JPS60148949U - 精度検査装置 - Google Patents

精度検査装置

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JPS60148949U
JPS60148949U JP3699784U JP3699784U JPS60148949U JP S60148949 U JPS60148949 U JP S60148949U JP 3699784 U JP3699784 U JP 3699784U JP 3699784 U JP3699784 U JP 3699784U JP S60148949 U JPS60148949 U JP S60148949U
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JP
Japan
Prior art keywords
inspection device
accuracy inspection
housing
beam splitter
accuracy
Prior art date
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Pending
Application number
JP3699784U
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English (en)
Inventor
充 小倉
南　悦治
利之 田中
Original Assignee
シャープ株式会社
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Publication date
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Priority to JP3699784U priority Critical patent/JPS60148949U/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図と第３図は本考案に係る精度検査装置の一実施例
の側面図、第２図はターゲットの正面図ミ第４図は検査
鏡胴の外観斜視図、第５図は上記精度検査装置の一実施
例のハウジング取付部分の側面断面図、第６図は光学的
情報再生装置の分解斜視図を示す。 図中、１：ハウジング、８：治具ベース１．９：検査鏡
−１１０：ビームスプリッタ、ｌ　ｌ　ニー、Ｈｅ−Ｎ
ｅレーザ、１２：ターゲット、１３：゛発光源鏡胴挿入
口、１４：受光路鏡胴挿入口。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 光学的情報再生装置のハウジングを所定の位置に設置す
    る手段と、前記ハウジング内にビームスプリッタを組み
    込む治具と、前記ビームスプリッタに対して光を照射す
    る手段と、前記ビームスプリッタにて反射された光を受
    光するターゲットとを具備したことを特徴とする精度検
    査装置。
JP3699784U 1984-03-13 1984-03-13 精度検査装置 Pending JPS60148949U (ja)

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JP3699784U JPS60148949U (ja) 1984-03-13 1984-03-13 精度検査装置

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JP3699784U JPS60148949U (ja) 1984-03-13 1984-03-13 精度検査装置

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JPS60148949U true JPS60148949U (ja) 1985-10-03

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