JPS5985463U - 円錐形状スプ−ル三方弁 - Google Patents
円錐形状スプ−ル三方弁Info
- Publication number
- JPS5985463U JPS5985463U JP18044882U JP18044882U JPS5985463U JP S5985463 U JPS5985463 U JP S5985463U JP 18044882 U JP18044882 U JP 18044882U JP 18044882 U JP18044882 U JP 18044882U JP S5985463 U JPS5985463 U JP S5985463U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chamber
- way valve
- conical
- main body
- conical spool
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Multiple-Way Valves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案の内部断面図、第２図は本考案の斜視図
。 １は円錐形状体、２は軸、３は本体、４は液体用口座、
５は液体用口座、ｑは液体用口座、７は室、８は圧力源
口座、９は圧力源用口座、１０は円板、１１は室、１２
は室。
。 １は円錐形状体、２は軸、３は本体、４は液体用口座、
５は液体用口座、ｑは液体用口座、７は室、８は圧力源
口座、９は圧力源用口座、１０は円板、１１は室、１２
は室。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 （イ） 軸２の両端に円錐形状体１と円板１０をそれぞ
れ取り付ける。 （ロ）本体３の内部には、室？、１１．１２を設ける。 この室１１．１２は同一の室である。 （ハ）本体３の外部より室７に通ずる液体用口座４゜５
．６を設ける。 に）本体３の外部より室１１に通ずる圧力源用口座８を
又室１２に通ずる圧力源用口座９をそれぞれ設ける。 （ホ）円錐形状体１は室７に、円板１０は室１１゜１２
にそれぞれ入れる。 以上の如く構成された円錐形状スプール三方弁。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18044882U JPS5985463U (ja) | 1982-11-29 | 1982-11-29 | 円錐形状スプ−ル三方弁 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18044882U JPS5985463U (ja) | 1982-11-29 | 1982-11-29 | 円錐形状スプ−ル三方弁 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5985463U true JPS5985463U (ja) | 1984-06-09 |
Family
ID=30391257
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18044882U Pending JPS5985463U (ja) | 1982-11-29 | 1982-11-29 | 円錐形状スプ−ル三方弁 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5985463U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013224748A (ja) * | 2013-07-26 | 2013-10-31 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | バルブおよびこれを備えた基板処理装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS534350B2 (ja) * | 1971-11-22 | 1978-02-16 |
-
1982
- 1982-11-29 JP JP18044882U patent/JPS5985463U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS534350B2 (ja) * | 1971-11-22 | 1978-02-16 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013224748A (ja) * | 2013-07-26 | 2013-10-31 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | バルブおよびこれを備えた基板処理装置 |
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