JPS5998164U - 高真空ゲ−トバルブ - Google Patents

高真空ゲ−トバルブ

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Publication number
JPS5998164U
JPS5998164U JP19317182U JP19317182U JPS5998164U JP S5998164 U JPS5998164 U JP S5998164U JP 19317182 U JP19317182 U JP 19317182U JP 19317182 U JP19317182 U JP 19317182U JP S5998164 U JPS5998164 U JP S5998164U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
valve
vacuum gate
gate valve
high vacuum
desk
Prior art date
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Granted
Application number
JP19317182U
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English (en)
Other versions
JPS6145418Y2 (ja
Inventor
一男 伊藤
川内　与一
Original Assignee
株式会社岸川特殊バルブ
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Publication date
Application filed by 株式会社岸川特殊バルブ filed Critical 株式会社岸川特殊バルブ
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  • Details Of Valves (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来の高真空ゲートバルブの縦断正面図、第２
図はその縦断側面図、第３図は本考案の高真空ゲートバ
ルブの要部の縦断正面図、第４図はコロ部分の説明図で
ある。 １・・・弁座、２・・・弁デスク、３・・・弁抑え、４
・・・スープリング、５・・・ピストンシリンダ、６・
・・ピストンロンド、７・・・反トツパー、８”’　　
７．９．１０・・・凹溝、１１・・・柱体、１２・・・
コロ、１３・・・壁、１４・・・コロ受け、１５・・・
スプリング、１６・・・溝、１７・・・コロ、１８・・
・有性匣、１９・・・スプリング。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 弁デスクと、弁抑えと、只の両者間に介挿され弁デスク
    の半径方向における弁デスクと弁抑えの相対的移動によ
    り前記弁デスクを弁座に押圧せしめるようにする機構と
    、前記弁抑えの背面に形成した溝と、この溝と有性匣内
    に介挿したコロと、このコロを常時溝内に下方に抑制す
    るためのスプリングとより成ることを特徴とする高真空
    ゲートバルブ。　　−
JP19317182U 1982-12-22 1982-12-22 高真空ゲ−トバルブ Granted JPS5998164U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP19317182U JPS5998164U (ja) 1982-12-22 1982-12-22 高真空ゲ−トバルブ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP19317182U JPS5998164U (ja) 1982-12-22 1982-12-22 高真空ゲ−トバルブ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS5998164U true JPS5998164U (ja) 1984-07-03
JPS6145418Y2 JPS6145418Y2 (ja) 1986-12-20

Family

ID=30415530

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP19317182U Granted JPS5998164U (ja) 1982-12-22 1982-12-22 高真空ゲ−トバルブ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS5998164U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0436189U (ja) * 1990-07-23 1992-03-26

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0436189U (ja) * 1990-07-23 1992-03-26

Also Published As

Publication number Publication date
JPS6145418Y2 (ja) 1986-12-20

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