JPS60107722U - モジユラ−型エンコ−ダ - Google Patents

モジユラ−型エンコ−ダ

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Publication number
JPS60107722U
JPS60107722U JP20016783U JP20016783U JPS60107722U JP S60107722 U JPS60107722 U JP S60107722U JP 20016783 U JP20016783 U JP 20016783U JP 20016783 U JP20016783 U JP 20016783U JP S60107722 U JPS60107722 U JP S60107722U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
fixing
holding member
holding
pattern
rotating shaft
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP20016783U
Other languages
English (en)
Inventor
渡辺　重行
基勝 今井
Original Assignee
株式会社ニコン
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社ニコン filed Critical 株式会社ニコン
Priority to JP20016783U priority Critical patent/JPS60107722U/ja
Publication of JPS60107722U publication Critical patent/JPS60107722U/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は、本考案の一実施例の側面図に被取付部材の断
面図を併せて示した図、第２図は、第１図の部材１，２
，３．４から成る部分の縦断面図、第３図は第１図で示
した一実施例のＡ−Ａ′矢視断面図である。 （主要部分の符号の説明）、１・・・・・・パルス円板
、２・・・・・・取付環、３・・・・・・押え環、４・
・・・・・止めビス、５・・・・・・光源、６・・・・
・・インデックス、光電変換素子、７・・・・・・基材
、訃・・・・・固定ねじ、９，１０゜１１．１２・・・
・・・止めねじ、１３，１４・・・・・・連結板。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 基準部材に対する回転軸の回転変位量を測定するための
    モジュラ−型エンコーダにおいて、パターントラックを
    有するパターン円板と、該パターン円板を固定保持する
    第１保持部材と、該第１保持部材を前記回転軸に固定す
    るための第１固定部材と、前記パターン円板のパターン
    を読むための検出部材と、該検出部材を固定保持する第
    、２保持部材と、該第２保持部材を前記基準部材に固定
    するためめ第２固定部材と、前記第１保持部材と前記第
    ２保持部材とに着脱自在に設けられた前記第１保持部材
    と前記第２保持部材との連結固定部材と、を有し、前記
    パターン円板と前記検出部材との位置調整を行なった後
    、前記連結固定部材によって前記第１保持部材と前記第
    ２保持部材とを固定し、前記第１保持部材を前記第１固
    定部材によって前記回転軸に固定し、前記第２固定部材
    を前記第２固定部材によって前記基準部材に固定し、そ
    の後前記連結固定部材を前記第１固定部材と前記第２固
    定部材とから取り外すこと全特徴とするモジュラ−型エ
    ンコーダ。
JP20016783U 1983-12-26 1983-12-26 モジユラ−型エンコ−ダ Pending JPS60107722U (ja)

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JP20016783U JPS60107722U (ja) 1983-12-26 1983-12-26 モジユラ−型エンコ−ダ

Applications Claiming Priority (1)

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JP20016783U JPS60107722U (ja) 1983-12-26 1983-12-26 モジユラ−型エンコ−ダ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS60107722U true JPS60107722U (ja) 1985-07-22

Family

ID=30760763

Family Applications (1)

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JP20016783U Pending JPS60107722U (ja) 1983-12-26 1983-12-26 モジユラ−型エンコ−ダ

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006250587A (ja) * 2005-03-09 2006-09-21 Nikon Corp 計測装置、駆動ユニット及びその製造方法、光学ユニット、光学装置並びに露光装置

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5246832A (en) * 1975-10-11 1977-04-14 Hitachi Ltd Optical type encoder
JPS5544249B2 (ja) * 1972-07-14 1980-11-11

Patent Citations (2)

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JPS5544249B2 (ja) * 1972-07-14 1980-11-11
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