JPS5964967U - 内付けcvd法用ロ−タリ−ジヨイント - Google Patents
内付けcvd法用ロ−タリ−ジヨイントInfo
- Publication number
- JPS5964967U JPS5964967U JP15997282U JP15997282U JPS5964967U JP S5964967 U JPS5964967 U JP S5964967U JP 15997282 U JP15997282 U JP 15997282U JP 15997282 U JP15997282 U JP 15997282U JP S5964967 U JPS5964967 U JP S5964967U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diameter portion
- pipe
- fixed pipe
- rotary
- large diameter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Joints Allowing Movement (AREA)
- Surface Treatment Of Glass (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図は一般の内付けCVD法を示す模式図、第2図及
び第3図は従来のロータリージヨイントを示す断面図、
第4図は本考案に係るロータリージヨイントの断面図で
ある。 2・・・・・・反応管、3・・・・・・気相系配管、1
2・・・・・・環状突起、20・・・・・・回転パイプ
、21・・・・・・径大部、22・・・・・・径小部、
23・・・・・・段差部、24・・・・・・分離パイプ
、25・・・・・・固定パイプ、26a、26b・・・
・・・シール部材、27・・・・・・通孔、A・・・・
・・連結部。
び第3図は従来のロータリージヨイントを示す断面図、
第4図は本考案に係るロータリージヨイントの断面図で
ある。 2・・・・・・反応管、3・・・・・・気相系配管、1
2・・・・・・環状突起、20・・・・・・回転パイプ
、21・・・・・・径大部、22・・・・・・径小部、
23・・・・・・段差部、24・・・・・・分離パイプ
、25・・・・・・固定パイプ、26a、26b・・・
・・・シール部材、27・・・・・・通孔、A・・・・
・・連結部。
Claims (2)
- (1)回転自在に保持された反応管に連結される回転パ
イプと、該反応管内に気相原料を供給するための気相系
、配管に連結される固定パイプと、尚該両パイプを連結
するための連結部とを有し、該連結部は上記固定パイプ
の外周に設けられかつ上記回転パイプの先端面に接当自
在な環状突起と該回転パイプの外周に取り付は自在であ
ってかつ環状突起を介して上記固定パイプに連結力を付
与する取付は部とを備えた内付けCVD法用凸−タリー
ジヨイントにおいて、上記回転パイプの先端部に径大部
を設けると共に径小部と連通ずる分離パイプを該径大部
と径小部との段差部に固着し、鉢分離パイプと径大部と
によって画定される環状間隙内に上記固定パイプの先端
部を挿入すると共に該固定パイプと径大部との間隙にそ
の内外周に摺接自在なシール部材を配置し、さらに酸化
力スあるいは希釈ガス等の所定のガスを導入するための
通孔を上記回転パイプの径大部に設け、同通孔を上記段
差部とシール部材との間に開口させてなる内付けCVD
法用ロータリージヨイント。 - (2)固定パイプの先端面は段差部と通孔との間に位置
している実用新案登録請求の範囲第1項記載の内付けC
VD法用ロータリージヨイント。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15997282U JPS5964967U (ja) | 1982-10-22 | 1982-10-22 | 内付けcvd法用ロ−タリ−ジヨイント |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15997282U JPS5964967U (ja) | 1982-10-22 | 1982-10-22 | 内付けcvd法用ロ−タリ−ジヨイント |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5964967U true JPS5964967U (ja) | 1984-04-28 |
JPH017722Y2 JPH017722Y2 (ja) | 1989-03-01 |
Family
ID=30351993
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP15997282U Granted JPS5964967U (ja) | 1982-10-22 | 1982-10-22 | 内付けcvd法用ロ−タリ−ジヨイント |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5964967U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018031403A (ja) * | 2016-08-23 | 2018-03-01 | 月島機械株式会社 | ロータリージョイント |
-
1982
- 1982-10-22 JP JP15997282U patent/JPS5964967U/ja active Granted
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018031403A (ja) * | 2016-08-23 | 2018-03-01 | 月島機械株式会社 | ロータリージョイント |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH017722Y2 (ja) | 1989-03-01 |
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