JPS5960946A - 高周波装置の特性可変装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 発明の技術分野 本発明はマイクロ波帯のＪ、つな高周波装置の特性可変
範囲に係り、どくに共１１１に空胴１ｂ導波管の共振周
波ツに特ｆＵ、あるいは位相性（ＩＩなどの特１〕１可
変装置の改良に１１！１づる。

青用技術およびイの間に、（１点 例えばマイク「１波電力の増幅装置Ｎに用いられる直進
形フライスト［１１ンＡゝ）、粒子用）重器などの高周
波装置、ｂＬ　＜　ｔ；を他の種々の高周波装置には、
共振周波数可変形の１烏周波ハ振空胴が用いられる１゜
このＪ：うな高周波空胴の特性可変装Ｇどして【ま種々
の形式のｂのが知られて（１メリ、ぞの一つどして空胴
璧の一部に形成した高周波結合孔にチューナ４１１１体
を接続し空刷内にカップ状導体を進退移動さＵ゛て空胴
の共振性（’Ｉを可変としＩこ形式のしのが知られてい
る。また導波管の一部に伝送波の位相をｇｔえるため複
数本の位相特ｆ＋可変用導体を押入りる場合１）ある。

さ”らにまた空胴や導波管に可動り、０絡板を設４−Ｊ
Ｃぞれらの特性を可変とした装置す知られている。＊発
明はこのＪ、うな高周波Ｈｇｔの′ｌｚｉ性可変装置に
関づるｂのである。

とこイ）で、Ａ′’；い周波数装置ｒ１の動作周波４ｋ
が非常に高い場合ヤ）、あるいは装置の特性を〜ｑ調整
したあどははとんど疫、≧イ１いよ）なＸ：１装周波空
胴の場合は、周波数回変装Ｇｉ　ｔ＞比較的小形で、簡
単な構造でｉノ１む場合が多い３．シかし数１０ＫＷｉ
ｌ与るいはそれ以、１の＋ｆＧｉ周波電力が供給されし
かもとくに周波数が比較的低く、［ｌ′″）特性可変範
囲が広く、したがっ（’　Ｗ　（′１可変用力ツノ゛状
導の人ささおよびその移動範囲が大ぎく、さらにｉｔ５
　ｖＪ空で用いられる高周波１ム置の１’ｒ　１′１ｉ
り変！ぺ置で（、Ｌ、とくに可動的に設（プら４′よる
カップ状２１９体の強制冷７．１１が必要であり、ニし
た可変（１（横１ｆｉ人形化して仝休どしく装置が′Ｉ
ｉ２？什化してしＪ、う７．カッ１１人導１水を冷ム１
１？ｌるどともに微１ｆｌｌｌ　、ＩＪつＴＩ′ｉｔ谷
に可動さＵ、るためには、カップ状導体を歳えるｉＪ動
幀の中を＞ＩＴシー（冷媒を導入・排出１ノる４１１冒
告が、（１；ＩＩＩ　’１：ある。しかしこの場合、と
くに可動１ｈｌ＋を）１力水のため中空にづると、この
Ｑｉ＋を進退Ｓ動さＵるための駆動（火４ｊ４の構成が
制約される。

このためＶ＋ｌ動ニア１ｉ　＋ｉＪｔが比較的長い場合
はどくに可動軸の横掘を生じさけ−ないようにりる（大
溝がｒν９ｆｉど４「す、シカ０装：ｒｉ　（Ｔ）外り
へ突出ｔ　ル’５１’　７７％が長大どなりコンパクト
で高精度の特１’ｌ’　ＩＩＩ変を１１７ることが困′
ｆｉ１１どなる。

発明のＩ：Ｉ的 本発明（，１，以、Ｌのような不ｊａｉ合を解消りるわ
のであって、比較的低い動作周波数η゛犬電力高周波エ
ネルギーを吸うｉ４置であって＝ｂ、コンバク１〜で１
１つ精）狂のよいｌｉ　’＋ｌ可変装四４１足（１１，
づるしのである。

発明の概要 Ａ発明はＱ！ｉ　ｆ！１可変体りなわらチュー゛）゛カ
ップを支持部る可動−Ｌ軸をその内部に冷媒を通しうる
ように中空棒状ど／、ｉし、この可動主軸（こ沿つて支
１．１枠構ｊ問体を設４−１てこのＱｆｆｈの横に平行
に可動用の回転ネジ軸を設置し、このネジ軸に螺合する
摺動ナツトど可動１］軸とを；４１ム１．板で−（本市
に固定し、これによって７１動主軸を進）尺移動さける
ようにしたものである。またネジ軸と反対側に案内枠を
同じく主軸に平行に設（づ、連結板の両側をこれらネジ
軸ｉＪ３よび案内棒で支持しながら移動さけるＪ、うに
して、これによって可動主軸は横振れ等をと［すること
なく微Ｒ’Ａな移動ら可能となり、またヂューナ構体仝
体す比較的小形に構成でき゛る。したがってこの発明は
可動上軸の内部を通してチーＬ−ナカツブ冷）、１１川
の冷循１イ・ン！ン人・１１１出１ノる入電力用の高周
波装［ｉ′７にどくに適りる。

