JPS5983763A - アルミ蒸着装置 - Google Patents
アルミ蒸着装置Info
- Publication number
- JPS5983763A JPS5983763A JP19310682A JP19310682A JPS5983763A JP S5983763 A JPS5983763 A JP S5983763A JP 19310682 A JP19310682 A JP 19310682A JP 19310682 A JP19310682 A JP 19310682A JP S5983763 A JPS5983763 A JP S5983763A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heater
- vapor deposition
- aluminum
- vacuum deposition
- power
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明はカラーブラウン管のパネル内面にアルミニウ
ムの薄膜を真空蒸着する場合に使用して好適なアルミ蒸
着装置に関する。
ムの薄膜を真空蒸着する場合に使用して好適なアルミ蒸
着装置に関する。
一般にカラーブラウン管のパネル内面にアルミニウムの
薄膜を真空蒸着する場合、アルミ蒸着装置を用いる。こ
の場合、成る一定圧力以下の真空状態を作り蒸着用ヒー
ターに通電し、アルミニウムのべレソトを蒸発させる。
薄膜を真空蒸着する場合、アルミ蒸着装置を用いる。こ
の場合、成る一定圧力以下の真空状態を作り蒸着用ヒー
ターに通電し、アルミニウムのべレソトを蒸発させる。
又、アルミニウムの薄膜生成後は、ノくネルを取出すた
めに空気を封入し大気圧にしなければ々らない。
めに空気を封入し大気圧にしなければ々らない。
この真空状態での通電及び大気比への空気封入を繰り返
すだめ、ヒーターは酸化され、抵抗値が増え、電流が蹄
．れ難くなｐ、所定時間内での蒸着ができなくなる。
すだめ、ヒーターは酸化され、抵抗値が増え、電流が蹄
．れ難くなｐ、所定時間内での蒸着ができなくなる。
ところで、蒸着用ヒーターは、過去中数年の間、タング
ステン・ヒーターが主力を占め、近年、長寿命ヒニター
としてセラミックス・ヒーターが用いられるようになっ
たが、ヒーター自体の価格が罵い欠点がある。しかし寿
命の長さを考えると，自動化への発展性、安易性など総
合的見地から採用の拡大が行々われている。
ステン・ヒーターが主力を占め、近年、長寿命ヒニター
としてセラミックス・ヒーターが用いられるようになっ
たが、ヒーター自体の価格が罵い欠点がある。しかし寿
命の長さを考えると，自動化への発展性、安易性など総
合的見地から採用の拡大が行々われている。
このセラミックス・ヒーターを用いた従来の゛アルミ蒸
着装置におけるヒーター回路は、第１図に示すように構
成され、成る設定値を電圧制御スライダック１により調
整し、制御回路からの指令により通電を打力っでいた。
着装置におけるヒーター回路は、第１図に示すように構
成され、成る設定値を電圧制御スライダック１により調
整し、制御回路からの指令により通電を打力っでいた。
尚、図中２はリレー接点、３はトランス、４はヒーター
である。
である。
ところが上記従来のアルミ蒸着装置によれば、ヒーター
４の抵抗変動に対して電、力（電圧を変更して行なう）
の変更を手動調整しなければならない。これは自動化の
障害となる。又、自動化を優先する場合、上記調整を取
除くため、成る規定回数通電後、ヒーター４を交換する
必要がある。これはヒーター４の寿命前に交換すること
になる。更に、セラミックス・ヒーターはタングステン
・ヒーターに比べ非常に高価である（数十倍）。
４の抵抗変動に対して電、力（電圧を変更して行なう）
の変更を手動調整しなければならない。これは自動化の
障害となる。又、自動化を優先する場合、上記調整を取
除くため、成る規定回数通電後、ヒーター４を交換する
必要がある。これはヒーター４の寿命前に交換すること
になる。更に、セラミックス・ヒーターはタングステン
・ヒーターに比べ非常に高価である（数十倍）。
尚、付記すれば、アルミ蒸着装置は、連続的に蒸着処理
をする自動機であるため、成る設定時間内に作業を完了
しなければならない。
をする自動機であるため、成る設定時間内に作業を完了
