JPS5965529U - イオン注入用試料ホルダ−収納カセツト - Google Patents

イオン注入用試料ホルダ−収納カセツト

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Publication number
JPS5965529U
JPS5965529U JP16006682U JP16006682U JPS5965529U JP S5965529 U JPS5965529 U JP S5965529U JP 16006682 U JP16006682 U JP 16006682U JP 16006682 U JP16006682 U JP 16006682U JP S5965529 U JPS5965529 U JP S5965529U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ion implantation
sample holder
storage cassette
cassette
groove
Prior art date
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Pending
Application number
JP16006682U
Other languages
English (en)
Inventor
英治 井川
竹川　忠一
Original Assignee
日本電気株式会社
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Publication date
Application filed by 日本電気株式会社 filed Critical 日本電気株式会社
Priority to JP16006682U priority Critical patent/JPS5965529U/ja
Publication of JPS5965529U publication Critical patent/JPS5965529U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来のイオン注入用試料ホルダー収納カセット
の斜視図、第２図ａは本考案の一実施例を示す上面図、
同図すはその正面図、同図Ｃは本図ｂ゛の円内部分の拡
大図、第３図ａはコロ及びコロ用ホルダーの部分上面図
、同図すはその右側面図、同図Ｃはその正面図である。 １１．２１・・・・・・試料ホルダー収納カセット、１
２・・・・・・試料ホルダー、１３・・・・・・試料、
１４・・・・・・アーム、２３・…・・コロ、２４・・
・・・・コロ用ホルタ−１２５・・・・・・軸。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. それぞれ１箇のイオン注入用試料ホルダーを収納する複
    数の溝を備え、イオン注入装置に取付けたときにこれら
    イオン注入用試料ホルダーをそのイオン注入装置の所定
    場所に位置させるイオン注入用試料ホルダー収納カセッ
    トにおいて、前記イオン注入用試料ホルダーを載せる円
    柱状コロが前記溝の底に備えてあり、この円柱状コロの
    軸は前記溝の側壁面に垂直であることを特徴とするイオ
    ン注入用試料ホルダー収納カセット。
JP16006682U 1982-10-22 1982-10-22 イオン注入用試料ホルダ−収納カセツト Pending JPS5965529U (ja)

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JP16006682U JPS5965529U (ja) 1982-10-22 1982-10-22 イオン注入用試料ホルダ−収納カセツト

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JP16006682U JPS5965529U (ja) 1982-10-22 1982-10-22 イオン注入用試料ホルダ−収納カセツト

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS5965529U true JPS5965529U (ja) 1984-05-01

Family

ID=30352178

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP16006682U Pending JPS5965529U (ja) 1982-10-22 1982-10-22 イオン注入用試料ホルダ−収納カセツト

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JP (1) JPS5965529U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015205748A (ja) * 2014-04-18 2015-11-19 新明和工業株式会社 針整列装置及びそれを用いた針の製造方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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