JPS5973595U - タ−ボ分子ポンプのロ−タ翼 - Google Patents

タ−ボ分子ポンプのロ−タ翼

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Publication number
JPS5973595U
JPS5973595U JP1982169276U JP16927682U JPS5973595U JP S5973595 U JPS5973595 U JP S5973595U JP 1982169276 U JP1982169276 U JP 1982169276U JP 16927682 U JP16927682 U JP 16927682U JP S5973595 U JPS5973595 U JP S5973595U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
rotor blade
molecular pump
turbo molecular
disk
cut
Prior art date
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Pending
Application number
JP1982169276U
Other languages
English (en)
Inventor
直行 田村
池永　勝次
Original Assignee
株式会社日立製作所
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Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社日立製作所 filed Critical 株式会社日立製作所
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Publication of JPS5973595U publication Critical patent/JPS5973595U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00—Axial-flow pumps
    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
    • F04D29/26—Rotors specially for elastic fluids
    • F04D29/32—Rotors specially for elastic fluids for axial flow pumps
    • F04D29/321—Rotors specially for elastic fluids for axial flow pumps for axial flow compressors
    • F04D29/324—Blades

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
′第１図はターボ分子ポンプ用ロータ翼に切込みを加工
した状態の正面図、第２図は所定の迎角だけ翼をねじっ
た場合の第１図のＢから見た図、第３図は第１図の翼部
平面を拡大した正面図、第４図は応力曲線を示す線図で
ある。 １・・・・・・ロータ翼、２・・・・・・切込み、３・
・曲翼、４・・・・・・翼つけ根の穴。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 円柱または円筒と円板を組合せ、そあ円板の外周部より
    適当な範囲に半径方向の切込みをつけ、分離された円板
    のおのおのを回転中心に対して所定の迎角だけねじるこ
    とによって形成するターボ分子ポンプ用ロータ翼におい
    て、ロータ翼のつけ根部に切込み巾より大きい直径を有
    する穴を設け、この穴を切込みの終端に連続せしめたこ
    とを特徴とするターボ分子ポンプのロータ翼。
JP1982169276U 1982-11-10 1982-11-10 タ−ボ分子ポンプのロ−タ翼 Pending JPS5973595U (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006090231A (ja) * 2004-09-24 2006-04-06 Boc Edwards Kk ターボ分子ポンプ固定翼の製造方法および真空ポンプ
EP3392508A4 (en) * 2015-12-15 2019-08-07 Edwards Japan Limited VACUUM PUMP AND ROTATING BLADE AND MECHANISM OF REFLECTION MOUNTED ON A VACUUM PUMP
JP2021014800A (ja) * 2019-07-10 2021-02-12 エドワーズ株式会社 真空ポンプの製造方法、真空ポンプおよび真空ポンプ用のステータ

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US11009029B2 (en) 2015-12-15 2021-05-18 Edwards Japan Limited Vacuum pump, and rotor blade and reflection mechanism mounted in vacuum pump
JP2021014800A (ja) * 2019-07-10 2021-02-12 エドワーズ株式会社 真空ポンプの製造方法、真空ポンプおよび真空ポンプ用のステータ

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