発明の実施例 本発明を粒子加速器の加速用共振空胴装置に実Ｍｌｉ　
ｌ、た構成につき、以下図面を参照し−Ｃ説明づる。

なお、同一部分（よ同　？ｊｌ　ＩｌｌでｉＦ＞られり
。

粒子加速器は電工あるい（，１陽了等の荷電粒子の運動
コーネルギーをＬ背さ１４るため加速用具眼空胴に外部
からンーｒクロ波］−ネルギ−が導入される。

りなわ’５　ｕｓ　１図にての要部１！Ｍ　Ｐ８を示１
、うに、加速用１（振空胴（２０）を構成づる円筒状空
胴η！（２１）の中心部分にＩ’ｉ　ｊ’ｌｉ粒ｊ′が
通る穴（２２）をｂつ中空管（２３）が凝りられ、？　
＋Ｉｉｉ撃（２１）の一部に段【フられた人力結合窓（
２４）に接続された外部導波管（２５）がら空胴（２ｇ
）内にｆ９！Ｉλば４３００Ｍ　Ｉ；７帯のマイクロ波
が供給される６１．うにな−ンている。一方、９１１１
１（ｚｏ）に−フランジ（２Ｇ）により結合されたチュ
ーナ（２Ｌ）か設（′Ｊられ、カツノ゛状の周波数補正
用チューナカップ（２８）が空＋１１１内（ご進４ｆｌ
可動にとりつ（〕られでいる。ツカツブ２８）は可動−
１モ軸（２９）を介し゛（駆動装置ｒ７（３０）により
矢印（３１）の如くビス１−ン運動が可能へ、Ｊ、うに
）ｊ４成されている。図中の符５’、　（２８ａ　’）
　ＬＬツカツブ空胴内に押込まれた１１′Ｉ向をあられ
しくいる。

この装置は動作１１、ｒに空胴型（２１）の内面に高周
波電流が流れ、それによる電力損失のために苧Ｊ桐壁が
熱膨張しで空１１（の固自」（娠周波数が変化りる。

その結果、人力１１′４周波どの整合が不適切と＞＜り
効率の（１，Ｃ１”等をひき−起こしてしＪ、う３．こ
れを防１１−りるため空１洞の共振周波数変化を検出器
により検出し・、制御ＩＨ’ｉ　（３Ｊ　＞　（”　１
ｇ　＞ｊ処］！ｌ！　Ｌ／　−Ｃ駆ｉ１’Ｊ１　％　１
ｆｆｉ　（３０）を駆動制御しチューノーカップ＜２８
）を空胴内に挿入してパノ肢周波数を自動的に補ｊｌ“
りくン。１、うに（ｊ！１成されている。しｌζがって
ブコーノ−（２７）のカップ＜２１３）ｔ、ｉ常に空胴
の共振周波数が一定となるように矢印（３１）に示づ如
く動かされる。空胴（２０）内は動作時に例えばｉｏ−
？　−１−Ｏｒ＋’という超高真空に保たれる。このた
めチューナ（２７）の内部空間（３４）ｂ真空ベローズ
（３５）により超高真空に保ｌ５．れる。ν１り胴内壁
を流れる高周波電流の一部はブｌ−す（２７）の外筒（
：ＩＧ）の内壁面にも流れる。

この高周波電流がべ［」−ズ（３５）や可動：ｌｉ軸（
２９）の支Ｊ’、’ｊ部分に′、１：　’Ｃ−ｉヱ（）
（流れると、べＵ−ズ゛の各部が光熱して貞空気密１８
合部の破１０等が生じたり、ｉｓｊるい（、Ｌ　ｊｉｉ
動１軸（２９）の支持部分の小間隙や後）ボする１」−
ラ輔受部分などＣ゛、α周波敢電を生じる等の危険１ノ
１がある。こ４１・５・防１１−りるためチューナ（２
Ｌ）の外局（３Ｇ）どチーｌ−・ツカツブ〈２８）の円
筒状部内周壁とを電気的に’）、Ｃｉ絡ηるＪ、うに円
周状に１２ｊ動Ｉｇ　Ｉ’ｒｌ！　ｌ＋’４体（３７）
がとりつ（）ｌ’ｉ　レ−（イＺ＞。またｉｊｌ動主軸
（２９）は支梢枠（１１１体（阻）に駆ｉυノ機構の一
部を介し−（支ＩＳ１され（いる１、イ丙１ｉ、空胴型
（２１）、ごｆニ１−ナカツフ゛（２＋Ｓ）、タト筒（
３Ｇ）などは、電気仏心性Ｊ３よび然仏心性のりぐれた
金属、たとえば銅で形成されている。

