JPS5983036A - 液体中の微粒子数計数方法 - Google Patents
液体中の微粒子数計数方法Info
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- JPS5983036A JPS5983036A JP57193843A JP19384382A JPS5983036A JP S5983036 A JPS5983036 A JP S5983036A JP 57193843 A JP57193843 A JP 57193843A JP 19384382 A JP19384382 A JP 19384382A JP S5983036 A JPS5983036 A JP S5983036A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
- G01N15/06—Investigating concentration of particle suspensions
- G01N15/0606—Investigating concentration of particle suspensions by collecting particles on a support
- G01N15/0618—Investigating concentration of particle suspensions by collecting particles on a support of the filter type
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は液体、例えば、超純水中の微粒子数の引数方法
に関する。
に関する。
半導体工業や製薬、医療分野では、含有する微粒子や微
生物の数が極度に制限された所謂超純水が用いられる。
生物の数が極度に制限された所謂超純水が用いられる。
例えば、半導体分野で用いる超純水は、０．２μｍ以上
の微粒子数が５０個／ｍ１以下、また、医療分野では無
菌であることが要求されている。
の微粒子数が５０個／ｍ１以下、また、医療分野では無
菌であることが要求されている。
このような水中の微粒子数は、従来、スクリーン型のミ
クロフィルター、例えば、孔径０．２μｒｎの微孔を有
するニュクリボアフィルター等にて検水を濾過し、ミク
ロフィルター上に捕捉された微粒子を電子顕微鏡で４数
している。しかしながら、ミクロフィルターによるかか
る４数においては、ミクロフィルターの微孔径が捕捉さ
れる微粒子ｉイに近いため、微孔を微粒子と誤認するこ
とが往々にしてあり、しかも、近時、超純水に苅する要
求品質が高まると共に、捕捉計数の対象となる微粒子径
が０，１〜０．０５μｍ程度にまで小さくなってきてお
り、微粒子との判別が困ＲＶとなる傾向か−・段と助長
されている。従って、特に自動粒子δ１測を行なう画像
解析システムを純水の微粒子数計数に適用する場合に、
信頼性に欠りる問題がある。
クロフィルター、例えば、孔径０．２μｒｎの微孔を有
するニュクリボアフィルター等にて検水を濾過し、ミク
ロフィルター上に捕捉された微粒子を電子顕微鏡で４数
している。しかしながら、ミクロフィルターによるかか
る４数においては、ミクロフィルターの微孔径が捕捉さ
れる微粒子ｉイに近いため、微孔を微粒子と誤認するこ
とが往々にしてあり、しかも、近時、超純水に苅する要
求品質が高まると共に、捕捉計数の対象となる微粒子径
が０，１〜０．０５μｍ程度にまで小さくなってきてお
り、微粒子との判別が困ＲＶとなる傾向か−・段と助長
されている。従って、特に自動粒子δ１測を行なう画像
解析システムを純水の微粒子数計数に適用する場合に、
信頼性に欠りる問題がある。
本発明は上記した問題を解決するためになされたもので
あって、高精度で液体中の微粒子の８１数を可能にする
新規な方法を提供することを目的とする。
あって、高精度で液体中の微粒子の８１数を可能にする
新規な方法を提供することを目的とする。
本発明による液体中の微粒子計数方法は、孔径が１００
Å以下の限外濾過膜にて液体を濾過し、膜に捕捉された
微粒子を電子顕微鏡にてδ１数することを特徴とする特 本発明において用いる限外濾過膜は、例えば、２０万倍
の電子顕微鏡下の観察において、膜が捕捉した微粒子と
明瞭且つ容易に判別し得るようにその孔径はＪ、 ００
Å以下であることを要する。ま／コ、かかる孔径の微孔
を有する限外濾過膜を用いることによって、０．０５μ
ｍの微粒子まで高精度でｎ１数し得るので、従来のミク
ロフィルターを用いる方法に比べて、その開側範囲は４
倍にも拡大され、更に、精度も数倍改善される。更に、
ミクロフィルターは篩効果で微粒子を捕捉するので、容
易に目詰りを起こすが、限外濾過膜はミクロフィルター
に比べて目詰りが起こり難い利点もある。
Å以下の限外濾過膜にて液体を濾過し、膜に捕捉された
微粒子を電子顕微鏡にてδ１数することを特徴とする特 本発明において用いる限外濾過膜は、例えば、２０万倍
の電子顕微鏡下の観察において、膜が捕捉した微粒子と
明瞭且つ容易に判別し得るようにその孔径はＪ、 ００
Å以下であることを要する。ま／コ、かかる孔径の微孔
