JPS60148039A - Rotary paired cathode - Google Patents

Rotary paired cathode

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Publication number
JPS60148039A
JPS60148039A JP59002822A JP282284A JPS60148039A JP S60148039 A JPS60148039 A JP S60148039A JP 59002822 A JP59002822 A JP 59002822A JP 282284 A JP282284 A JP 282284A JP S60148039 A JPS60148039 A JP S60148039A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
rays
targets
cathode
rotating
ray
Prior art date
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Pending
Application number
JP59002822A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Toshimitsu Kurumisawa
利光 胡桃沢
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP59002822A priority Critical patent/JPS60148039A/en
Publication of JPS60148039A publication Critical patent/JPS60148039A/en
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J35/00X-ray tubes
    • H01J35/24Tubes wherein the point of impact of the cathode ray on the anode or anticathode is movable relative to the surface thereof
    • H01J35/26Tubes wherein the point of impact of the cathode ray on the anode or anticathode is movable relative to the surface thereof by rotation of the anode or anticathode

Abstract

PURPOSE:To rapidly perform the X-ray measurement by providing the same or different kinds of targets on the respective surfaces of a rotary body having plural surfaces not on the same plane in order to simultaneously take out plural X-rays. CONSTITUTION:The rotary paired cathode in an X-ray device, which makes the electrons from the cathode to be acclerated for being collided with targets in a state of high-speed rotation in order to generate X-rays, is formed by providing different targers 21-24 on the surfaces not on the same plane of a rotary body 10. And the accelerated electrons 25-28 are made to be collided for generating the X-rays 29-32 while preventing mutual interference of the X-rays 29-32 by providing the sluice plates 33-35. Accordingly, the plural kinds of different X-rays can be taken out while preventing mutual interference by simple sluice plates so as not to require to exchange the rotary paired cathode nor to require regulation thus enabling to rapidly and efficiently perform various X-ray measurements.

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、エックス線発生装置において用いられる回転
対陰極の構造に関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Field of the Invention The present invention relates to the structure of a rotating anode cathode used in an X-ray generator.

従来例の構成とその問題点 回転対陰極を有するエックス線発生装置は、高出力のエ
ックス線をとり出すことができるので、近年その利用価
値が高まっている。回転対陰極とは、陰極において発生
した電子が加速されて、金属からなる高速回転状態の陽
極(もしくは対陰極)すなわちターゲットに衝突させ、
金属固有のエックス線を発生させるものである。
Conventional configuration and its problems X-ray generators having a rotating anticathode can extract high-output X-rays, so their utility value has increased in recent years. A rotating anticathode is an anode in which electrons generated at the cathode are accelerated and collided with a high-speed rotating anode (or anticathode) made of metal, that is, a target.
It generates X-rays specific to metals.

従来の回転対陰極は、単一のターゲットから構成されて
いるため、次のような問題点を有している。
Since the conventional rotating anode is composed of a single target, it has the following problems.

(1)測定目的に応じて、回転対陰極を別のターゲット
から構成される回転対陰極に交換せねばならない。その
際、回転対陰極を含む系を大気圧に戻し、回転対陰極を
交換の後、再度真空にひかなければならず、相当の時間
を要する。
(1) Depending on the purpose of the measurement, the rotating anode has to be replaced by a rotating anode composed of another target. At that time, the system including the rotating anode cathode must be returned to atmospheric pressure, the rotating anode cathode must be replaced, and then the system must be evacuated again, which takes a considerable amount of time.

(2)一回転対陰極の交換に伴い、エックス線のコリメ
ーション、すなわち最大のエックス線強度を得るために
、エックス線回折装置の光学軸をそろえるよう調整する
ことを要する。
(2) With the replacement of the one-rotation anticathode, it is necessary to adjust the optical axes of the X-ray diffractometer to align them in order to achieve X-ray collimation, that is, maximum X-ray intensity.

(3)エックス線光学系において、エックス線を単色化
させるためにモノクロメータが設定されている場合、回
転対陰極を別のターゲットから構成される回転対陰極に
交換するたびに、モノクロメータ中の単結晶を回転させ
、エックス線の波長に応じた調整を必要とする。
(3) In an X-ray optical system, if a monochromator is set to make X-rays monochromatic, each time the rotating anode is replaced with a rotating anode composed of a different target, the single crystal in the monochromator is requires rotation and adjustment according to the wavelength of the X-ray.

かくして、従来の単一ターゲットから構成される回転対
陰極は、回転対陰極の交換の都度、真空排気の時間およ
び微妙な調整を必要とするため多大の時間を要するので
、交換が不便である。
Thus, the conventional rotating anode cathode composed of a single target is inconvenient to replace because it requires evacuation time and delicate adjustments each time the rotating anode cathode is replaced.

