JPS60110463U - 蒸着試料供給装置 - Google Patents
蒸着試料供給装置Info
- Publication number
- JPS60110463U JPS60110463U JP20389683U JP20389683U JPS60110463U JP S60110463 U JPS60110463 U JP S60110463U JP 20389683 U JP20389683 U JP 20389683U JP 20389683 U JP20389683 U JP 20389683U JP S60110463 U JPS60110463 U JP S60110463U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vapor deposition
- supply device
- sample
- sample supply
- deposition sample
- Prior art date
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- Pending
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来の試料供給装置を示す図、第２図は本考案
の蒸着試料供給装置を示す図である。 １はホッパー、２は蒸着試料、３はチュート、４はパイ
ブレーク、５は蒸着源、２１はホッパー、２２は薄板、
２３は薄板にあけられたスリット、２４は支持板、２５
は回転運動を前後運動に変える装置、２６はＤＣモータ
、２７，２７’は歯、車を示す。
の蒸着試料供給装置を示す図である。 １はホッパー、２は蒸着試料、３はチュート、４はパイ
ブレーク、５は蒸着源、２１はホッパー、２２は薄板、
２３は薄板にあけられたスリット、２４は支持板、２５
は回転運動を前後運動に変える装置、２６はＤＣモータ
、２７，２７’は歯、車を示す。
Claims (1)
- 一定量の試料を蒸発源に供給する真空蒸着装置において
試料を入れておくホッパーと、その下部に取付けられた
スリットのある前後に移動可能な薄板と、その薄板を外
部からの電気信号により前後に移動させる駆動装置とか
ら構成されることを特徴とする蒸着試料供給装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20389683U JPS60110463U (ja) | 1983-12-27 | 1983-12-27 | 蒸着試料供給装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20389683U JPS60110463U (ja) | 1983-12-27 | 1983-12-27 | 蒸着試料供給装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60110463U true JPS60110463U (ja) | 1985-07-26 |
Family
ID=30766300
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20389683U Pending JPS60110463U (ja) | 1983-12-27 | 1983-12-27 | 蒸着試料供給装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60110463U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006144088A (ja) * | 2004-11-22 | 2006-06-08 | Showa Shinku:Kk | 蒸着材料供給装置および方法 |
-
1983
- 1983-12-27 JP JP20389683U patent/JPS60110463U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006144088A (ja) * | 2004-11-22 | 2006-06-08 | Showa Shinku:Kk | 蒸着材料供給装置および方法 |
| JP4714920B2 (ja) * | 2004-11-22 | 2011-07-06 | 株式会社昭和真空 | 蒸着材料供給装置および方法 |
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