JPS60107722U - モジユラ−型エンコ−ダ - Google Patents

モジユラ−型エンコ−ダ

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Publication number
JPS60107722U
JPS60107722U JP20016783U JP20016783U JPS60107722U JP S60107722 U JPS60107722 U JP S60107722U JP 20016783 U JP20016783 U JP 20016783U JP 20016783 U JP20016783 U JP 20016783U JP S60107722 U JPS60107722 U JP S60107722U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
fixing
holding member
holding
pattern
rotating shaft
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP20016783U
Other languages
English (en)
Inventor
渡辺　重行
基勝 今井
Original Assignee
株式会社ニコン
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Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社ニコン filed Critical 株式会社ニコン
Priority to JP20016783U priority Critical patent/JPS60107722U/ja
Publication of JPS60107722U publication Critical patent/JPS60107722U/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は、本考案の一実施例の側面図に被取付部材の断
面図を併せて示した図、第２図は、第１図の部材１，２
，３．４から成る部分の縦断面図、第３図は第１図で示
した一実施例のＡ−Ａ′矢視断面図である。 （主要部分の符号の説明）、１・・・・・・パルス円板
、２・・・・・・取付環、３・・・・・・押え環、４・
・・・・・止めビス、５・・・・・・光源、６・・・・
・・インデックス、光電変換素子、７・・・・・・基材
、訃・・・・・固定ねじ、９，１０゜１１．１２・・・
・・・止めねじ、１３，１４・・・・・・連結板。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 基準部材に対する回転軸の回転変位量を測定するための
    モジュラ−型エンコーダにおいて、パターントラックを
    有するパターン円板と、該パターン円板を固定保持する
    第１保持部材と、該第１保持部材を前記回転軸に固定す
    るための第１固定部材と、前記パターン円板のパターン
    を読むための検出部材と、該検出部材を固定保持する第
    、２保持部材と、該第２保持部材を前記基準部材に固定
    するためめ第２固定部材と、前記第１保持部材と前記第
    ２保持部材とに着脱自在に設けられた前記第１保持部材
    と前記第２保持部材との連結固定部材と、を有し、前記
    パターン円板と前記検出部材との位置調整を行なった後
    、前記連結固定部材によって前記第１保持部材と前記第
    ２保持部材とを固定し、前記第１保持部材を前記第１固
    定部材によって前記回転軸に固定し、前記第２固定部材
    を前記第２固定部材によって前記基準部材に固定し、そ
    の後前記連結固定部材を前記第１固定部材と前記第２固
    定部材とから取り外すこと全特徴とするモジュラ−型エ
    ンコーダ。
JP20016783U 1983-12-26 1983-12-26 モジユラ−型エンコ−ダ Pending JPS60107722U (ja)

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JP20016783U JPS60107722U (ja) 1983-12-26 1983-12-26 モジユラ−型エンコ−ダ

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JP20016783U JPS60107722U (ja) 1983-12-26 1983-12-26 モジユラ−型エンコ−ダ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS60107722U true JPS60107722U (ja) 1985-07-22

Family

ID=30760763

Family Applications (1)

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JP20016783U Pending JPS60107722U (ja) 1983-12-26 1983-12-26 モジユラ−型エンコ−ダ

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006250587A (ja) * 2005-03-09 2006-09-21 Nikon Corp 計測装置、駆動ユニット及びその製造方法、光学ユニット、光学装置並びに露光装置

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5246832A (en) * 1975-10-11 1977-04-14 Hitachi Ltd Optical type encoder
JPS5544249B2 (ja) * 1972-07-14 1980-11-11

Patent Citations (2)

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JPS5544249B2 (ja) * 1972-07-14 1980-11-11
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