次に各部の訂細を第２図７１ｊ　Ｊ、’び第３図にＪ、
り説明する。

共振空胴ｃａｔ（２１）の一部に形成されたブ：１．−
−）結合孔（４１）に連通してりｉ端にフランジ（２Ｇ
）を右りる円１；）壁（４２）が突設され、ぞの外方に
さらにフラノン（２６）　、　　（４３）を右する水冷
円筒壁（４４）が電気的おＪ、び真空気密的に１Ｂ合固
定されでいる。水冷円ｆｉ　ｓｓｔ　＜　４４　ンのタ
ト周に４Ｊ冷ｌＪＩ水のジトケッ１−がよりられバイブ
（４Ｃ）、（４７）にＪ、り冷り水が導入、刊出さ１′
シるＪ、うになっている。両円筒鳳１？（４２）、（４
４）はヂコーナ（２７）の外筒（３Ｇ）を構成しＣい”
；＋　ＩＬこの外商（３６）の内側にこれど離隔近接し
てヂコーナカツブ（２８）が進）Ｕ移すノ可１１１士に
配冒され′でいる１、このノコツブ（２Ｂ）ｔ；ｌ、（
１底円筒状をなし、その底部中央Ｊ３よび山間部分て゛
気密用着板（４８ンを介しＣイれぞれ中空棒状の可動」
二軸（２９）に固定され（浅域的に保持されている。、
中空の可動主軸（２９）内には冷却水を矢印（？’）の
如く流入、流出さけるｌ（めの細い導水バイブが挿入さ
れ、図の左方端部に液密にどりつ（〕られたジ：１イン
ド（５０）に連通されている。チューナカップ（２８）
の底部内側においては、冷却水がカップ内壁面に泊−）
で流れるように中空円筒状の冷却水案内筒（５１）がカ
ップ内壁面とわずかな間隔をおい（設（〕ら＋２、これ
は主軸（２９）の外周に液密に固４′１されＣＩＬる。

そして二Ｉ軸（２９）には冷却水４７１出用の通水孔（
５２）が封：１１板（１）の近くに説【ノられ、冷７Ｊ
ｌ水が矢印（））の如くパイプ（４つ）の外周空間４・
通り一〇外部にＥ出されるようになっている。円筒壁（
４４）のフラノン（、＋３）にはブ１−−ノー駆動部を
どりつりるための７ランジを右ツる支持基板（！ｉ３）
が電気的１・１°つ真空気密的に接合ｉ＼れている１、
この☆１、°１阜１ｆｆ（！ｉ３＞の中ソ！萌に（よ可
ｉツド１軸（２９）が通される透ｒＬが形成され、まタ
ーｉＭｉ　（１１１１（、−ｔ、Ｌ　ｌｉ！７　！Ｆ／
Ｉ　７ｔｔｊ絡４’ｌｆ体（３７）の−部を４１４成１
ノる多数の弾籾金属支ｈ’＋体（５４）、（５４）・・
・がＮいに微少間隔（゛リークル状にポルｌ”（５！ｉ
）、（５５）・・・により固着されている。各弾性金属
支持体（５４）、り５４）・・・の先端には、金属ブロ
ックから４する導電体接触体（！ｉＧ）、（５Ｇ）・・
・が周々独）’／的に固ン１されＣＪ′）す、ｆＪ−ナ
カツブ＜２８）のスカート部（２８ｂ）の内周壁面に押
Ｉｒされながら接Ｐｒｌ：　ｃさＵ−ら独でいる９、そ
こで、支持基板（５３）のこの面側にａ５いてはまた、
弾１１１金属支Ｊｉ！＋体（５４）、（５４）・・・の
内側部分に少〆、・＜どム３１１４１、例えば４個のロ
ーラ軸受（５７ン、（５７）・・・が円周−１に冨１？
！７隅で設Ｕノられ、１のローラ（！ｉ８）　、　　（
５８）・・・がｉ′ＯＩＴ！ｌノ主軸＜２９）の外周面
に当接されてこの可動主軸（２９）を支え（いる。また
この支持基板（！ｉ３）の他１ｊ　（７）面側には、可
動主軸の外周を覆いこれに沿って外方に延び、端部がこ
の可動１輔（２９）の端部外周壁に真空気密的にｊｌｌ
ｉＪ着された真空べ［１−ズ（３５）がどり゛つ（ＪＣ
）れて゛いる。このようにして空Ｉ詞（２０ンとどｂに
チューナ（２７〉の内部空間（３４）、、およびベロー
ズ（３５）の内部空間は高真空に保たれる。１、うにな
っＣいる１、シたがってＪ、ｋ回動シ、ｕ組構１ホ（３
７）（Ｉ３Ｊ、び各ローラ軸受（５７）　、　ｌ１ｌ−
ラ（５８）も高真空中に位動している。さらに支持基板
（５３）には駆動モータ（５つ）がどりつりられ、駆動
軸（Ｇｏ）、ギヤ（Ｃ１）、（６２）、軸受（６３）を
介して四躬ノ自在のネジｌｌ１ＩＩ＋（Ｇ４）を回転７
６ようになっている。このネジＩＩｇ１１（６４）は、
外周にネジが切ってあり、イの一端が支持基板（５３）
に設りられた軸受に回転用１１Ｌに支持され他端が固定
板（Ｇ！ｉ）に設（−）られた１１１受（６３）に′支
持され、ギヤ（６２）に一体向に固着さね−〈］いる。

