JPS60124034U - ウエハの供給および回収装置 - Google Patents
ウエハの供給および回収装置Info
- Publication number
- JPS60124034U JPS60124034U JP1067384U JP1067384U JPS60124034U JP S60124034 U JPS60124034 U JP S60124034U JP 1067384 U JP1067384 U JP 1067384U JP 1067384 U JP1067384 U JP 1067384U JP S60124034 U JPS60124034 U JP S60124034U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer supply
- section
- disk
- wafer
- collection equipment
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図はこの考案の装置の実施例縦断面図、第２図は同
平面図である。 １・・・保持台、２・・・供給部、３・・・回収部、４
・・・ディスク、２１・・・取り付は部。
平面図である。 １・・・保持台、２・・・供給部、３・・・回収部、４
・・・ディスク、２１・・・取り付は部。
Claims (1)
- 保持台と、保持台に取り付けられそれぞれがディスクの
中心方向へ向くように配置されるディスクへのウェハの
供給部とディスクからのウェハの回収部とからなるウェ
ハの供給および回収装置であり、保持台のウェハの供給
部と回収部の取り付は部がディスクの中心を中心として
円弧状に構成され、この取り付は部に対してウェハの供
給部と回収部とが互いのなす角度が調整可能に取り付け
られているウェハの供給および回収装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1067384U JPS60124034U (ja) | 1984-01-27 | 1984-01-27 | ウエハの供給および回収装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1067384U JPS60124034U (ja) | 1984-01-27 | 1984-01-27 | ウエハの供給および回収装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60124034U true JPS60124034U (ja) | 1985-08-21 |
Family
ID=30492073
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1067384U Pending JPS60124034U (ja) | 1984-01-27 | 1984-01-27 | ウエハの供給および回収装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60124034U (ja) |
-
1984
- 1984-01-27 JP JP1067384U patent/JPS60124034U/ja active Pending
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