JPS596852U - 薄膜容量ｉｃ - Google Patents

薄膜容量ｉｃ

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Publication number
JPS596852U
JPS596852U JP10061582U JP10061582U JPS596852U JP S596852 U JPS596852 U JP S596852U JP 10061582 U JP10061582 U JP 10061582U JP 10061582 U JP10061582 U JP 10061582U JP S596852 U JPS596852 U JP S596852U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
thin film
film capacitive
trimming adjustment
dielectric body
adjustment parts
Prior art date
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Pending
Application number
JP10061582U
Other languages
English (en)
Inventor
三郎 梅田
Original Assignee
株式会社日立製作所
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Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社日立製作所 filed Critical 株式会社日立製作所
Priority to JP10061582U priority Critical patent/JPS596852U/ja
Publication of JPS596852U publication Critical patent/JPS596852U/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来の容量パターンの正面図およびＡ−Ａ’線
断面図、第２図は本考案による正面図、第３図は応用例
を示す正面図である。 １・・ぞ・・・タンタル系膜、２・・・・・・上部電極
、３・・曲誘電体、４・・・・・・上部電極、５・・・
・・・ベース部、６〜９・・・・・・トリミング調整部
、１０〜１４・曲佳リミング加工部。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 対向している誘電体と上部電極において、トリミング調
    整部を対向面積一定で複数個配置し、さらにこの列を複
    数個配置させ、誘電体部の遠端部からトリミング調整す
    るパターンを有することを特徴とする薄膜容量ＩＣ０
JP10061582U 1982-07-05 1982-07-05 薄膜容量ｉｃ Pending JPS596852U (ja)

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JP10061582U JPS596852U (ja) 1982-07-05 1982-07-05 薄膜容量ｉｃ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10061582U JPS596852U (ja) 1982-07-05 1982-07-05 薄膜容量ｉｃ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS596852U true JPS596852U (ja) 1984-01-17

Family

ID=30237941

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP10061582U Pending JPS596852U (ja) 1982-07-05 1982-07-05 薄膜容量ｉｃ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS596852U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6248373U (ja) * 1985-09-13 1987-03-25

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6248373U (ja) * 1985-09-13 1987-03-25

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