このネジｌ’ｌｌｌ　（Ｇ４　）には１．１７動ナツ１
〜（ＧＯ）が螺合きれ、このノツ１へ（６６）に連結板
（Ｃ７）が固定ざ４’ｔ、−ｚいる１、連結板（６７）
は目動１”ｌ’ｌｌｌ　（２！ｌ）　）と一体向にＮ１
’＋合されているジ］（ンｈ　（！１（１）　（１）外
周に固、ｉ″１（きれテｉｔｊす、また−での端部（ま
横１ｆｊれ防＋、ｌ−用の案内棒＜６８）に一対の案内
し１−ラ（（ｉｏ、）、（Ｇ！ｌ）を介して支持されで
いる。

こうしＣし一タ（５９）、駆動軸（６０）、ギヤ（６１
）、（６２）、ネシリＹｈ　（Ｇ４）　、１ｙ７動Ｊ−
ツｌ−（（３（ｉ）　、連結板（ｌｉ７）、案内ローラ
１９）ｉま、可動子’ｈｌ＋　（２’ｌ）を横ノ“ノ向
に３ｊｌ、　、１１−；移ｉｔ’ｌｌさＵる駆動（幾１
１′１°！を形づくっている。ぞして固定板（Ｇ５）は
、４本の固定支持棒（７０）、（７０）・・・・にＪ、
り支１、°１基板（５３）に機械的に固定されており、
また案内棒（６８）も固定板（６５）お、１、び支持Ｊ
ｉｂ板（５３）に（へ波しされ固定されている。こうし
て固定支持棒（７０）、（７０）°・・、案内棒（ＧＯ
）、おＪ、び固定板（６５）は可動−［−軸の外り端部
おＪ、びこの上＋１１１１を駆動−４る駆動１ｆｌｌｔ
　４Ｍを支える支持枠４１′４体（孤）を形づくっＣい
る。

したがっ−７：　ｉｉｌ　ｉＦＪ＋−１軸（２９）を支
える軸受（幾ｉｉ、ｌ、は、可動主軸の（２９）の中間
部分を支えるローラ軸受１ノなわち中間部ｃｈｌｌ受４
（？１体、お３１、び可１ＦＪＪ主軸の乃ト方端部を支
えるどどしにこの主軸を駆動する駆動惺Ｍ　４Ｍ体・）
なわら１−述の支持枠（１４体（挑）および駆１Ｉｌｌ
１機構の一部によって描成さ４′１でいる。つまり主軸
１よ真空べＬｌ−ズをはさ／Ｖで真空領域に位置１ノる
中間部分と外り端部分どの２箇所で支持している。

ブーユーリ（２Ｌ）のチ１−ナカツフ゛（２８）１．を
空１胴（筬）に対して次のようにして進退さけられる。

づなわ１）、−し−夕＜５９）の回ΦＲによりギＡノを
介してネジ軸（Ｇ４）が回転さぼられるど、これに螺合
しＣいる１習動ナツト（６Ｇ）が図の横り向に移動勺る
。このナツト（Ｇ６）に一体向に結合８れている連結板
（Ｇ７　）　Ｊ　Ｊ、びジョインｈ（！ｉ０）を介して
可動主軸（２９）も支持枠（１−１体（３８）の内側領
域においＣ−緒に横方向に移動し、これに固定されｌζ
カップ（２８）が空ＩＨ（２０）内に進）口（Ｊる。ど
くにこの装置においては、可動主軸（２９）がその外方
端部で＋　３Ｊｉの通り連結板（（ｉ７）、ネジ軸（６
４）を介しで固定板（６５）および支持枠（７０）など
からく【る支に’、＋　ｌ；１１１ｉ１　（ホ（邦−）
に支えられ、また中間部分が１」−ラ（５１１＞　６３
　Ｊ、びＬｌ−一ン１１伯受（５７）により支ｊも基板
（！ｉ３）に支えられながら移動Ｊ゛るようになっでい
る。どのため可動」輔（２Ｑ）によびこれに固着された
ヂＪノ、−ナカツブ（２８）　４、上、中心軸の振れを
生り“ることなく進退上き已られる１、このブー」−−
ツカツブ（２８）と外筒（３６）どは、例えば５００Ｍ
　１１１帯のハ撮周波数をし、）空胴の場合で約２１■
１稈度という小３な間隙（す）？ｒ石・ＪるＪ、うに構
成され−Ｃいる。この間１ｉｉ１ｉ　（す）　１１．１
！　；Ｉニーｉざると高周波放電を生にやすり、：Ｉ、
た広１ｊさ゛るど１３１動短絡構体（３Ｌ）ｌＪ向ｌ＼
のξ１“Ｊ５周波電流が人きくなりりさ゛るの（゛、こ
の間隙（（１）は常にぞの設定用法に保たれなければイ
屏・ら＜ｋい。’Ｊ”、ｉ’わｌ）ヂューナカップ（２
８）の移動にとしなりでこれに振れが１１じイ）と、こ
のカップの振れ自体によ−）（空胴の」（振周波数特１
／１が変動しく　１．　二Ｉ：う不都合がｑじ、；１．
た間隙のｉ！Ｊ、くなて〉たどごろで１１１４周波放電
を起こすａ３それがあり好ましくない。以、−にの本発
明実施例にＪ、ればごのような不都合は確実に解消され
、安定に動作り゛る。