を有する限外濾過膜を用いることによって、０．０５μ
ｍの微粒子まで高精度でｎ１数し得るので、従来のミク
ロフィルターを用いる方法に比べて、その開側範囲は４
倍にも拡大され、更に、精度も数倍改善される。更に、
ミクロフィルターは篩効果で微粒子を捕捉するので、容
易に目詰りを起こすが、限外濾過膜はミクロフィルター
に比べて目詰りが起こり難い利点もある。
尚、限外濾過膜が上記のような孔径の微孔を有するかど
うかは、粒径が既知の微粒子を含む液体を透過させ、微
粒子の透過性を調べることによって知ることができる。
うかは、粒径が既知の微粒子を含む液体を透過させ、微
粒子の透過性を調べることによって知ることができる。
限外濾過膜の祠質は何ら限定されず、例えば、ポリスル
ホン、ポリアクリコニ１−リル、ポリアミド、ポリイミ
ド、エチレン′−ヒニルアルコール共重合体、酢酸セル
ロース等であってよい。
ホン、ポリアクリコニ１−リル、ポリアミド、ポリイミ
ド、エチレン′−ヒニルアルコール共重合体、酢酸セル
ロース等であってよい。
このような限外濾過は、通常、適宜のボルダ−内に支持
され、このボルダ−内に検水を導き、膜上に１数粒子を
捕捉さ一口て、ｎ１数する。
され、このボルダ−内に検水を導き、膜上に１数粒子を
捕捉さ一口て、ｎ１数する。
以上のように、本発明によれば、孔（イが１００Å以下
の限外濾過膜を用いて液体を濾過し、股上に捕捉された
微粒子数を計数するので、電子顕微鏡による観察に才几
）でも、膜の１Ｖル孔を微粒子と誤認することがなく、
しかも、Ｑ、 Ｑ ５ （ｔ ｍ程度の微粒子まで含め
てｉｒ：＋積度に開数することができる。
の限外濾過膜を用いて液体を濾過し、股上に捕捉された
微粒子数を計数するので、電子顕微鏡による観察に才几
）でも、膜の１Ｖル孔を微粒子と誤認することがなく、
しかも、Ｑ、 Ｑ ５ （ｔ ｍ程度の微粒子まで含め
てｉｒ：＋積度に開数することができる。
以下に実施例を挙げて本発明を説明Ｊ−る。
実施例
ポリアミドかさ・なる限外濾過膜をボルダ−に装着し、
検水である純水をボルダ−に導いて濾過した。次に、こ
の１１ラコをボルダ−から取外し、乾燥した後、膜表面
を装着し、股に捕捉された微粒子数を走査型電子顕微鏡
にてｖｉ測ｄＩ数した。また、比較のために、ミクロフ
ィルターにュクリボアフィルター、微孔孔径０．０２μ
ｍ）を用いて、同様にして検水中の微粒子を捕捉δ１数
した。開数された微粒子数の平均値及び変動率を表に示
す。
検水である純水をボルダ−に導いて濾過した。次に、こ
の１１ラコをボルダ−から取外し、乾燥した後、膜表面
を装着し、股に捕捉された微粒子数を走査型電子顕微鏡
にてｖｉ測ｄＩ数した。また、比較のために、ミクロフ
ィルターにュクリボアフィルター、微孔孔径０．０２μ
ｍ）を用いて、同様にして検水中の微粒子を捕捉δ１数
した。開数された微粒子数の平均値及び変動率を表に示
す。
また、第１図に上記限外濾過膜上に捕捉された微粒子の
走査型電子５１．ｉｉ ｉ７ｉ鏡写具（２００イｉ）を
示示す。限外濾過膜によれば、低倍率でも微粒子が明瞭
に認められる。
走査型電子５１．ｉｉ ｉ７ｉ鏡写具（２００イｉ）を
示示す。限外濾過膜によれば、低倍率でも微粒子が明瞭
に認められる。
尚、表において、変動率νは
シ＝σＸ／マＸ］、００（％）
で定義され、ここに、σＸは測定データに対する標準偏
差であり、マは１１均値である。
差であり、マは１１均値である。
上の結果から、限外濾過膜でδ（り定した場合、ミクロ
フィルターでは捕捉されないｊ）次粒子を捕ｔｌｔｉｌ
数するため、微粒子数が大きい。また、限外濾過膜上 ことが認められる。
フィルターでは捕捉されないｊ）次粒子を捕ｔｌｔｉｌ
数するため、微粒子数が大きい。また、限外濾過膜上 ことが認められる。
第１図は本発明の方法に従って限外濾過股上に捕捉され
た微粒子を示す走査型電子顕微鏡写真（２００倍）、第
２図は従来のミクロフィルター上に捕捉された微粒子の
走査型電子顕微鏡写真（３０００倍）を示す。 特許出願人 日東電気工業株式会社 代理人 弁理士 牧 野 逸 部 第２図
た微粒子を示す走査型電子顕微鏡写真（２００倍）、第
２図は従来のミクロフィルター上に捕捉された微粒子の
走査型電子顕微鏡写真（３０００倍）を示す。 特許出願人 日東電気工業株式会社 代理人 弁理士 牧 野 逸 部 第２図
Claims (1)
- （１）孔径が１００Å以下の限外濾過膜にて液体を濾過
し、膜に捕捉された微粒子を電子顕微鏡にて開数するこ
とを特徴とする液体中の微粒子数計数方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57193843A JPS5983036A (ja) | 1982-11-04 | 1982-11-04 | 液体中の微粒子数計数方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57193843A JPS5983036A (ja) | 1982-11-04 | 1982-11-04 | 液体中の微粒子数計数方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5983036A true JPS5983036A (ja) | 1984-05-14 |
