JPS595868U - 粒子線装置における試料装置 - Google Patents

粒子線装置における試料装置

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JPS595868U
JPS595868U JP9939882U JP9939882U JPS595868U JP S595868 U JPS595868 U JP S595868U JP 9939882 U JP9939882 U JP 9939882U JP 9939882 U JP9939882 U JP 9939882U JP S595868 U JPS595868 U JP S595868U
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JP
Japan
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particle beam
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beam equipment
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JP9939882U
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基英 浮穴
力 木村
Original Assignee
株式会社日立製作所
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案による一実施例の試料支持部の全体の構
成を示した横断面図、第２図は同実施例の試料回転台近
傍の拡大横断面図、第３図は試料　　　一回転台部分の
拡大縦断面図である。 １・・・試料回転台、２・・・支持部材、３・・・穴、
４・・・軸、５・・・ローラ、６・・・軸、７・・・ロ
ーラ、８・・・ブーＩＪ−１９・・・軸承、１０・・・
中空穴、１１・・・ひも、１２・・・可動片、１３・・
・ガイドピン、１４・・・ガイド溝、１５・・・送りね
じ、１６・・・柄部、１７・・・軸、１８・・・０リン
グ、１９・・・０リング、２０・・・嫡子、２１・・・
ピボット、２２・・・カバー、２３・・・メッシュオサ
エ、２４・・・試料ｄ

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 試料支持部材に試料台を設け、該試料台に試料を載置し
    、ひもを介して前記試料台を傾斜又は回転させるように
    した粒子線装置における試料装置において、試料台にル
    ープ状でかつ弾性的に張架されたひもの１個所又は複数
    個所をひもが摺動可能なように圧しつけ、ひもからの振
    動が前記試料台へ伝わらないようにしたことを特徴と′
    する粒子線装置における試料装置。
JP9939882U 1982-07-02 1982-07-02 粒子線装置における試料装置 Pending JPS595868U (ja)

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JPS595868U true JPS595868U (ja) 1984-01-14

Family

ID=30235573

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001066231A (ja) * 1999-08-31 2001-03-16 Hitachi Ltd 試料作成装置および試料作成方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001066231A (ja) * 1999-08-31 2001-03-16 Hitachi Ltd 試料作成装置および試料作成方法

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