JPS5965531U - マスク洗浄装置 - Google Patents

マスク洗浄装置

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JPS5965531U
JPS5965531U JP1982161269U JP16126982U JPS5965531U JP S5965531 U JPS5965531 U JP S5965531U JP 1982161269 U JP1982161269 U JP 1982161269U JP 16126982 U JP16126982 U JP 16126982U JP S5965531 U JPS5965531 U JP S5965531U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
mask cleaning
cleaning equipment
mask
roller
pressure
Prior art date
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Pending
Application number
JP1982161269U
Other languages
English (en)
Inventor
政治 寺島
小池　秀穂
Original Assignee
セイコーエプソン株式会社
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Publication date
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Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の平面図、第２図は側面図、第３図は圧
力可変機構の詳細図、第４図はバネ力の変化とカムの回
転角との関係を示した図である。 １・・・マスク、２・・・ローラ、３・・・シャワー、
４・・・レバー、５・・・テーブル、６・・・案内棒、
７・・・スライド軸、８・・・モータＡ、９・・・変換
機、１０・・・カム、１１・・・バネ、１２・・・可動
ピン、１３・・・圧力調整ねじ、１４・・・ロックねじ
、１５・・・回転軸、１６・・・モータＢ１１７・・・
支持台Ａ１１８・・・支持台Ｂ１１９・・・支持台Ｃ０

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 本考案はＩＣプロセスに使用するマスク洗浄に係り、マ
    スクを設置し左右に移動するテーブルとマスク表面と接
    触するローラの押し付は圧力を自動的に変化させる機構
    および押し付は圧力の基準圧力が調整可能な機構を備え
    た事を特徴とするマスク洗浄装置。
JP1982161269U 1982-10-25 1982-10-25 マスク洗浄装置 Pending JPS5965531U (ja)

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JP1982161269U JPS5965531U (ja) 1982-10-25 1982-10-25 マスク洗浄装置

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JP1982161269U JPS5965531U (ja) 1982-10-25 1982-10-25 マスク洗浄装置

Publications (1)

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JPS5965531U true JPS5965531U (ja) 1984-05-01

Family

ID=30354468

Family Applications (1)

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JP1982161269U Pending JPS5965531U (ja) 1982-10-25 1982-10-25 マスク洗浄装置

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JP (1) JPS5965531U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02212842A (ja) * 1989-02-14 1990-08-24 Mitsubishi Electric Corp 洗浄装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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