Family
ID=16314660
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57193843A Pending JPS5983036A (ja) | 1982-11-04 | 1982-11-04 | 液体中の微粒子数計数方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5983036A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008253953A (ja) * | 2007-04-09 | 2008-10-23 | Nitto Denko Corp | 膜分離方法および膜分離装置 |
| US7805983B2 (en) | 2005-01-31 | 2010-10-05 | Nomura Micro Science Co., Ltd. | Method for measuring the number of fine particles in ultrapure water and method for manufacturing a filtration device for measuring the number of fine particles in ultrapure water |
| JP2012154648A (ja) * | 2011-01-21 | 2012-08-16 | Nomura Micro Sci Co Ltd | 超純水中の微粒子数測定方法及び測定装置 |
| WO2023128985A1 (en) * | 2021-12-29 | 2023-07-06 | Akkim Kimya Sanayi Ve Ticaret Anonim Sirketi | A cap for use in filtration processes |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5327640A (en) * | 1976-07-13 | 1978-03-15 | Ici Ltd | Polypropylene composition with rollable prorety to foil and process for production of foil |
-
1982
- 1982-11-04 JP JP57193843A patent/JPS5983036A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5327640A (en) * | 1976-07-13 | 1978-03-15 | Ici Ltd | Polypropylene composition with rollable prorety to foil and process for production of foil |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7805983B2 (en) | 2005-01-31 | 2010-10-05 | Nomura Micro Science Co., Ltd. | Method for measuring the number of fine particles in ultrapure water and method for manufacturing a filtration device for measuring the number of fine particles in ultrapure water |
| JP2008253953A (ja) * | 2007-04-09 | 2008-10-23 | Nitto Denko Corp | 膜分離方法および膜分離装置 |
| WO2008126777A1 (ja) * | 2007-04-09 | 2008-10-23 | Nitto Denko Corporation | 膜分離方法および膜分離装置 |
| US8404119B2 (en) | 2007-04-09 | 2013-03-26 | Nitto Denko Corporation | Method of membrane separation and membrane separation apparatus |
| JP2012154648A (ja) * | 2011-01-21 | 2012-08-16 | Nomura Micro Sci Co Ltd | 超純水中の微粒子数測定方法及び測定装置 |
| WO2023128985A1 (en) * | 2021-12-29 | 2023-07-06 | Akkim Kimya Sanayi Ve Ticaret Anonim Sirketi | A cap for use in filtration processes |
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