JPS5970342U - 位置合わせ装置 - Google Patents

位置合わせ装置

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Publication number
JPS5970342U
JPS5970342U JP16626982U JP16626982U JPS5970342U JP S5970342 U JPS5970342 U JP S5970342U JP 16626982 U JP16626982 U JP 16626982U JP 16626982 U JP16626982 U JP 16626982U JP S5970342 U JPS5970342 U JP S5970342U
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JP
Japan
Prior art keywords
notch
driving force
rotating
alignment device
detector
Prior art date
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Pending
Application number
JP16626982U
Other languages
English (en)
Inventor
栗本　宏三
Original Assignee
株式会社日立製作所
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Filing date
Publication date
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Priority to JP16626982U priority Critical patent/JPS5970342U/ja
Publication of JPS5970342U publication Critical patent/JPS5970342U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図はウェハーの説明図、第２図は本考案のウェハー
位置ぎめ機構を示す平面図、第３図は第２図の正面図、
第４図はウェハーが位置ぎめされた状態を示す平面図、
第５図は大形ウェハーの位置ぎめを示す平面図である。 １・・・ウェハー、２・・・オリフラ、３・・・テーブ
ル、４・・・モータ、５・・・摩擦プーリ、６・・・位
置ぎめローラ、７・・田−ラ、８・・・ばね、９・・・
矢印、１０・・・矢印、１１・・・ホトセンサ、１２・
・・大形ウェハー、１５・・田−ラ穴Ａ１５．１６・・
・ローラ穴Ｂ０　　□−一−ブー〒−一 ６　　　　　　／６　　　　〜

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 切欠きを有する被保持物を保持するための少なくとも３
    つの保持器と、前記切欠きを検出するための検出器とか
    ら成り、前記保持器のうち１つは前記被保持物を回転さ
    せるための駆動力を与え、前記保持器のうち１つは前記
    被保持物を保持するための圧力を与え、前記保持器のう
    ち１つは前記被保持物の大きさに応じて保持する位置を
    変え、前記検出器は前記切欠きを検出して前記駆動力を
    断つように構成されたことを特徴とする位置合わせ装置
    。
JP16626982U 1982-11-04 1982-11-04 位置合わせ装置 Pending JPS5970342U (ja)

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JP16626982U JPS5970342U (ja) 1982-11-04 1982-11-04 位置合わせ装置

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JP16626982U JPS5970342U (ja) 1982-11-04 1982-11-04 位置合わせ装置

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JPS5970342U true JPS5970342U (ja) 1984-05-12

Family

ID=30364044

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