しなければならない。
この発明の目的は、ヒーターの寿命を著しく延長したア
ルミ蒸着装置を提供することである。
ルミ蒸着装置を提供することである。
この発明は、蒸着用ヒーターに通電し、アルミニウムの
ペレット全蒸発させて被蒸着物に蒸着するアルミ蒸Ｍ装
置において、上記ヒーターの抵抗値変化に対して供給電
力量を自己調整する手段を有し、一定時間内で蒸着を可
能にしたことを特徴とするアルミ蒸着装置である。
ペレット全蒸発させて被蒸着物に蒸着するアルミ蒸Ｍ装
置において、上記ヒーターの抵抗値変化に対して供給電
力量を自己調整する手段を有し、一定時間内で蒸着を可
能にしたことを特徴とするアルミ蒸着装置である。
この発明のアルミ蒸着装置は第２図及び第３図に示すよ
うに構成され、先ず第２図について説１明すると、蒸着
用タンク５内には蒸着用ヒーター６が設けられ、とのヒ
ーター６は供給電源コンタクト７．８を介して第３図の
ヒーター回路に接続されている。又、このｘＡ ’Ｊｋ
用タンク５は、使用時には密封層パツキン９を介してカ
ラーブラウン管のパネルｌＯが配置され、内部は真空系
により真空とされる。尚、第２図中、１１は大気封入用
自動弁である。
うに構成され、先ず第２図について説１明すると、蒸着
用タンク５内には蒸着用ヒーター６が設けられ、とのヒ
ーター６は供給電源コンタクト７．８を介して第３図の
ヒーター回路に接続されている。又、このｘＡ ’Ｊｋ
用タンク５は、使用時には密封層パツキン９を介してカ
ラーブラウン管のパネルｌＯが配置され、内部は真空系
により真空とされる。尚、第２図中、１１は大気封入用
自動弁である。
次に、第３図のヒーター回路について説明すると、トラ
ンス１２０入力巻線の一端は電源の一方に接続され、他
端は交流電力制仰素子１３を介して電源の他方に接続さ
れている。又、上記トランス１２の出力巻線の両端には
、蒸着用ヒーター６が接続されている。町に、十Ｈ（１
電源の一方は：フンデンザＩ ４ 、’ Ｊ ５を１白
夕１１しζ介して他方に４わ７．ｌｌｉき）７．るとＪ
（に、可変抵抗１６、抵抗１７、Ｊ８、コンデンサ１９
を直列に介しで他方に接賜；さｔｌている。又、」二Ｎ
シ：コンデンサ１９と抵抗Ｊ８との４い７点（ｄｌ、交
’ｌＩＷ電力制御素子２０ 、 リ ｌ／ −仄点
２１′？ｒ：１自夕＋」ｖｔ介 して」二重交流電力１
ｆｉｌｌ （ｉｌｌグ子１３シｑに筋１されている。そ
し７て、上ｉｉｉ：： ｉｔす”Ｉ： ｒ ｓと抵抗１
７との接続点は、リレー接点２２（ｌご接続きノ９、こ
のリレー接点２２（ｉしＪ裁担、抗２．？＋ 、
５に接続されている。−１−！ｆｒ： ｊｔｈＪ変
抵抗２３（ｒ；Ｊ−リレー接点２６を介して上４Ｉ−シ
コンデンザＪ４とコンデンサ１５とのＪ７． ＋７ｅ点
に接続されでいる。又、」二重何度１１（抗２４．２５
ｅ」、リレーＪΣ点２７に接続され、このリレー接点２
７Ｃ」、−ヒ肥リレー接点２６に接続さｉｔている。
ンス１２０入力巻線の一端は電源の一方に接続され、他
端は交流電力制仰素子１３を介して電源の他方に接続さ
れている。又、上記トランス１２の出力巻線の両端には
、蒸着用ヒーター６が接続されている。町に、十Ｈ（１
電源の一方は：フンデンザＩ ４ 、’ Ｊ ５を１白
夕１１しζ介して他方に４わ７．ｌｌｉき）７．るとＪ
（に、可変抵抗１６、抵抗１７、Ｊ８、コンデンサ１９
を直列に介しで他方に接賜；さｔｌている。又、」二Ｎ
シ：コンデンサ１９と抵抗Ｊ８との４い７点（ｄｌ、交
’ｌＩＷ電力制御素子２０ 、 リ ｌ／ −仄点
２１′？ｒ：１自夕＋」ｖｔ介 して」二重交流電力１
ｆｉｌｌ （ｉｌｌグ子１３シｑに筋１されている。そ
し７て、上ｉｉｉ：： ｉｔす”Ｉ： ｒ ｓと抵抗１
７との接続点は、リレー接点２２（ｌご接続きノ９、こ
のリレー接点２２（ｉしＪ裁担、抗２．？＋ 、
５に接続されている。−１−！ｆｒ： ｊｔｈＪ変
抵抗２３（ｒ；Ｊ−リレー接点２６を介して上４Ｉ−シ
コンデンザＪ４とコンデンサ１５とのＪ７． ＋７ｅ点
に接続されでいる。又、」二重何度１１（抗２４．２５
ｅ」、リレーＪΣ点２７に接続され、このリレー接点２
７Ｃ」、−ヒ肥リレー接点２６に接続さｉｔている。
尚、−ヒｍｅ ”Ｉ’ ｅ抵抗１６，２．１，２４，２
５ｔｒｌ、、交／７！を市′力ｉ１１．１１１１１１素
子１ 、？ 、；Ｈの出カイ１！、を設定するノｒめの
