JPS60139084U - クライオポンプの水除去装置 - Google Patents
クライオポンプの水除去装置Info
- Publication number
- JPS60139084U JPS60139084U JP2467084U JP2467084U JPS60139084U JP S60139084 U JPS60139084 U JP S60139084U JP 2467084 U JP2467084 U JP 2467084U JP 2467084 U JP2467084 U JP 2467084U JP S60139084 U JPS60139084 U JP S60139084U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cryopump
- removal device
- water removal
- liquid
- drain valve
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来例の截断側面図、第２図は本考案の実施例
の截断側面図、第３図はその要部の拡大断面図、第４図
は本考案の他の実施例の要部の拡大断面図である。 １′・・・クライオポンプ、２・・・液体、３・・・液
溜り、４・・・水抜きバルブ、５・・・排出管、６・・
・弁体、７・・・流域。
の截断側面図、第３図はその要部の拡大断面図、第４図
は本考案の他の実施例の要部の拡大断面図である。 １′・・・クライオポンプ、２・・・液体、３・・・液
溜り、４・・・水抜きバルブ、５・・・排出管、６・・
・弁体、７・・・流域。
Claims (1)
- クライオポンプ１に凝縮した水分を液体２に再生して液
溜り３に集め、水抜きバルブ４を備えた排出管５から外
部へ該液体２を排出する式のものに於て、該水抜きバル
ブ４の弁体６を、排出され・ る液体２の流域７から退
去動自在に構成して成るクライオポンプの水除去装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2467084U JPS60139084U (ja) | 1984-02-24 | 1984-02-24 | クライオポンプの水除去装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2467084U JPS60139084U (ja) | 1984-02-24 | 1984-02-24 | クライオポンプの水除去装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60139084U true JPS60139084U (ja) | 1985-09-13 |
Family
ID=30519037
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2467084U Pending JPS60139084U (ja) | 1984-02-24 | 1984-02-24 | クライオポンプの水除去装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60139084U (ja) |
-
1984
- 1984-02-24 JP JP2467084U patent/JPS60139084U/ja active Pending
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