JPS5952897B2 - Manufacturing method of polyimide precursor - Google Patents

Manufacturing method of polyimide precursor

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JPS5952897B2
JPS5952897B2 JP6185780A JP6185780A JPS5952897B2 JP S5952897 B2 JPS5952897 B2 JP S5952897B2 JP 6185780 A JP6185780 A JP 6185780A JP 6185780 A JP6185780 A JP 6185780A JP S5952897 B2 JPS5952897 B2 JP S5952897B2
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JP
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acid component
polyimide precursor
tetracarboxylic acid
polyimide
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JP6185780A
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一雅 五十嵐
勝彦 山口
和幸 三木
和夫 伊香
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Nitto Denko Corp
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Nitto Electric Industrial Co Ltd
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  • Macromolecular Compounds Obtained By Forming Nitrogen-Containing Linkages In General (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は有機テトラカルボン酸成分とジアミンとの重
合反応によりポリイミド前駆体を製造する方法に関する
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a method for producing a polyimide precursor by a polymerization reaction between an organic tetracarboxylic acid component and a diamine.

近年、耐熱性、耐薬品性、機械的特性および卓越した電
気絶縁性が要求される工業材料の分野に、耐熱性高分子
と呼ばれる一連の新規ポリマーフが採用されるようにな
つてきた。
In recent years, a series of new polymers called heat-resistant polymers have been employed in the field of industrial materials that require heat resistance, chemical resistance, mechanical properties, and excellent electrical insulation properties.

これらの耐熱性高分子のなかでもとくにポリイミドポリ
マーはエナメル電線被覆材、銅張印刷回路基板用フィル
ム、絶縁フィルム・シート、接着剤、クロス含浸ゝ材な
ど多方面にわたつて用いられており、その優秀なる特性
を発揮している。しかるにかかるポリイミドポリマーは
各種ガラス、セラミック、シリコンウェハなどの被接着
体との密着性に劣る問題がある。
Among these heat-resistant polymers, polyimide polymers in particular are used in a wide range of applications, including enamel wire coatings, films for copper-clad printed circuit boards, insulating films and sheets, adhesives, and cloth impregnated materials. It exhibits excellent characteristics. However, such polyimide polymers have a problem of poor adhesion to objects to be adhered such as various glasses, ceramics, and silicon wafers.

このことはたとえばポリイミドフイルムの作成法として
ガラス板上にポリアミド酸の溶液をキヤステイング、乾
燥した後ガラス板から剥離する方法が採られていること
からも理解できる。このためポリイミドポリマーをこれ
ら被接着体の被覆材として利用する場合ポリマー本来の
すぐれた特性を活かしきれない憾みがあつた。そこでこ
のような密着性を改良するために有機テトラカルボン酸
二無水物とジアミンとを反応させて得られるポリアミド
酸に官能性シラン化合物を作用させてポリアミド酸ポリ
マーの分子内もしくは分子鎖末端の活性基(遊離のカル
ボキシル基、活性水素、アミノ基、酸無水物基など)を
介してシラン化合物を結合させる試みがなされている。
This can be understood from the fact that, for example, a method for producing polyimide film involves casting a solution of polyamic acid on a glass plate, drying it, and then peeling it off from the glass plate. For this reason, when polyimide polymers are used as coating materials for these objects to be adhered, it has been difficult to take advantage of the excellent properties inherent in the polymers. Therefore, in order to improve such adhesion, a functional silane compound is applied to a polyamic acid obtained by reacting an organic tetracarboxylic dianhydride and a diamine to activate the intramolecular or molecular chain terminal of the polyamic acid polymer. Attempts have been made to bond silane compounds via groups (free carboxyl groups, active hydrogen, amino groups, acid anhydride groups, etc.).

このシラン変性ポリイミド前駆体によればガラスなどに
対する密着性がある程度改良されるものの、工業的に有
効と認められる程度の密着性を附与させるためには、多
量の官能性シラン化合物を用いなければならない。この
理由は長鎖のポリマーとシラン化合物との反応であるた
め相対的に反応性が低くなリンラン化合物の全量が必ら
ずしも有効に作用せず、これを考慮した上での過剰の変
性量が必要とされるためである。
Although this silane-modified polyimide precursor improves adhesion to glass etc. to some extent, a large amount of functional silane compound must be used in order to impart adhesion to an industrially effective level. No. The reason for this is that since the reaction is between a long-chain polymer and a silane compound, the entire amount of the phosphorane compound, which has relatively low reactivity, does not necessarily work effectively. This is because a large amount is required.

そしてこの余剰のシラン化合物はポリイミド変換時に揮
散した密着性の向上に全く寄与しないか、あるいはポリ
イミドポリマー本来のすぐれた特性たとえば耐湿性など
を低下させる原因となる。この発明者らは、かかる観点
から鋭意検討した結果、有機テトラカルボン酸成分の一
部を予め特定の官能性シラン化合物で変性したシラン変
性多価カルボン酸成分をつくり、これを残余の有機テト
ラカルボン酸成分とともにジアミンと重合反応させるこ
とにより、反応性、密着性およびポリイ.ミド本来の特
性に対しいずれも好結果が得られることを知り、この発
明を完成するに至つたものである。
This excess silane compound volatilizes during polyimide conversion and does not contribute at all to improving the adhesion, or causes a decrease in the excellent properties inherent to the polyimide polymer, such as moisture resistance. As a result of intensive studies from this point of view, the inventors created a silane-modified polycarboxylic acid component in which a part of the organic tetracarboxylic acid component was modified in advance with a specific functional silane compound, and this By polymerizing the diamine together with the acid component, reactivity, adhesion and polyimide properties can be improved. It was discovered that good results could be obtained for both of the inherent properties of Mido, and this led to the completion of this invention.

