JPS6013691A - Feeder for chemical - Google Patents
Feeder for chemicalInfo
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- JPS6013691A JPS6013691A JP11796183A JP11796183A JPS6013691A JP S6013691 A JPS6013691 A JP S6013691A JP 11796183 A JP11796183 A JP 11796183A JP 11796183 A JP11796183 A JP 11796183A JP S6013691 A JPS6013691 A JP S6013691A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は、洗浄、エツチング、現像などの薬液を比較的
多量に必要とする工程で用いられる薬液供給装置に関す
る。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Technical Field of the Invention] The present invention relates to a chemical liquid supply device used in processes such as cleaning, etching, and development that require a relatively large amount of chemical liquid.
従来の薬液供給装置は、７本の薬液タンクから薬液排出
装置により薬液を排出して外部に供給するように構成さ
れていた。１本の薬液タンクの薬液を供給し終わると、
そのたびに薬液が充填された新しい薬液タンクと交換す
る必要があった。薬液の使用量が増加すると、この交換
作業も増え問題となっていた。また薬液タンクの交換作
業中は薬液を供給することができず、薬液を使用する装
置等を停止させなければならなかった。The conventional chemical liquid supply device was configured to discharge the chemical liquid from seven chemical liquid tanks using a chemical liquid discharge device and supply it to the outside. After supplying the chemical solution from one chemical tank,
Each time, it was necessary to replace the tank with a new chemical tank. As the amount of chemical solution used increased, this replacement work also increased, which became a problem. Furthermore, while the chemical liquid tank was being replaced, the chemical liquid could not be supplied, and equipment that used the chemical liquid had to be stopped.
この問題点を解決するために大容量の薬液タンクを用意
して、そのタンクに薬液を移しかえて交換回数を減らす
方法も考えられるが、移しかえにともなりて薬液にゴミ
等が混入するなどして品質が低下するおそれがある。ま
た大きな薬液タンクを用いても交換作業中はやはり薬液
を供給することができず、薬液を使用する装置等を停止
させる必要があった。In order to solve this problem, it is possible to prepare a large-capacity chemical solution tank and transfer the chemical solution to that tank to reduce the number of exchanges, but this may cause dirt to get mixed in with the chemical solution during transfer. quality may deteriorate. Further, even if a large chemical solution tank is used, it is still not possible to supply the chemical solution during the exchange operation, and it is necessary to stop the equipment that uses the chemical solution.
本発明は上記事情を考慮してなされたもので薬液タンク
の交換頻度を少なくし、薬液を供給しつつ薬液タンクの
交換可能な薬液供給装置を提供することを目的とする。The present invention has been made in consideration of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a chemical liquid supply device that can reduce the frequency of chemical liquid tank replacement and replace the chemical liquid tank while supplying the chemical liquid.
上記目的を達成するために、本発明による薬液供給装置
は、薬液が充填された複数の薬液タンクと、これら薬液
タンクが空になったことを検出する検出手段と、薬液を
排出する薬液タンクを、前記複数の薬液タンクから選択
する選択手段と、この選択手段により選択された薬液タ
ンクから薬液を排出１−て外部へ供給する薬液排出手段
とを備え、薬液が排出されている薬液タンクが空になっ
たことを、前記検出手段により検出した場合に、薬液が
充填された薬液タンクを、前記選択手段により選択する
ことを特徴とする。In order to achieve the above object, a chemical liquid supply device according to the present invention includes a plurality of chemical liquid tanks filled with chemical liquid, a detection means for detecting when these chemical liquid tanks are empty, and a chemical liquid tank for discharging the chemical liquid. , comprising a selection means for selecting from the plurality of chemical liquid tanks, and a chemical liquid discharge means for discharging the chemical liquid from the chemical liquid tank selected by the selection means and supplying it to the outside, wherein the chemical liquid tank from which the chemical liquid is being discharged is empty. The present invention is characterized in that when the detecting means detects that the chemical liquid has become the chemical liquid, the selecting means selects the chemical liquid tank filled with the chemical liquid.
本発明の一実施例による薬液供給装置を図に示す。薬液
が充填された薬液タンクｌ／、／λ、 ／、３ 、 ／
！があり、それぞれに薬液排出パイプ１０／ 、 １０
２ 。The figure shows a chemical solution supply device according to an embodiment of the present invention. Chemical liquid tank filled with chemical liquid l/, /λ, /, 3, /
! There are 10/10 chemical discharge pipes for each.
2.
１０３ 、１０１１が設けられており、薬液排出パイプ
１０／ 、 １０２ 、１０３ 、１０１１−にはＡシ
ブ３／ 、 、？、２ 、．３３ 。103, 1011 are provided, and the chemical solution discharge pipes 10/, 102, 103, 1011- are provided with A-sives 3/, , ? ,2,. 33.
