JPS5987321A - 流量および流量変化率検出装置 - Google Patents

流量および流量変化率検出装置

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JPS5987321A
JPS5987321A JP19748582A JP19748582A JPS5987321A JP S5987321 A JPS5987321 A JP S5987321A JP 19748582 A JP19748582 A JP 19748582A JP 19748582 A JP19748582 A JP 19748582A JP S5987321 A JPS5987321 A JP S5987321A
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JP
Japan
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flow rate
tube
movable body
permanent magnet
detection coil
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JP19748582A
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JPS6249565B2 (ja
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Yoshito Tanaka
義人 田中
Takeshi Ichiyanagi
健 一柳
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Publication date
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01FMEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/05Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects
    • G01F1/20Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by detection of dynamic effects of the flow
    • G01F1/22Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by detection of dynamic effects of the flow by variable-area meters, e.g. rotameters
    • G01F1/24Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by detection of dynamic effects of the flow by variable-area meters, e.g. rotameters with magnetic or electric coupling to the indicating device

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明はロボット、蒸気タービンおよび油圧エレベータ
などの油圧サーボ機構に用いられる流量従来、ロボット
、蒸気タービンおよび油圧エレベータなどの油圧サーボ
機構において、流量Qおよび流量変化率への検出装置の
開発が要望されていた。そこで、その要望を満足させる
ため、管内に設けた永久磁石を有する可動子を差圧によ
υ移動させ、その変位と速度を管外周面に巻回した検出
コイルによシ検出し、等測的に前記流量と流量変化率を
求める検出装置を開発した。
この検出装置によれば、従来、不可能であった前記流量
および流量変化率を同時に検出することは可能であるが
、永久磁石を有する可動子を使用しなければならないか
ら連応性に欠ける欠点があった。すなわち変化が甚だし
い場合には、可動子の質量が大きいため、可動子の応答
は遅延するから、迅速な応答を必要とする油圧サーボ機
構のセンサとしては十分でないという問題がある。
〔発明の目的〕
本発明は上記欠点を解消し、より迅速な応答性を有する
流量および流量変化率検出装置を提供することを目的と
するものである。
〔発明の概要〕
本発明は上記目的を達成するために、非磁性材製管の外
周面に設けた永久磁石および一次励磁コ′ イルと、こ
の永久磁石と対向するように前記管内に設けた二次検出
コイルおよびこの二次検出コイルの内側に装着した環状
突起を有し、かつ前記管内に摺動可能に設けた可動体と
、この可動体を貫通し、環状突起を設けたロッドを有す
る固定体とからなシ、流体圧による前記可動体突起の前
記固定体突起に対する相対的変位および速度を前記二次
検出コイルを介して検出するようにしたことを特徴とす
るものである。
〔発明の実施例〕
以下本発明の一実施例を図面について説明する。
図において、1は非磁性材製管、2は管1の内壁に取付
けられ、開孔4a、4bをそれぞれ有する一対の端板3
a、3bと、この両端板3a。
3bと一体に結合されたロッド5と、このロッド5の中
間に設けられた断面菱形状の環状突起6とからなる固定
体である。
7は前記ロッド5に遊嵌するガイド部8a。
8bおよび開孔9a、9bをそれぞれ有する一対のつば
部IQa、10bと、この両つば部10a。
10b間に、これと一体に結合されて前記環状突起6を
内蔵する円筒部11と、この円筒部11の内・外周面に