なお、チュー−）゛カップ（２８）のスカート部（２８
ｂ　）の内周面に接触りる摺動短絡構体（３Ｌ）は、第
４図Ｊ５よび第１）図にボタ゛ように構成されている。

づｔ「わノ）りんＨｉ　ｔＦ４　ｄりるい【、１．ベリ
リウムｆｆＦ）のよう４ｇ導電性にり゛ぐれｌζ弾性金
属４４利からなる支持体（５４）が、１字オノ（に成形
され、その先端に（既して直方体すなわちブロック状の
に′！電体接触体く５Ｇ）が固着されＣなる。この接触
体（！ｉＧ＞は、ｊｌ・１または銀をＩ（Ａにし、これ
に黒鉛ｌメ混入されＩごものである。ぞしてりｒ　；Ｌ
ｔ、　＜はこれらの金属粉末を沢合して焼結し、グロッ
ク払に成形してなる。３１〜動接触面（５６ａ）は、相
・［の接触面り’ｅｒ　４：’　ｌつ、１記実Ｍｌｔ１
刊にＪｊ４）るチューノーカップのヌカ−１一部（２８
ｂ）の内周壁面に適合りる円弧状に成形し−Ｃ広い面積
ぐ面接触するＪ、うにしである。また弾性金属支持体（
５４）どの接合は、１１番ペース１〜のにうな）り電１
（ｌ接着材（７１）により接着するどとムに、ポル１−
（７２）により背後り目）同＃’ｌ−’Ｊる。、これに
よって接触体ど支持体との面状の電気的接合が行られる
とともに、ｈが　どれか′１−）（゛ｂ過熱を生じたり
し゛Ｃ接着月（７１）が劣化してしｌロック状接触体（
！１（ｉ）が（悦落（Ｊるお°Ｃ４′Ｌ　／Ｊべ１く（
ハ・１・０性／３に高＜７．する。

こうじで接触体（！ｉＧ）をＣｊ覆゛る弾１／１金屈支
持体を、メカ−１一部（２（’、ｂ　）に冶・−ノＣリ
ークル状に多数配列し、１字状喘部を互い（二小間隔づ
−なわスー）高周波がべＬＪ−ス／ノ向へ希＋　ｉ’、
ｌ　Ｌ／　’＋’ｌ−いＪ、−）＜Ｋ　６県［（（１へ
１）人をイ１ノいで１１？べ、ポル１〜により電気的お
よび１械的にフランジ（５３）に結合しＣなる１、そし
て渚に接触体（５６）がメカ−１〜部（２８＋１）に強
く押しｆ］けられるようにＩＩ　Ｊｔ＼７（られる。

なＪｊ、第６図Ｊ３よび第７図に示４ように、カップ（
２ｉｉ）のメカ−１〜部内測り、１間に、１月ノるｉ’
＋Ｊ動主軸（２９）の外周面に７１．１ツク状の導電体
接触（ホ（５Ｇ）が接触りるＪ：うにＪＭ成しｊ−ｂＪ
、い。この場合、軸受（！ｉ７　）　Ｊ７　Ｊ、ヒソ０
）Ｄ−ラ（！＋８）　ｙ：；４５うＪ、うに半断面がク
ランク状の支持台（７６）をフランジ（５３）に固定し
、この十にリークル状に複数個の弾竹金属支持体（ｓ４
）’ｉ−固着づる。これににって比較的少ない数の支持
体（５４）Ｊ３よび接触体（！ｉ６）で構成しうる。

可動Ｊ−軸（２９）を支える軸受機（ｊｌｌのうｊう、
−ての中間部分を支える中間部軸受（Ｔ１１体（８０）
ＩＪ：、第８図乃至第１０図に示１ノように可動Ｅｌ−
輔（２９）の外周に等間１１ｆ３　’（”当接−’Ｊる
回転＋’ｌ　ｆｌＩ　にＩ　　−／　（５８）、（！ｉ
８）・・・を（１する４個のローラ軸受（５７）、（５
１）・・・が支持Ｊ、４板（５３）　ＩＺ　ｌｉ！；Ｉ
定さイｑ、−ｃイ「る。

各ローラ（５８〉、（，５８）・・・４４周面が：ＪＩ
ｈｔ＋　（２９＞に適合Ｊる凹面（８１）と４１され、
ローン軸（３２）にＪ、り支持されている。ぞして市め
ｂじ（８３）にＪ、り各々が１−軸方向に強く押しっ（
）られで固定され（’＜Ｃる。これら軸受に（よい４っ
ゆるガス放出の原因どなる。１、うイ「潤）；“）４４
は使用し４ｒい。なＪｊ　ｍ＋−一ノ軸受はボールベア
リングを右し−（し良く、この場合ｔ）ガス放出の１京
囚どなるような潤滑祠は使用しイに　い　。

このＪ、うにして目動主１’ｌ！１（２９）はその中間
部分の真空領域内の、しかも高周波電流が及ばない部分
におい（支持！Ｌ仮に固定さ４１に少イｆくとも３１１
１；Ｊ（図に示した例では４　ｆｌＩ、］　）　、好Ｉ
Ｊしくは６個稈；良のローラにより軸ノ゛ｊ向に）１（
退可ｆｉｌ）に支持されでいる。