３ダと静電容量センサコバ２２ 、．２３ 、２ダが設
けられている静電容量センサ、２／、λコ、刀、評の検
出信号は制御装置Ｖ内のセンサ入力部ｊに入力する。ｄ
ル’ｆ３／ 、 ３２ 、３３ 、３’ｌは制御装置弘
内のノ々ルブコントロール部７からの信号により制御さ
れる。薬液タンク／／ 、 ／２ 、 ／３ 、 ／弘
からの薬液の排出は窒素（Ｎ、）により加圧することに
よりなされる。Ｎ、にょる加圧は／ＮＡ／ブ１０／ 、
１０２ 、１０３ 、 ＩＯ！−により制御できる。3 da and capacitance sensor top 22,. The detection signals of the capacitance sensors 2/, λ, katana, and yen provided with 23 and 2 da are input to the sensor input section j in the control device V. d
The keys f3/, 32, 33, and 3'l are controlled by signals from the knob control unit 7 in the control device Hironai. The chemical liquid is discharged from the chemical liquid tanks //, /2, /3, /hiro by pressurizing with nitrogen (N,). N, pressure is /NA/B10/,
102, 103, IO! - Can be controlled by
複数の薬液排出パイプ１０／ 、 １０２ 、１０３
。A plurality of chemical liquid discharge pipes 10/ , 102 , 103
.
７Ｇは７本のパイプにまとめられて薬液使用装置♂に所
定量の薬液が供給される。なおセンサ入力部！により入
力した検出信号はシーケンスコントローラ乙で処理され
、ノ々ルブコントロール部７にコントロール信号を出力
する。7G is collected into seven pipes and a predetermined amount of chemical liquid is supplied to the chemical liquid using device ♂. In addition, the sensor input section! The input detection signal is processed by the sequence controller B, and a control signal is output to the knob control section 7.
次にこの薬液供給装置の動作を説明する。まず、すべて
の薬液タンク／／ 、 ／２ 、 ／３ 、 ／！とも
薬液が充填されているとする。ノ々ルブ９／バク、 ？
、？ 、 ？’ｉＺを開いてＮ！により加圧する。ノ々
ルブ３／ 、 ３２ 、３．３ 、３’１のうち選択さ
れた例えば薬液タンクｌ／のノ々ルブ３１を開く。する
とＮ、による加圧により薬液が薬液排出パイプｉｏｉ中
を流れて、薬液使用装置ｒに供給される・この薬液タン
クｌ／が空になると薬液ではなくＩｔが薬液排出パイプ
ｉｏｉを流れる。すると静電容量センサ２／は薬液がな
くなった旨の検出信号をセンサ入力部ｊに出力し、シー
ケンスコントローラｔは、この薬液タンク／／が空にな
ったことを知り、直ちにノ々ルゾ３／を閉じるとともに
、薬液が充填されている他の薬液タンクのノ々ルブ、例
えばノ々ルゾ３２を開くようノ々ルブコントロール部に
命令する。、ｅルプ３コが開くとＮ、による加圧により
薬液排出パイプ１０２中を薬液が流れ、薬液使用装置ざ
に供給される。次にこの薬液タンク／２が空になれば次
の薬液タンク／３．／グと切換えて同様の動作をおこな
う。Next, the operation of this chemical liquid supply device will be explained. First, all chemical tanks // , /2 , /3 , /! Assume that both are filled with a chemical solution. Nonorubu 9/Baku, ?
,? , ? 'Open iZ and N! Pressure is applied. For example, the knob 31 of the chemical liquid tank l/ is opened, which is selected from the knobs 3/, 32, 3.3, and 3'1. Then, the chemical liquid flows through the chemical liquid discharge pipe ioi due to the pressure applied by N, and is supplied to the chemical liquid use device r. When this chemical liquid tank l/ is emptied, it rather than the chemical liquid flows through the chemical liquid discharge pipe ioi. Then, the capacitance sensor 2/ outputs a detection signal indicating that the chemical liquid is empty to the sensor input part j, and the sequence controller t, knowing that this chemical liquid tank // is empty, immediately switches the nonoruzo 3/ At the same time, the control unit instructs the knob control section to close the knob of another chemical liquid tank filled with the chemical liquid, such as the knob 32. , e-ruple 3 opens, the chemical liquid flows through the chemical liquid discharge pipe 102 due to pressurization by N, and is supplied to the chemical liquid using device. Next, when this chemical tank/2 is empty, the next chemical tank/3. /g and perform the same operation.
このように本実施例によれば１本の薬液タンクがなくな
っても、とだえることなく薬液の供給を続けることがで
きる。また薬液タンク／／、／コ、１３゜／４’の交換
は、それぞれのバルブ？／ 、 ９り′、 ９３ 、怖
を閉じておこなえばよく、他の薬液タンクにより薬液が
供給されている間に交換作業をすることができる。As described above, according to this embodiment, even if one chemical liquid tank runs out, the supply of chemical liquid can be continued without interruption. Also, is it possible to replace the chemical tank //, /ko, 13°/4' with each valve? /, 9ri', 93. It is only necessary to close the tank, and the replacement work can be carried out while the chemical liquid is being supplied from another chemical liquid tank.
