JPS6010312U - ガス流量調整装置 - Google Patents

ガス流量調整装置

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JPS6010312U
JPS6010312U JP9903083U JP9903083U JPS6010312U JP S6010312 U JPS6010312 U JP S6010312U JP 9903083 U JP9903083 U JP 9903083U JP 9903083 U JP9903083 U JP 9903083U JP S6010312 U JPS6010312 U JP S6010312U
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JP
Japan
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adjustment device
gas flow
flow adjustment
flow rate
mass flow
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Pending
Application number
JP9903083U
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English (en)
Inventor
菅野　昌吉
Original Assignee
日本電気株式会社
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来の気相成長装置の流量調整を示す系統図、
第２図は本考案による気相成長装置の流量調整装置を示
す系統図である。 １・・・・・・ストップバルブ、２・・・・・・フィル
ター、３・・・・・・エアーバルブ、４・・・・・・マ
スフローコントローラー、５・・・・・・反応室へガス
供給を開、閉する三方向のエアーバルブ、６・・・・・
・排気系へガス供給を開、閉するエアーバルブ、７・・
・・・・逆止弁、８・・・・・・ニードル弁。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 危険ガスの流量設定用マスフローコントローラーと直列
    にニードル弁を設け、マスフローコントローラー異常時
    のオーバー流量を押さえる事を特徴としたガス流量調整
    装置。
JP9903083U 1983-06-27 1983-06-27 ガス流量調整装置 Pending JPS6010312U (ja)

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JP9903083U JPS6010312U (ja) 1983-06-27 1983-06-27 ガス流量調整装置

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JP9903083U JPS6010312U (ja) 1983-06-27 1983-06-27 ガス流量調整装置

Publications (1)

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JPS6010312U true JPS6010312U (ja) 1985-01-24

Family

ID=30234860

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JP9903083U Pending JPS6010312U (ja) 1983-06-27 1983-06-27 ガス流量調整装置

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61176609U (ja) * 1985-04-17 1986-11-04

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