JPS5958339U - カンチレバ−形半導体圧力検出器 - Google Patents
カンチレバ−形半導体圧力検出器Info
- Publication number
- JPS5958339U JPS5958339U JP15327682U JP15327682U JPS5958339U JP S5958339 U JPS5958339 U JP S5958339U JP 15327682 U JP15327682 U JP 15327682U JP 15327682 U JP15327682 U JP 15327682U JP S5958339 U JPS5958339 U JP S5958339U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- type semiconductor
- cantilever type
- semiconductor pressure
- pressure detector
- external force
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Measurement Of Force In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来のカンチレバー型半導体圧力検出器を用い
た圧力計の断面図、第２図は本考案の実施例の断面図及
び第３図は別の実施例の斜視図を示す。 １０・・・半導体チップ、１５．２１・・・外力伝達体
、２０・・・補償用のチップ。
た圧力計の断面図、第２図は本考案の実施例の断面図及
び第３図は別の実施例の斜視図を示す。 １０・・・半導体チップ、１５．２１・・・外力伝達体
、２０・・・補償用のチップ。
Claims (2)
- （１）応力検出素子の拡散された半導体チップの一端が
台に固定され、他端が外力伝達との外力に直交する接触
面で貼着固定されて成るカンチレバー形半導体圧力検出
器において、補記接触面に対して面対称に前記半導体チ
ップの反対側に前記外力伝達体と同一材料のチップが貼
着されていることを特徴とするカンチレバー形半導体圧
力検出器。 - （２）同一材料のチップが、外力方向に延びた外力伝達
体に設けられた穿孔へ前記半導体チップが挿入されるこ
とにより形成されていることを特徴とする÷用新案登録
請求の範囲第１項記載のカンチレバー形半導体圧力検出
器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15327682U JPS5958339U (ja) | 1982-10-12 | 1982-10-12 | カンチレバ−形半導体圧力検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15327682U JPS5958339U (ja) | 1982-10-12 | 1982-10-12 | カンチレバ−形半導体圧力検出器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5958339U true JPS5958339U (ja) | 1984-04-16 |
| JPS6333147Y2 JPS6333147Y2 (ja) | 1988-09-05 |
Family
ID=30339159
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15327682U Granted JPS5958339U (ja) | 1982-10-12 | 1982-10-12 | カンチレバ−形半導体圧力検出器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5958339U (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4953088A (ja) * | 1972-09-20 | 1974-05-23 | ||
| JPS52119971A (en) * | 1976-03-31 | 1977-10-07 | Honeywell Inc | Force converter |
-
1982
- 1982-10-12 JP JP15327682U patent/JPS5958339U/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4953088A (ja) * | 1972-09-20 | 1974-05-23 | ||
| JPS52119971A (en) * | 1976-03-31 | 1977-10-07 | Honeywell Inc | Force converter |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6333147Y2 (ja) | 1988-09-05 |
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