JPS60116243U - 半導体ウエハ−の検査装置 - Google Patents
半導体ウエハ−の検査装置Info
- Publication number
- JPS60116243U JPS60116243U JP315284U JP315284U JPS60116243U JP S60116243 U JPS60116243 U JP S60116243U JP 315284 U JP315284 U JP 315284U JP 315284 U JP315284 U JP 315284U JP S60116243 U JPS60116243 U JP S60116243U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor wafer
- wafer inspection
- inspection equipment
- abstract
- blows
- Prior art date
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- Pending
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- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案の実施例を示す図である。
図において、１・・・・・・半導体ウェハー、２・・・
・・・エアブロ−のノズル、３・・・・・・エアーブロ
ー駆動部、４・・：・・・エアーブロー制御部、５・・
・・・・プローブカード、６・・・・・・プローブカー
ド探針。
・・・エアブロ−のノズル、３・・・・・・エアーブロ
ー駆動部、４・・：・・・エアーブロー制御部、５・・
・・・・プローブカード、６・・・・・・プローブカー
ド探針。
Claims (1)
- １気体を所定時間プローブ′カード探針群先端と半導体
ウェハーへ吹き付けるエアーブロー装置が設置されてい
ることを特徴とする半導体ウェハーの検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP315284U JPS60116243U (ja) | 1984-01-13 | 1984-01-13 | 半導体ウエハ−の検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP315284U JPS60116243U (ja) | 1984-01-13 | 1984-01-13 | 半導体ウエハ−の検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60116243U true JPS60116243U (ja) | 1985-08-06 |
Family
ID=30477508
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP315284U Pending JPS60116243U (ja) | 1984-01-13 | 1984-01-13 | 半導体ウエハ−の検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60116243U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63151036A (ja) * | 1986-12-16 | 1988-06-23 | Tokyo Electron Ltd | クリ−ンプロ−バ装置 |
| JP2018105725A (ja) * | 2016-12-27 | 2018-07-05 | 三菱電機株式会社 | 評価装置及び評価方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57128042A (en) * | 1981-01-30 | 1982-08-09 | Fujitsu Ltd | Inspecting method for semiconductor device |
-
1984
- 1984-01-13 JP JP315284U patent/JPS60116243U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57128042A (en) * | 1981-01-30 | 1982-08-09 | Fujitsu Ltd | Inspecting method for semiconductor device |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63151036A (ja) * | 1986-12-16 | 1988-06-23 | Tokyo Electron Ltd | クリ−ンプロ−バ装置 |
| JP2018105725A (ja) * | 2016-12-27 | 2018-07-05 | 三菱電機株式会社 | 評価装置及び評価方法 |
| US10436833B2 (en) | 2016-12-27 | 2019-10-08 | Mitsubishi Electric Corporation | Evaluation apparatus and evaluation method |
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