そこで、互いに異なるターゲットを複数個設ける第1図
に示す構造が考えられる。すなわち、円筒型回転体1の
表面に異なるターゲット2〜6を形成する回転対陰極が
考えられる。しかし、この構造は次の欠点を有する。
Therefore, a structure shown in FIG. 1, in which a plurality of mutually different targets are provided, can be considered. That is, a rotating anticathode in which different targets 2 to 6 are formed on the surface of the cylindrical rotating body 1 is considered. However, this structure has the following drawbacks.

(1)円筒状の回転対陰極の共通表面にターゲット2〜
6が存在するため、仕切り板の金属を用いても、異なる
種類例えば図中のターゲット2゜3から発生するエック
ス線の相互干渉を防ぎきれない。2種類のターゲットの
場合でも同じ事情が成立する。
(1) Target 2 ~ on the common surface of the cylindrical rotating anticathode
6, even if a metal partition plate is used, mutual interference of X-rays generated from different types of targets, such as targets 2 and 3 in the figure, cannot be prevented. The same situation holds true for two types of targets.

(2) (1)の事情を極力防ぐために、ターゲット間
の距離を十分にとることが考えられる。このことは、結
局ターゲット間に異種金属を装置したことと同じであり
、結果としてターゲットの数を1つふやしたことになり
、かえって余分なエックス線を発生させることになる。
(2) In order to prevent the situation in (1) as much as possible, it is possible to maintain a sufficient distance between targets. This is the same as installing dissimilar metals between the targets, and as a result, the number of targets is increased by one, which in turn generates extra X-rays.

また、回転対陰極を大きくすることは、対陰極冷却水の
熱効率を著しく低下させ、また慣性質量の増大を招き、
結果として強力な回転用モーターを必要とするため大き
な効果がもたらされない。
In addition, increasing the size of the rotating anticathode significantly reduces the thermal efficiency of the anticathode cooling water and increases the inertial mass.
As a result, a powerful rotation motor is required, and no great effect is brought about.

発明の目的 本発明は、このような従来の問題に鑑み、いろいろなエ
ックス線測定を迅速かつ効率的に行なえる回転対陰極を
提供することを目的とする。
OBJECTS OF THE INVENTION In view of these conventional problems, it is an object of the present invention to provide a rotating anticathode that can perform various X-ray measurements quickly and efficiently.

発明の構成 本発明は、同一平面上にない複数の表面を有する回転体
のそれぞれの表面上に複数の同一種類または互いに異な
る種類のターゲットを設け、一度に同一種類または互い
に異なる種類の複数のエックス線をとり出すことが可能
な回転対陰極を提供するものである。
Structure of the Invention The present invention provides a plurality of targets of the same type or different types on each surface of a rotating body having a plurality of surfaces that are not on the same plane, and a plurality of X-rays of the same type or different types are provided at a time. This provides a rotating anode that can be taken out.

実施例の説明 。Description of examples.

以下に、本発明を実施例を用いて説明する。第2図は回
転体10の同一平面上にない表5面に互いに異なる元素
から構成される2種類のターゲy)11.12を装着し
た回転対陰極であり、13は仕切板、14.15は熱電
子、16.17はエックス線である。第2図では、2つ
の陰極(図示せず)から放射された熱電子14.15は
、それぞ−れ加速されて金属ターゲ、)11.12にそ
れぞれ衝突してエックス線1、.6 、17を発生する
。仕切り金属13は、この夷うに発生した2種類のエッ
クス線16.17が互いに干渉しないように防止するた
めに設けたものである。
The present invention will be explained below using examples. FIG. 2 shows a rotating anticathode in which two types of targets 11.12 made of different elements are attached to five surfaces of a rotating body 10 that are not on the same plane, 13 is a partition plate, 14.15 is a thermoelectron, and 16.17 is an X-ray. In FIG. 2, thermionic electrons 14.15 emitted from two cathodes (not shown) are accelerated and collide with the metal targets, ) 11.12, respectively, causing X-rays 1, . 6 and 17 are generated. The partition metal 13 is provided to prevent these two types of X-rays 16 and 17 from interfering with each other.

次に、4つ以上のターゲットから構成される回転対陰極
の実施例を第3図に示す。
Next, FIG. 3 shows an embodiment of a rotating anode consisting of four or more targets.

第3図において、回転体10の表面には異なるターゲッ
ト21.22,23.24が設置されている。25〜2
8は加速された熱電子を示し、ある。36は回転対電極
の回転方向を示す。
In FIG. 3, different targets 21, 22, 23, 24 are installed on the surface of the rotating body 10. 25-2
8 indicates an accelerated thermionic electron. 36 indicates the direction of rotation of the rotating counterelectrode.