ゲート電圧を９１１？（整するだめのものであり、リレ
ー接点２１，２２．２６，２７１ｔよ出力値をンｙ釈す
るだめのものである。
５ｔｒｌ、、交／７！を市′力ｉ１１．１１１１１１素
子１ 、？ 、；Ｈの出カイ１！、を設定するノｒめの
ゲート電圧を９１１？（整するだめのものであり、リレ
ー接点２１，２２．２６，２７１ｔよ出力値をンｙ釈す
るだめのものである。
さて１ｉｉｌ１作時には、リレー接点２１がオンするこ
とによりヒーター６へ通電されるが、このときのｒ；ｒ
力誌整は可変抵抗１６により行なわれる。
とによりヒーター６へ通電されるが、このときのｒ；ｒ
力誌整は可変抵抗１６により行なわれる。
又、この回路は、アルミニウムペレットが蒸着しない程
変のヒーターン′１１品１ｇ−になるように設定されて
いるが、第４図のＡの範ＩＪ）１である。これはヒータ
ー６へ急激なる負荷を加えないためと、ヒーター６−表
面に付着したガスを放出させる目的がある。次にリレー
接点２２がオンし、蒸着のメζめの重力がｖ１変抵抗２
３の設だ値により、ピータ−６に（共給さｔｌ−るが、
兎４！閃１／こおけるＢの４ｉｉ’＋、 １月１である
。
変のヒーターン′１１品１ｇ−になるように設定されて
いるが、第４図のＡの範ＩＪ）１である。これはヒータ
ー６へ急激なる負荷を加えないためと、ヒーター６−表
面に付着したガスを放出させる目的がある。次にリレー
接点２２がオンし、蒸着のメζめの重力がｖ１変抵抗２
３の設だ値により、ピータ−６に（共給さｔｌ−るが、
兎４！閃１／こおけるＢの４ｉｉ’＋、 １月１である
。
１−記のように１行程中において、リレー接点２１．２
２のオンによりアルミニウムのペレット蒸着が行なわれ
、パネル１０取出しのため大気の１人が行わｉするーし
かし、可変抵抗２３により設定さｔ′１．だ市力眼では
、抵抗の増加のため一戻１１Ｈ’ｉ間内での蒸着が行わ
れなくなる。そこで、このヒーター６の抵抗増に対して
電力の増大を行なうことにより、一定時間内での蒸着が
可能になる。そして、リレー接点２６．２７を切換え可
変抵抗２４．２５により各々必要な電力設定を行なう。
２のオンによりアルミニウムのペレット蒸着が行なわれ
、パネル１０取出しのため大気の１人が行わｉするーし
かし、可変抵抗２３により設定さｔ′１．だ市力眼では
、抵抗の増加のため一戻１１Ｈ’ｉ間内での蒸着が行わ
れなくなる。そこで、このヒーター６の抵抗増に対して
電力の増大を行なうことにより、一定時間内での蒸着が
可能になる。そして、リレー接点２６．２７を切換え可
変抵抗２４．２５により各々必要な電力設定を行なう。
このとき
可変抵抗２３〉可変抵抗２４〉可変抵抗２５となるよう
に設定する。この発明では、リレー接点２６．２７のオ
ンは計数演算器を用い、ヒーター〕１η雷、の回数を２
５０回でリレー接点２６、次の１００回でリレー接点２
７を動作させたが、ヒーター６両端の抵抗を測定し、各
々の設定値への指示又は測定値に反比例となる制御方法
をとっても良い。更に、第３図では蒸着電力の設定を３
段階としたが、この数にはこだわらない。
に設定する。この発明では、リレー接点２６．２７のオ
ンは計数演算器を用い、ヒーター〕１η雷、の回数を２
５０回でリレー接点２６、次の１００回でリレー接点２
７を動作させたが、ヒーター６両端の抵抗を測定し、各
々の設定値への指示又は測定値に反比例となる制御方法
をとっても良い。更に、第３図では蒸着電力の設定を３
段階としたが、この数にはこだわらない。
この発明によれば、ヒーター６の劣化に合せて供給する
電力を増大しているので、ヒーターの寿命は、従来、３
００回の通電で寿命が終ったものが、平均値で約５００
回と約１，７倍程度まで延ばすことができだ。又、ヒー
ターの寿命延長に伴ない、自動化機械の付帯作業を削減
できた。
電力を増大しているので、ヒーターの寿命は、従来、３
００回の通電で寿命が終ったものが、平均値で約５００
回と約１，７倍程度まで延ばすことができだ。又、ヒー
ターの寿命延長に伴ない、自動化機械の付帯作業を削減
できた。
第１図は従来のアルミ蒸着装置におけるヒーター回路を
示す回路構成図、第２図１はこの発明の一実施例に係る
アルミ蒸着装置を示す断面図、第３図は同じくヒーター
回路を示す回路構成図、第４図は通電時間、蒸着時間と
ヒータ一温度との関係を示す特性曲線図でおる。 ５・・・タンク、６・・・ヒーター、１０・・・ツクネ