さて、可動１輔（２で））の外ｊｊ　ＭＭｉ部を支持す
るどどしにこの主軸を駆動覆る外１Ｊｌ）：“１；部保
持４１１１休（敷）は第２図、第Ｓ１図、負）１１図、
Ｉｊ　、、ｌ、び第１２図に示すように、克持枠侶（４
、（３８）の一部を４８成ηる固定板（（ｉ！ｉ）と支
１：’＋Ｊ１４ｆｊ　（！Ｊζ））との間ＩＪ橋ｉ１？
Ｌ　Ｌされた回転ニンジ輔（ＧＡ　）　ｄ’；　Ｊ、び
ぐ９内棒（６８）、ネジ軸に螺合された摺動Ｊ−ツ１〜
（（ｉ（ｉ）、並びにこれｒうに保持さｔｔ　−Ｃ’　
Ｂ　：ｎ）厭：　ｉ’ｔ　−４＋　連結板（Ｇ　７　）
　１．＝　Ｊ、−、）で４Ｍ’　１４ｋ　サｔｔでいる
。連結板（６７）は−Ｉ°軸（２９＞をはさんＣ＝／′
ｊの側Ｃ・ネジ部ｌ１ｌ（０４）に係１（−され、反対
側Ｃ′案内１−１・−ラ（県））、（６！ｌ）を介しＣ
案内棒（６８）に係ＩＩされＣいる。ご−）シ（”ｒｉ
いに１舎・／メ合うギヤ〈Ｇ１）、（６２）が［−タ（
５９）に３１、り回り］λさひらねると、ギＸ７（６２
）と一体化されているネジ軸（６４）が回転し、これに
形成さＩｌ、　ｉこネジ部（Ｇ４ａ　）ど螺合りる摺動
ナラ１（（Ｔ６）おＪ、びこのナラ１〜に固定され／Ｃ
連結イＪｉｉ（Ｃ７）がイ８ｉｐ）７　ｃｆ　４　、　
連結板（Ｃ７〉は連結板（２９）ど・［Ｌ行に段ｔ）ら
れたネジＩｔｌｌ＋（６４）と案内棒（１３８）どひ両
側から保持されながら移ｒＦＩＪりることになり、この
連結板（６７）にジヨイント（５０）を介して固定され
た可動主軸（２９）は横振れなどを（１−ヂることｈく
保持され１］つ軸プｊ向に進退移動させられる。このＪ
、うにして可動」−軸は実Ｔ１的に真空べ臼−ズを（ま
ざんぐ中間部分ど外方端部分の２筒所で１″１１持さ４
′ン、駆動槻構にＪζり進退移動可能になっている。可
動１輔（２９）の移動に伴イＣつてこの主軸の内部を通
して冷却水を尋人・ＩＪＩ出ＩＪるジ」インｌ”　（５
０）　６３よび外部の通水管をｍ続するためのバイブも
一部に横方向に移動する。摺動ナツト、連結板、ＪＩＪ
、びジ１イン１−の部５）【ま、支１、′１枠（１１１
体り到）の内側り４ｒわ４）支１−°ｉ　１４１ｋ　（
芝ｉ　３　）と固定板（Ｇ、’＋　）　と（１）　Ｈ’
ａを往復移動し、可ｔ１７ｊ−ｔりＹｌ＋（２９）１．
１固定板よりｂタト方へ突き出してしまうことが４１い
。

なお、１−記実施例では連結板を両側で支持りるネジ軸
（６４）および案内棒（Ｃ８）の位置を、二１３軸（２
’：ｊ）を１ノ（ん（・対称のイＩ／岡ηイＴわ１）ｉ
ｏｏ度のイ）ン岡に設りたが、これに限らすよ’ｌ’１
ｌｌ（２９）を実質的に両側ｉＪ　Ｉう支１で１する関
係になる１１′Ｉ置（ル）４′口ま°Ｊ、い。

あるいはまた、案内棒を視故飼ｉｉＱ　ｉ、Ｊてｂ　Ａ
、く、これらに、１、つ−で−１情の（１翫１振れを防
１トリ′る）ｆｌ’ｉ　３τ１！にする。

まｌζ、支持基板は上記実施例と同様の（大曲を石り゛
る形ひ外筒の一部を石ｆ１、前払にμ）、形して一体化
したｔ）のＣあつ℃６，１、い。ざらにまた、支持枠構
体〈呟）ｌ）、複数の壱Ｊ２１枠にＪ、フて１ｆｆｆ成
するものに限ら・Ｊ“、板状体を姐み合［ＬでＩｉ７成
しくも４１、く、さらにギ１）の位置し）固定板の内側
に設置してｂよい。また、案内棒（６８）ｔＪ、省ｌ！
ｌｌ　ｌ、てもＪ、いが、より−Ｉｉ”ｉ安定に移動さ
けるためにはこの案内棒を設りる方が右利Ｑ　Ｊする。

’ニア、　ｉｌ’ｊこの案内棒の１１１１造は、案内棒
に可動１“１ｔ（１１に治う、１．う←二凹１１１１を
形成し、この凹１１１１には；１、り合ってｌｉ’７　
：Ｆ’）する１：１−ラ（工りるいは突起を連結板にと
りつけて４１４成してムにい。

