JPS60102869U - 荷電粒子ビ−ム用スリツト - Google Patents
荷電粒子ビ−ム用スリツトInfo
- Publication number
- JPS60102869U JPS60102869U JP19595783U JP19595783U JPS60102869U JP S60102869 U JPS60102869 U JP S60102869U JP 19595783 U JP19595783 U JP 19595783U JP 19595783 U JP19595783 U JP 19595783U JP S60102869 U JPS60102869 U JP S60102869U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- slit
- duct
- charged particle
- particle beam
- hole
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来の実施例の縦断面図、第２図はこの考案の
一実施例の縦断面図である。 ・１・・・荷電粒
子ビーム用スリット、２・・・ダクト、 □、３・・・
ネジ取付は部材、４・・・貫通穴、７・・・電流導入棒
、訃・・電極、９・・・中空絶縁スリーブ、１２・・・
バネ、１３・・・絶縁筒。
一実施例の縦断面図である。 ・１・・・荷電粒
子ビーム用スリット、２・・・ダクト、 □、３・・・
ネジ取付は部材、４・・・貫通穴、７・・・電流導入棒
、訃・・電極、９・・・中空絶縁スリーブ、１２・・・
バネ、１３・・・絶縁筒。
Claims (1)
- ビーム用ダクト側壁に貫通穴を有するネジ取付は部材を
設け、該ネジ取付は部材の貫通穴にダクト内先端部に電
極を備え胴部に中空絶縁スリーブが装着された電流導入
棒を気密状態を保持したままバネの付勢力に抗してダク
ト内へ挿押し込み可能に取付けるとともに、前記ネジ取
付は部材に中空絶縁スリーブの外側を取り囲む保護筒を
螺合したことを特徴とする荷電粒子ビーム用スリット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19595783U JPS60102869U (ja) | 1983-12-19 | 1983-12-19 | 荷電粒子ビ−ム用スリツト |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19595783U JPS60102869U (ja) | 1983-12-19 | 1983-12-19 | 荷電粒子ビ−ム用スリツト |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60102869U true JPS60102869U (ja) | 1985-07-13 |
| JPH0235166Y2 JPH0235166Y2 (ja) | 1990-09-21 |
Family
ID=30420646
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19595783U Granted JPS60102869U (ja) | 1983-12-19 | 1983-12-19 | 荷電粒子ビ−ム用スリツト |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60102869U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58118652U (ja) * | 1982-02-06 | 1983-08-12 | 日本電子株式会社 | 可変スリツト装置 |
-
1983
- 1983-12-19 JP JP19595783U patent/JPS60102869U/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58118652U (ja) * | 1982-02-06 | 1983-08-12 | 日本電子株式会社 | 可変スリツト装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0235166Y2 (ja) | 1990-09-21 |
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