形成する支持
棒を示す斜視図、正面図、平面図、第3図は一実施例の
内側治具を形成する板の正面図、第4図a、 bはそれ
ぞれ一実施例の内側治具を示す斜視図、正面図、第5図
は内側治具と外側治具−とからなる一実施例の主要部斜
視図で−ある。 訃・・・・・支持棒、9・・・・・・板、10・・・・
・・内側治具、12・・・・・・外側治具、13・・・
・・・洗浄用治具、81・・・・・・溝、82・・・・
・・凹状溝、83・・・・・・凸部、91・・・・・・
貫通孔、92・・・・・・凹部、121,122・・・
・・・側壁、123・・・・・・外側溝。
゛−1−補正昭59.7.11 =
−考案の名称を次のように補正する。 、 “−1
0考案の名称 夛浄用治只 実用新案登録請求の範囲、図面の簡単な説明を−−次の
ように補正する。 − −O実用新案登録請求の範囲 、 −洗浄用
内側治具と洗浄用外側治具とからなる洗−浄用治具にお
いて、前記洗浄用内側治具は、前記洗浄用外側治具に嵌
挿できる対向する2枚の矩形−状、円形状等の板と、−
少なくとも3本のV字状、U字状等の溝及び前記板−に
嵌合する手段を設けた− 板状物支持棒−とからなる
もので、−前記2枚の板肉には、前記板状物支持棒を呻
するためめ凹部を。 2−以上有する貫通孔が前記板状物支持棒の数に対応し
て、3以上設けられ、且つそれぞれの貫通孔−には、前
記凹部が同数設けられており、さらに前−記貫通孔のう
ち2個所が前記板の上部に設けら、 れ、他の貫通孔
が、前記2箇所の貫通孔より下部に設けられており、さ
やに前記3本以上の板状物支持棒のうち2本が、前記板
の上部に設けられた貫通孔にそれぞれ嵌合され、′他の
板状物支持棒−が、該板状物支持棒の溝を前記2本や板
状物支持 −′棒の方向に向けて、前記板の下部に設
けられた貫−−−通孔に嵌合杢れtおわ、また、前記洗
浄用外側治 −−パ 具は、該洗浄用外側治具の相対
向する2側壁に、け、前記板を嵌挿ψるための溝が設け
ら些ている“ ことを−とする洗浄用治具。
−図面の簡単な説明 第1図は従来の洗浄用治具を示す斜視図、第2 −
図a、 b、 cはそh−rれ一実施例の内側治具を形
−成する支持棒を示す斜視図、正面図、平面図、第3
図はニ実施例の内側治具を形成する板の正面図、第一4
図a、 bはそれぞれ一実施例の内側治具−−−を示す
斜視図、正面図、第5図は内側治具と外側−治具とかち
なる一実施例の主要部斜視図である。 、8・・・・・・支持棒、−ト・・・・・板、10−・
・・・・内側治具、12−・・・・・外側治具、1−空
・・・・・・洗浄用治具、81−・・−・・・溝、・8
2−・・・・・凹状溝、83・・・・・・凸部、91
esaeee貫通孔、92・・・・・・凹部、122
m−〇〇〇m側壁、12−3・−・・・・・外側壁。−
−−−一−
Claims (1)
- 洗浄用内側治具と洗浄用外側治具とからなる洗浄用治具
において、前記洗浄用内側治具は、前記洗浄用外側治具
に嵌挿できる対向する2枚の矩形状、円形状等の板と、
少なくとも3本のV字状、U字状等の溝及び前記板に嵌
合する手段を設け、た板状物支持棒とからなるもので、
前記2枚の板内7には、前記板状物支持棒を保持するた
めの凹部を2以上有する貫通孔が前記板状物支持棒の数
に対応して、3以上設けられ、且つそれぞれの貫通孔に
は、前記凹部が同数設けられており、さらに前記貫通孔
のうち2個所が前記板の上部に設けられ、他の貫通孔が
、前記2箇所の貫通孔より下部−2に設けられており、
さらに前記3本以上の板状物支持棒のうち2本が、前記
板の上部に設けられた貫通孔に、それぞれ嵌合され、他
の板状物支持棒が、該板状物支持棒の溝を前記2本の板
状物支持棒の方向に向けて、前記板の下部に設けられた
貫通孔に嵌合されており、前記洗浄用外側治具は、該洗
浄用外側治具の相対向する2側壁には、前記板を嵌挿す
るための溝が設けられていることを特徴とする洗浄用治
具。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1984045608U JPS60156561U (ja) | 1984-03-29 | 1984-03-29 | 洗浄用治具 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1984045608U JPS60156561U (ja) | 1984-03-29 | 1984-03-29 | 洗浄用治具 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60156561U true JPS60156561U (ja) | 1985-10-18 |
JPS638902Y2 JPS638902Y2 (ja) | 1988-03-16 |
Family
ID=30559254
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1984045608U Granted JPS60156561U (ja) | 1984-03-29 | 1984-03-29 | 洗浄用治具 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS60156561U (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010110679A (ja) * | 2008-11-05 | 2010-05-20 | Alps Electric Co Ltd | 基板洗浄用ラック |
JP2013518404A (ja) * | 2010-01-22 | 2013-05-20 | エルジー シルトロン インコーポレーテッド | ウエハー洗浄装備用カセットジグ及びこれを備えたカセットアセンブリ |
JP2016087570A (ja) * | 2014-11-07 | 2016-05-23 | 日本電気硝子株式会社 | ガラス板収容治具 |
-
1984
- 1984-03-29 JP JP1984045608U patent/JPS60156561U/ja active Granted
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010110679A (ja) * | 2008-11-05 | 2010-05-20 | Alps Electric Co Ltd | 基板洗浄用ラック |
JP2013518404A (ja) * | 2010-01-22 | 2013-05-20 | エルジー シルトロン インコーポレーテッド | ウエハー洗浄装備用カセットジグ及びこれを備えたカセットアセンブリ |
JP2016087570A (ja) * | 2014-11-07 | 2016-05-23 | 日本電気硝子株式会社 | ガラス板収容治具 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS638902Y2 (ja) | 1988-03-16 |
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