発明の効果 本発明は双子説明した。１−う（５１，１セ［性可変用
チコー丈力ツノを進退さする可動１−＋ＩＮｂの外ノリ
端部を、支持枠構体の内側部分にＪ３い−Ｃ’ｉｉｌ動
主軸の横に平行にＩ）ρべて説（Ｊた駆動用回転ネジ軸
によって、連結＋Ｉｙ！Ｊｉ　Ｊ、ぴ１１７動ナツ１〜
を介し７て動か１Ｊ、うにして・ＩＣす、これら可動Ｉ
軸の外７Ｊ喘部、連結（ルおよび１？７動〕“ツ１〜の
移動範囲が支持枠１７．Ｈ体の内側部分に収められるに
うになっている。これにＪ、って装置が比較的小形で、
しか１）チｔ　−−Ｊ゛カツプ移動距離をほぼ支持枠構
（木の長さ分いっぽいまで６人さくとること−し可能（
・ある１、でしζｉｉｌ動〕−ツ１〜を中空棒状にしで
これにｆノーナノＪツブ冷１．１１用冷媒をど）人・ｊ
Ｊｌ出さＶる荀′、；ｉｊｉにしてＬ〕、確実、安定イ
ｊ：　Ｉ’ｌ１４動がＣ″きる。

また、連結板をネジ軸および案内棒で両側ｈ”−）保持
して移動さけるＪ、うに構成覆ることにより、可動主軸
のｆ〜１娠れを１１イ「実に防止して高Ｊ’ｉ’ｉ麻の
；ｊ；　ｊｊ’４移動が可能ζ・ある。

したが・ノて、本発明はどくに超人電力高周波エネルギ
ーを扱うｊ（振空胴ヤ）導波管のような高周波１ム閘の
、共振周波数特性や位相時１！１などのｔｉｉ密４ｃｉ
１変調整（虚構に適し、比較的コンバクｉ−で大きいス
１〜１１−りの可変が可能である。

４、図面の１ｉｉｉ中４１〜．；；）門弟１１２７１は
ホブγ、明の一実施例を示り（１況ｌＩ＋＋横断面図、
第２図は（の要部［１Ｊ１面図、０′！３図はての側面
図、りｉ／Ｉ図【３１．ざの　部層７５１図、第ｊ図は
その縦断面図、第６図り、Ｌ他の実ｊｒＩ例４示ず一部
断面図、第２図はでの一部斜視図、Ｕ）８３図はさ１）
に他の実施例を示Ｊ要ｔ；１（断面図、り）９図はその
側面［ス１、第１０図は同じくでの　部斜視図、第１１
図は第３図の（１１）　−（１４）にお（）る断面図、
第１２図は第２図の（１２）　−（１２）に、１月ノる
［（〕ｉ面図である。

（２０＞・・・）！：　１ＩＩｖ空１１１１、　　（２
１）・・・空胴壁　、　　（２７）　　・　・　・−１
−１−す　、　　（２ｆ（）　　　・　・　・　グー−
１−ナノＪツブ、（２８ｉ）　　・・・カップのスノノ
ー１へ部、（３５）・・・真空へ１１−ズ（３Ｇ）・・
・外商、（３７＞　　・　・　・Ｉｉ！’！　ｉＦＪ＋
知紹（短絡付〜、　（３８〉　　・・・支持枠ＢＩＸ、
（ホ（４９）・・・導水バイゾ、（５０）・・・ジコイ
ント、（！ｉ３）・・・支持重板、（Ｑ、）　−、、中
間部す１１１受構体、（ＩＩ！ｉ）・・・外方端部保ｉ
、′Ｉｌｉ”＋　ｆ本、（！ｉ７）・・・Ｌｌ−ラ輔妥
、（！ｉ８）　　・・・Ｌ−１−ラ、（！ｉ９）　　・
・・し−タ、（ロ）、（ｆｉ２）・・・ギ〜７、（Ｇ！
ｉ）・・・固定板、（７０）・・・支持棒、（６４）・
・・ネジ軸、（６Ｇ）・・・１：“１動ノッ１−１（６
７）・・・連結板、（’ｆｉ８）・・・案内棒、（６９
）・・・？に内＋：＋　−５。

