JPS5954544U - プラズマ処理用放電電極装置 - Google Patents
プラズマ処理用放電電極装置Info
- Publication number
- JPS5954544U JPS5954544U JP14919282U JP14919282U JPS5954544U JP S5954544 U JPS5954544 U JP S5954544U JP 14919282 U JP14919282 U JP 14919282U JP 14919282 U JP14919282 U JP 14919282U JP S5954544 U JPS5954544 U JP S5954544U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- discharge electrode
- electrode device
- plasma treatment
- cover
- case
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Landscapes
- Drying Of Semiconductors (AREA)
- Polymerisation Methods In General (AREA)
- Other Resins Obtained By Reactions Not Involving Carbon-To-Carbon Unsaturated Bonds (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案の一実施例を示す正面図、第２図は第１
図゛の■−■断面図である。 １・・・電極板、２・・・磁石ケース、３・・・ケース
カバー、６・・・表面保護カバー、７・・・裏面保護カ
バーミ９・・・第１磁石、１０・・・第２磁石、１１・
・・環状磁性体板、１２・・・冷却水路。
図゛の■−■断面図である。 １・・・電極板、２・・・磁石ケース、３・・・ケース
カバー、６・・・表面保護カバー、７・・・裏面保護カ
バーミ９・・・第１磁石、１０・・・第２磁石、１１・
・・環状磁性体板、１２・・・冷却水路。
Claims (1)
- 電極板と、その裏面に設けられた非磁性体ケースと、該
ケースの内部に収容された磁石と、前記ケースの裏面開
口部を覆う磁性体カバーと、該カバーの外面を覆う不銹
性保護カバーとを含むプラズマ処理用放電電極装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1982149192U JPS6026096Y2 (ja) | 1982-09-30 | 1982-09-30 | プラズマ処理用放電電極装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1982149192U JPS6026096Y2 (ja) | 1982-09-30 | 1982-09-30 | プラズマ処理用放電電極装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5954544U true JPS5954544U (ja) | 1984-04-10 |
| JPS6026096Y2 JPS6026096Y2 (ja) | 1985-08-06 |
Family
ID=30331251
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1982149192U Expired JPS6026096Y2 (ja) | 1982-09-30 | 1982-09-30 | プラズマ処理用放電電極装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6026096Y2 (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55146925A (en) * | 1979-05-04 | 1980-11-15 | Toshiba Corp | Manufacturing of magnetic film |
-
1982
- 1982-09-30 JP JP1982149192U patent/JPS6026096Y2/ja not_active Expired
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55146925A (en) * | 1979-05-04 | 1980-11-15 | Toshiba Corp | Manufacturing of magnetic film |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6026096Y2 (ja) | 1985-08-06 |
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