ル、１２・・・トランス、１３．２０・・・交流電力側
（財）素子、２１，２２，２６．２７・・・リレー接点
、１６．２３，２４．２５・・・可変抵抗。
示す回路構成図、第２図１はこの発明の一実施例に係る
アルミ蒸着装置を示す断面図、第３図は同じくヒーター
回路を示す回路構成図、第４図は通電時間、蒸着時間と
ヒータ一温度との関係を示す特性曲線図でおる。 ５・・・タンク、６・・・ヒーター、１０・・・ツクネ
ル、１２・・・トランス、１３．２０・・・交流電力側
（財）素子、２１，２２，２６．２７・・・リレー接点
、１６．２３，２４．２５・・・可変抵抗。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 蒸着用ヒーターに通電、し、アルミニウムのペレットを
蒸発させて被蒸着物に蒸着するアルミｇ希装置において
、 上記ヒーターの抵抗値変化に対して供給電力量を自己調
整する手段を有し、一定時間内で蒸着を可能にしたこと
を特徴とするアルミ蒸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19310682A JPS5983763A (ja) | 1982-11-02 | 1982-11-02 | アルミ蒸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19310682A JPS5983763A (ja) | 1982-11-02 | 1982-11-02 | アルミ蒸着装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5983763A true JPS5983763A (ja) | 1984-05-15 |
Family
ID=16302338
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19310682A Pending JPS5983763A (ja) | 1982-11-02 | 1982-11-02 | アルミ蒸着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5983763A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01272760A (ja) * | 1988-04-23 | 1989-10-31 | Denki Kagaku Kogyo Kk | セラミックスヒータの使用方法 |
| JP2008087815A (ja) * | 2006-09-29 | 2008-04-17 | Yoshino Kogyosho Co Ltd | 位置合わせ容器 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5528345A (en) * | 1978-08-21 | 1980-02-28 | Hitachi Ltd | Controlling method for evaporation rate in vacuum metallizing unit |
-
1982
- 1982-11-02 JP JP19310682A patent/JPS5983763A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5528345A (en) * | 1978-08-21 | 1980-02-28 | Hitachi Ltd | Controlling method for evaporation rate in vacuum metallizing unit |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01272760A (ja) * | 1988-04-23 | 1989-10-31 | Denki Kagaku Kogyo Kk | セラミックスヒータの使用方法 |
| JP2008087815A (ja) * | 2006-09-29 | 2008-04-17 | Yoshino Kogyosho Co Ltd | 位置合わせ容器 |
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