（７３１７）代理人弁理十　則近霞侑（はが１名）２５ 才４図　　　　　　↑５目 才８図 ＋９図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）　ｉ！’４周波１ム１へ壁の一部に突設された外
   筒と、上記１も置の特・Ｉｌｌを可変４るようにｎ＆記
   外筒の内側を通して可動的に配設されたチＪ−犬カツブ
   ど、−’Ｇｉがこのヂューナカップに固定され−（該カ
   ップを軸方向に移動７り能に支持し他端が上記外筒の端
   部Ｊ、リム外方へ延長ｌ）て設（″）られだ中空棒状の
   ｎ１動主軸と、土−８ｄ可動＋１１１１の外方端部／ｐ
   　＋ら該主軸内を・通しく、Ｌ記ブコーナカップに冷９
   Ｓｊを導入・排出するＪ、゛）に設（）られＩζ冷却菰
   １醒ど、１記外商、ＮＩｌ：ｉ　Ｑｔｔ　ニ［Ｌｓｌ定
   されるどとｂに上記７３７勤−１−軸をＬ′１通ｕしめ
   る透孔を右りる導電体製支持基板と、−☆；１；部が直
   接またはＬ記支持Ｊｌ板を介しＣ上記外筒に気密に接合
   され他端部が」二記可動主軸に沿って延長され該主軸　
   （の外方端部近くの外周壁に気密的にとりつ（］られた
   真空べＬｌ−ズと、Ｌ記ｉ１肋主軸を支える軸受数構ど
   、−☆ソ１：部が上記支持基板に固定され１１！シロ；
   ｊｆ　ｉ’Ｒｊが１肴！　Ｉｌｌ動；Ｊ三軸の外ｊｉ端
   部方向に延長されるとどしに先端部に固定板を右づる支
   持枠４ｉ”＋　’ｌホど、この支１ｉｌｉ枠４；＋’ｉ
   体にとりつ（Ｊられ駆動−し−夕により上記可動主Ｑ１
   ＋を軸方向に進）ｌ移動ｉキｌ↓る駆動（穴溝とを族１
   面し、前記駆動１２１　（Ｍは、十配回動士＋１１１１
   の横に該主軸と平行してイ１７置、−キれト１つ−１−
   記支持基板ｉ１３　Ｊ：び支持枠構体Ｃ支えられるどど
   もにギ（７をｆｆｆｌ　して駆動モータにＪ、り回転さ
   けられる回転ネジ軸、この軸に螺合された摺動ナラｈ　
   、　ｉｔ）よびこの摺動ノーン１〜ど１−配回動１−輔
   とを一１木的に連結づる連結板を右してなり、１記１習
   動ナツトおよびンｖ結板がトみＬ支乃基ＩＬＦと支持（
   つ゛描体の固定板どの間にあ−）（可動ＩＴ軸と一体的
   に軸）ｊ向に移動１Ｊるように構成ンキれでなることを
   特徴とする１１゛ｂ周波１々直の’Ｍ　ＩＩｒ　ｌ変装
   置。 ２）高周波装置壁の一部に突設された外筒と、」、記装
   置の特性を可変する。」、うに前記外筒の内側を通しで
   可：Ｐｈ的に配設されたチューナカップと、一端がこの
   ゛ｆノーーナカツブに固定されて該カッ／を軸方向に移
   動可６ｉ≦に支持し曲端が上記外１ｊ）の端１″Ｊ＋ｓ
   　Ｊ、すし外方へ延長して設けられｌζ中空棒状の可動
   主軸と、上記可＋１’ＪＪＬ軸の外／’、Ｊ　１）Ｋｊ
   部から該主軸内を通して上記チ：】−ナカツブに冷媒を
   導入・ＩＪ＋出覆るように設【ノられた冷ム１１装置と
   、上記外筒端部に固定されるとともに上記可動主軸を円
   通せしめる透孔を右づる導電体製支Ｊ：°１基板と１．
   、−４装ｇ部が直接または上記支持基板を介して上記外
   筒に気密に１良合され他端部１ｒ’ｉ　１：配回動主軸
   に沿って延長され該主軸の外方端部近くの外周壁に気密
   的にとりつジノられだ真空ベローズど、に配回動主軸を
   支える１１ｑｌ＋受機構と、一端部が上記支持基板に固
   定され他端部が上記可動−り軸の外方Ｅ部方向に延長さ
   れるととｂに先端部に固定板を右づ“る支持枠構体ど、
   この支持枠（笛体にとりつ（プられ駆動モータにＪ、り
   上記可動主軸を軸／〕向に進）ｑ移動さける駆動賎横と
   を具１（八し、前記駆動１ｊ！　４ｙは、上記可動主軸
   の横に該主軸と平行して位置され１１つ−に記支持基板
   おＪ、び支持枠（１゛（冒ホでヌζえられるどど−しに
   ギＸ７を介しＣ駆動し−ウにＪ、り回転さｔ！ｌ）れる
   回転ネジ軸、この軸に螺合された摺動ナラ１−１おＪ、
   びこの摺動ナラＩ−ど一１記可り）−レｈｌ＋とを一体
   的に連結りる）１１！結板を右しζなり、１記ネジ軸と
   平行に１−１゛−）ｉ′ｉ■動十軸を挾／ｖ　’ｌ’反
   ス・１がわに位置されるどと０に受持Ｊｉ＝を板ど固定
   板どの間に保持された案内棒が設置、Ｊられ、連結板の
   がこの案内棒に駆動”Ｉ　（Ｉｉｓ’に係市されて、該
   連結板の一部が上記摺ｉ１すＪナラ１〜にＪ、リネジ軸
   に移動可能に支持されるどどしに他の一部が該ネジ軸ど
   反対がりにお−い（に記案内棒に可動的に支持されて１
   ．［記摺動プッ１〜ｉ１５　Ｊ：び連結板が１−記支持
   基板と支持枠構体の１．１・１定板との間にあ−）て可
   動主軸と一体的に軸ツノ向に移動りるように（ｉｔ、！
   、成されてなることを粕徴どづるｊ！Ｒ１周波装置行の
   ’ｌ−ｆ　＋Ｌ　ｉｉ３変装置。