このように、第2図、第3図の構造では、ターゲットが
同一平面上にないため、簡単な仕切り板によって、相互
干渉のないエックス線を取り出すことができる。また、
このターゲットを回転多面体とすることにより、4つ以
上の複数の同一種類または互いに異なるターゲットを設
け、同時に同一種類または互いに異なる種類の複数のエ
ックス線を取シ出すことが可能である。
In this manner, in the structures shown in FIGS. 2 and 3, since the targets are not on the same plane, X-rays can be extracted without mutual interference using a simple partition plate. Also,
By using a rotating polyhedron as the target, it is possible to provide four or more targets of the same type or mutually different types, and to extract a plurality of X-rays of the same type or mutually different types at the same time.

なお、複数のターゲットは必ずしも異なる種類である必
要はなく、同一種類のものであってもよい。
Note that the plurality of targets do not necessarily have to be of different types, and may be of the same type.

発明の効果 (1)−同時に、複数の同一種類または互いに異なる種
類のエックス線をとり出すことができるので、能率のよ
い測定ができる。特に互いに異なる種類のエックス線を
とり出す場合、様々な目的の測定が同時に行なえる点は
、従来例に見られない効果である。
Effects of the Invention (1) - A plurality of X-rays of the same type or mutually different types can be taken out at the same time, allowing efficient measurement. In particular, when different types of X-rays are taken out, measurements for various purposes can be performed simultaneously, which is an advantage not seen in the prior art.

?)測定目的に応じて、回転対陰極をとり換える必要が
なくなるので、従来例で述べたような面倒な調整の手間
が省ける。
? ) There is no need to replace the rotating anode cathode depending on the purpose of measurement, so the troublesome adjustments described in the conventional example can be saved.

(3)ターゲット間が互いに屈曲した構成になっている
ので、簡単な仕切り金属によって異なる種類のエックス
線間の相互干渉を防ぐことができる。
(3) Since the targets are bent to each other, mutual interference between different types of X-rays can be prevented by a simple metal partition.

(4)ターゲット間の距離は特に設ける必要がないので
、回転対陰極の慣性質量の増加を招来しない。
(4) Since there is no need to provide a particular distance between the targets, the inertial mass of the rotating anode does not increase.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図A、Bは回転対陰極の外観正面図、側面図、第2
図、第3図は本発明の実施例の回転対電極の外観正面図
である。 14.15.25〜28・・・・・・熱電子、11.。 12゜21〜24・・・・・・ターゲット、16 、1
7 、29〜32・・・・・・Xa、13r3”3〜3
1−・・・・・・仕切シ金属。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名第1
Figures 1A and B are external front and side views of the rotating anode.
3 are external front views of a rotating counter electrode according to an embodiment of the present invention. 14.15.25-28... thermoelectron, 11. . 12゜21~24...Target, 16, 1
7, 29-32...Xa, 13r3"3-3
1-... Partition metal. Name of agent: Patent attorney Toshio Nakao and 1 other person No. 1
figure

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)同一平面でない複数の表面を有する回転体のそれ
ぞれの表面上に複数の同一種類または互いに異なる種類
のターゲットを設け、一度に同一種類または互いに異な
る種類の複数のエックス線を前記ターゲットよシ出すよ
うに構成した回転対陰極。
(1) A plurality of targets of the same type or mutually different types are provided on each surface of a rotating body having a plurality of surfaces that are not the same plane, and a plurality of X-rays of the same type or mutually different types are emitted to the targets at once. A rotating anode constructed as follows.
(2)ターゲットの境界部に、エックス線相互の干渉を
防ぐための仕切り板を設置した特許請求の範囲第1項記
載の回転対陰極。
(2) The rotating anticathode according to claim 1, wherein a partition plate is installed at the boundary of the target to prevent interference between X-rays.
JP59002822A 1984-01-11 1984-01-11 Rotary paired cathode Pending JPS60148039A (en)

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JP59002822A JPS60148039A (en) 1984-01-11 1984-01-11 Rotary paired cathode

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JP59002822A JPS60148039A (en) 1984-01-11 1984-01-11 Rotary paired cathode

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JPS60148039A true JPS60148039A (en) 1985-08-05

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JP (1) JPS60148039A (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62220845A (en) * 1986-03-22 1987-09-29 Shimadzu Corp X-ray source and analyzer
FR2627900A1 (en) * 1987-11-30 1989-09-01 Rigaku Denki Co Ltd X-RAY TUBE WITH ROTATING ANODE

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