JPS5978034U - 磁気チヤツク用分極板 - Google Patents

磁気チヤツク用分極板

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JPS5978034U
JPS5978034U JP17520082U JP17520082U JPS5978034U JP S5978034 U JPS5978034 U JP S5978034U JP 17520082 U JP17520082 U JP 17520082U JP 17520082 U JP17520082 U JP 17520082U JP S5978034 U JPS5978034 U JP S5978034U
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JP
Japan
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magnetic chuck
polarization plate
magnetic
pressure fluid
ejection hole
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JP17520082U
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JPS6221390Y2 (ja
Inventor
弘 岩崎
Original Assignee
フジ磁工株式会社
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図ａ、　　ｂは本考案に係る分極板を磁気チャック
に装着した状態を示す側面図および平面図、第２図およ
び第３図は第１図ｂＡ−Ａ線に沿う断面図、第４図は本
考案の他の実施例を示す平面図である。　　゛ １・・・磁気チャック、２・・・磁気チャックの面板、
３・・・磁極、４・・・磁気遮蔽板、５・・・ブツシュ
、６・・・供給口、７・・・圧力流体噴出用微小孔。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 載置対象とする磁気チャックの面板磁極と適合する磁極
    構成を有すると共に、吸着面に圧力流体噴出用穴を有し
    、前記磁気チャック上に載置されて前記噴出用穴から圧
    力流体を噴出するように構成された磁気チャック用分極
    板。　　゛
JP17520082U 1982-11-19 1982-11-19 磁気チヤツク用分極板 Granted JPS5978034U (ja)

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JP17520082U JPS5978034U (ja) 1982-11-19 1982-11-19 磁気チヤツク用分極板

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Publication Number Publication Date
JPS5978034U true JPS5978034U (ja) 1984-05-26
JPS6221390Y2 JPS6221390Y2 (ja) 1987-05-30

Family

ID=30381221

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JP17520082U Granted JPS5978034U (ja) 1982-11-19 1982-11-19 磁気チヤツク用分極板

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JPS6221390Y2 (ja) 1987-05-30

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