なお、先の実施例ではｖ本の薬液タンクを用意したが複
数本であれば倒木でもよい。また薬液を排出するのにＮ
、による加圧手段を用いたが、ポンプにより排出しても
よい。また薬液タンクが空になったことを検出する方法
としては、先の実施例による方法の他にタンク重量の減
少を検出する方法や、フロートスイッチを用いる方法で
もよい。In the previous embodiment, v chemical solution tanks were prepared, but a fallen tree may be used as long as there are a plurality of tanks. In addition, N is used to discharge the chemical solution.
, but a pump may be used for evacuation. Further, as a method for detecting that the chemical liquid tank is empty, in addition to the method according to the previous embodiment, a method of detecting a decrease in the weight of the tank or a method of using a float switch may be used.
以上の通り本発明によれば、薬液を供給したままで薬液
タンクを交換することができ、薬液がある薬液タンクが
１本でもある限り交換する必要はないから、薬液タンク
の交換頻度を少な（することができる。特に薬液タンク
を交換していけば無制限の期間薬液を供給することがで
きるため、薬液使用装置を長時間稼動することができる
。さらに、薬液タンクをそのまま用いることができるの
で、ノミの混入等による品質低下を招くおそれもない。As described above, according to the present invention, the chemical tank can be replaced while the chemical solution is being supplied, and as long as there is at least one chemical tank containing the chemical solution, there is no need to replace it, so the frequency of replacing the chemical tank can be reduced ( In particular, if the chemical solution tank is replaced, the chemical solution can be supplied for an unlimited period of time, so the device using the chemical solution can be operated for a long time.Furthermore, since the chemical solution tank can be used as is, There is no risk of deterioration in quality due to contamination with fleas, etc.
図は本発明の一実施例による薬液供給装置のブロック図
である。
／／ 、 ／２ 、 ／、３ 、 ／＋・・・薬液タン
ク、２／、−一、 Ｊ 、 、１１Ｉ・・・８１ 電界
ｔセンサ、、７／、、：？コ、 ３３ 、３ダ・・・バ
ルブ、デへ９Ｊ、 、 ９３ 、９１Ｉ・・・ノ々ルブ
、１０１ 、１０コ、 １０３ 、１０≠・・・薬液排
出パイプ。
出願人代理人 猪 股 清The figure is a block diagram of a chemical liquid supply device according to an embodiment of the present invention. //, /2, /,3, /+...chemical tank, 2/, -1, J, , 11I...81 Electric field t sensor,,7/,:? Ko, 33, 3 da... Valve, Dehe 9J, , 93, 91 I... Nono Lube, 101, 10 Ko, 103, 10≠... Chemical liquid discharge pipe. Applicant's agent Kiyoshi Inomata
Claims (1)
クが空になったことを検出する検出手段と、薬液を排出
する薬液タンクを、前記複数の薬液タンクから選択する
選択手段と、この選択手段により選択された薬液タンク
から薬液を排出して外部へ供給する薬液排出手段とを備
え、薬液が排出されている薬液タンクが空になったこと
を、前記検出手段により検出した場合に、薬液が充填さ
れた薬液タンクを、前記選択手段により選択することを
特徴とする薬液供給装置。A plurality of chemical liquid tanks filled with chemical liquid, a detection means for detecting when these chemical liquid tanks are empty, a selection means for selecting a chemical liquid tank from which the chemical liquid is to be discharged from the plurality of chemical liquid tanks, and this selection means. and a chemical liquid discharge means for discharging the chemical liquid from the chemical liquid tank selected by and supplying the chemical liquid to the outside. A chemical liquid supply device characterized in that a filled chemical liquid tank is selected by the selection means.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11796183A JPS6013691A (en) | 1983-06-29 | 1983-06-29 | Feeder for chemical |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11796183A JPS6013691A (en) | 1983-06-29 | 1983-06-29 | Feeder for chemical |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6013691A true JPS6013691A (en) | 1985-01-24 |
Family
ID=14724536
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11796183A Pending JPS6013691A (en) | 1983-06-29 | 1983-06-29 | Feeder for chemical |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6013691A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012513942A (en) * | 2008-12-29 | 2012-06-21 | ゴジョ・インダストリーズ・インコーポレイテッド | Inexpensive radio frequency identification (RFID) dispensing system |
| US10459460B2 (en) | 2015-11-16 | 2019-10-29 | Gojo Industries, Inc. | Product reservoir validation system |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS585596A (en) * | 1981-06-30 | 1983-01-12 | Toshiba Corp | Method of supplying gas in vessel |
-
1983
- 1983-06-29 JP JP11796183A patent/JPS6013691A/en active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US10213063B2 (en) | 2008-12-29 | 2019-02-26 | Gojo Industries, Inc. | Low cost radio frequency identification (RFID) dispensing systems |
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| US10459460B2 (en) | 2015-11-16 | 2019-10-29 | Gojo Industries, Inc. | Product reservoir validation system |
| US10996690B2 (en) | 2015-11-16 | 2021-05-04 | Gojo Industries, Inc. | Product reservoir validation system |
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