それぞれ取付けられた環状突起12および二次検出コイ
ル13とからなる可動体で、この可動体7は管1内を軸
方向に移動可能に設けられている。
14a、14bは可動体7のガイド部Sa。
8bと固定体2の端板3a、3bとの間にそれぞれ介設
されたばねで、このばね14a、14bの弾力により、
前記両突起6.12は中立位置において相対向する状態
に保持されている。152.16は非磁性材製管1の外
周面に、その管1内の二次検出コイル13と相対向する
ように装着された永久磁石および一次励磁コイルである
。17は前記二次検出コイル13と検出器(図示せず)
とを接続する検出線である。
次に上記のような構成からなる本実施例の作用について
説明する。
管1内を流体が流通する場合、上流側と下流側の差圧に
より、固定体2の環状突起6に対し可動体7の環状突起
12は移動する。したがって、前記突起12は永久磁石
15に対し相対的に移動す  。
るため、リアクタンスが変化すると共に、二次検出コイ
ル13の移動速度に比例した電圧が発生するので、二次
検出コイル13自体の移動量および移動速度を検出線1
7を介して検出器(図示せず)により検出することが可
能である。
午の場合、前記可動突起12と固定突起6との変位が流
量Qに比例するように、前記突起12゜6を形成するこ
とによシ、二次検出コイル12を介して流量Qおよび流
量変化率Qを検出することが可能である。
本実施例では、可動体7は二次検出コイル13と一体に
結合されているだけであるから、従来のようにマグネッ
トを有する検出コイルを用いた従来例に比べて大幅に慣
性が減少する。特に二次検出コイル13をアルミニウム
線によシ形成すれば、よシ一層に慣性を軽減することが
できる。また可動体7を軽合金により製作すれば、大幅
に軽量化することが可能である。
〔発明の効果〕
以上説明したように本発明によれば、ガイドを有するつ
ば部および円筒部から可動体を大幅に軽量化することに
より、低慣性化をはかつて油圧サーボ系の応答性をより
一層に迅速させ、性能の向上をはかることができる。
【図面の簡単な説明】
図面は本発明の流量および流量変化率検出装置の一実施
例を示す断面図である。 1・・・非磁性材製管、2・・・固定体、3a、3b・
・・端板、4a、4b・・・開孔、5・・・ロッド、6
.12・・・環状突起、7・・・可動体、8a、8b・
・・ガイド部、9 a 、 9 b・、−・開孔、10
a、10b=つば部、11・・・円筒部、13・・・二
次検出コイル、14a。 14b・・・ばね、15・・・永久磁石、16・・・−
次励磁コイル。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、非磁性材製管の外周面に設けた永久磁石および一次
    励磁コイルと、この永久磁石と対向するように前記管内
    に設けた二次検出コイルおよびこの二次検出コイルの内
    側に装着した環状突起有し、かつ前記管内に摺動可能に
    設けた可動 一体と、この可動体を貫通し、環状突起を
    設けたロッドを有する固定体とからなり、流体圧による
    前記可動体突起の前記固定体突起に対する相対的変位お
    よび速度を、前記二次検出コイルを介して検出するよう
    にしたことを特徴とする流量および流量変化率検出装置
    。 2、前記可動体の両側にばねをそれぞれ取付け、中立位
    置において可動体および固定体の両環状突起を互いに相
    対向して保持するようにしたことを特徴とする特許請求
    の範囲第1項記載の流量および流量変化率検出装置。 3、前記固定体は、管内壁に固定され、開孔を有する一
    対の端板と、この両端板に一体に結合されたロッドと、
    このロッドの中間部に設けられ、断面を菱形に形成した
    環状突起とからなることを特徴とする特許請求の範囲第
    1項または第2項記載の流量および流量変化率検出装置
    。 4、前記可動体は、管内に設けた固定体のロッドに遊嵌
    するガイド部および開孔を有する一対のつば部と、この
    両つば部間に一体に形成された円筒部と、この円筒部の
    内・外周面にそれぞれ取付けた環状突起および二次検出
    コイルとからなることを特徴とする特許請求の範囲第1
    項ないし第3項のうちの1項記載の流量および流量変化
    率検出装置。
JP19748582A 1982-11-12 1982-11-12 流量および流量変化率検出装置 Granted JPS5987321A (ja)

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JPS5987321A true JPS5987321A (ja) 1984-05-19
JPS6249565B2 JPS6249565B2 (ja) 1987-10-20

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0734992A3 (en) * 1995-03-28 1998-05-06 Roy W. Blain Servo control for hydraulic elevator

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JPS63163364U (ja) * 1987-04-15 1988-10-25

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5196353A (ja) * 1975-01-15 1976-08-24

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