JPS5975982U - 超高真空用ストツプ弁 - Google Patents

超高真空用ストツプ弁

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Publication number
JPS5975982U
JPS5975982U JP17047282U JP17047282U JPS5975982U JP S5975982 U JPS5975982 U JP S5975982U JP 17047282 U JP17047282 U JP 17047282U JP 17047282 U JP17047282 U JP 17047282U JP S5975982 U JPS5975982 U JP S5975982U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ultra
high vacuum
stop valve
drive shaft
valve
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP17047282U
Other languages
English (en)
Inventor
市原 藤三郎
佐々木 隆之助
Original Assignee
日本真空技術株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by 日本真空技術株式会社 filed Critical 日本真空技術株式会社
Priority to JP17047282U priority Critical patent/JPS5975982U/ja
Publication of JPS5975982U publication Critical patent/JPS5975982U/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
図面は本考案の実施例の武断側面図である。 1・・・・・・弁筺、2・・・・・・弁板、3・・・・
・・駆動軸、4・・・・・・ベローズ、5.8・・・・
・・螺子、6・・・・・・ボンネットフランジ、7・・
・・・・ガスケット。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 超高真空化される弁筺1を内外に挿通して弁板2を駆動
    する駆動軸3を設け、該駆動軸3の周囲を金属製ベロー
    ズ4で気密に覆う式のものに於て、該駆動軸3を螺子5
    により着脱自在のボンネットフランジ6を介して弁筺1
    に取付け、該弁板2と該ホンネットフランジ6にベロー
    ズ4をガスケット7を介して螺子8で着脱自在に取付け
    して成る超高真空用ストップ弁。
JP17047282U 1982-11-12 1982-11-12 超高真空用ストツプ弁 Pending JPS5975982U (ja)

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JP17047282U JPS5975982U (ja) 1982-11-12 1982-11-12 超高真空用ストツプ弁

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JP17047282U JPS5975982U (ja) 1982-11-12 1982-11-12 超高真空用ストツプ弁

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Publication Number Publication Date
JPS5975982U true JPS5975982U (ja) 1984-05-23

Family

ID=30372145

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP17047282U Pending JPS5975982U (ja) 1982-11-12 1982-11-12 超高真空用ストツプ弁

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