すなわちこの発明は有機テトラカルボン酸成分とジアミ
ンとの重合反応によりポリイミド前駆体・を製造するに
当たり、上記カルボン酸成分の一部を、予め次の一般式
(1);(ただし、式中Rは珪素原子に直接結合する炭
素原子を含む二価の有機基、Xはアルコキシ基、アセト
キシ基、フエノキシ基およびハロゲンから選ばれた加水
分解可能な基、Yはアルキル基、アルコキシ基、アセト
キシ基、フエノキシ基、シリル基、シロキシ基、ジシラ
ニル基、オルガノシリル基、オルガノシロキシ基、オル
ガノハロシリル基およびオルガノハロシロキシ基から選
ばれた基である)で表わされるアミノシラン化合物に、
上記一般式中のアミノ基(NH2)と少なくとも一個の
加水分解可能な基(X)とを介して反応させて、次の一
般式(2);(ただし、式中TOlは有機テトラカルボ
ン酸成分の一価残基、TO2ま有機テトラカルボン酸成
分の二価残基、Zはカルボニル炭素と結合したx基を含
むことがある酸基、R,XおよびYは前記一般式(1)
の場合と同じであり、nはYがアルコキシ基アセトキシ
基およびフエノキシ基の場合は2または3の整数、Yが
上記以外の基の場合は2からなる整数である)で表わさ
れるシラン変性多価カルボン酸成分となし、このカルボ
ン酸成分を残余の有機テトラカルボン酸成分とともにジ
アミンと重合反応させることを特徴とするポリイミド前
駆体の製造法に係るものである。
That is, in producing a polyimide precursor by a polymerization reaction of an organic tetracarboxylic acid component and a diamine, this invention preliminarily converts a portion of the carboxylic acid component into the following general formula (1); (wherein R is A divalent organic group containing a carbon atom directly bonded to a silicon atom; group, silyl group, siloxy group, disilanyl group, organosilyl group, organosiloxy group, organohalosilyl group and organohalosiloxy group),
The amino group (NH2) in the above general formula is reacted with at least one hydrolyzable group (X) to form the following general formula (2); (wherein, TOl is an organic tetracarboxylic acid component. a monovalent residue of TO2, a divalent residue of an organic tetracarboxylic acid component, Z is an acid group that may contain an x group bonded to a carbonyl carbon, R, X and Y are represented by the above general formula (1)
, where n is an integer of 2 or 3 if Y is an alkoxy group, acetoxy group or phenoxy group, or an integer of 2 if Y is a group other than the above). The present invention relates to a method for producing a polyimide precursor, which is characterized in that the carboxylic acid component is used as a carboxylic acid component, and the carboxylic acid component is polymerized with a diamine together with the remaining organic tetracarboxylic acid component.

このようにこの発明においては各種のアミノシラン化合
物で変性した前記一般式(2)で表わされるシラン変性
多価カルボン酸成分を有機テトラカルボン酸成分のひと
つとしてジアミンと重合反応させるようにしているから
、ポリイミド前駆体を合成した後に官能性シラン化合物
を反応させる従来方法に較べて高い反応性が得られると
ともに、ポリイミド前駆体の分子骨核中にシラン結合を
直接撞入させることができるために魅着性改善効果も大
きくなる。
In this way, in this invention, the silane-modified polycarboxylic acid component represented by the general formula (2) modified with various aminosilane compounds is polymerized with diamine as one of the organic tetracarboxylic acid components. This method is attractive because it provides higher reactivity than the conventional method of reacting a functional silane compound after synthesizing a polyimide precursor, and it also allows silane bonds to be inserted directly into the molecular core of the polyimide precursor. The sexual improvement effect will also be greater.

その結合工業的に有効と認められる程度の密着性をアミ
ノシラン化合物の僅かな使用量で達成でき、ためにポリ
イミドポリマーの耐湿性を損なうなどの心配も生じない
。しかもかかる方法で製造されるポリイミド前駆体はこ
れを最終的に高温加熱処理してポリイミドに変換したと
き、ガラス、セラミツク、シリコンウエハ、酸化アルミ
ニウムの如き金属酸化物などに対するすぐれた密着性と
ともに、ポリイミド本来の優秀な耐熱性、耐薬品性、電
気絶縁性、機械的特性などを発揮するものであり、上記
変性前駆体にさらに未変性の通常のポリイミド前駆体を
配合するなどの必要性はとくにない。
Adhesion that is recognized as industrially effective for bonding can be achieved with a small amount of the aminosilane compound, and therefore there is no concern that the moisture resistance of the polyimide polymer will be impaired. Moreover, when the polyimide precursor produced by this method is finally converted into polyimide by high-temperature heat treatment, it has excellent adhesion to glass, ceramics, silicon wafers, metal oxides such as aluminum oxide, etc. It exhibits excellent original heat resistance, chemical resistance, electrical insulation, mechanical properties, etc., and there is no particular need to further blend an unmodified ordinary polyimide precursor with the above-mentioned modified precursor. .

すなわちこの発明によれば一般式(2)で表わされる各
種のシラン変性多価カルボン酸成分と通常の有機テトラ
カルボン酸成分とを同時にジアミンと重合反応させると
いう簡単な操作で前記すぐれた特性を発揮するポリイミ
ド前駆体を製造できるから、製造工程上極めて有利とな
り、またポリイミドの均質化も図られる。
That is, according to the present invention, the above-mentioned excellent properties are exhibited by a simple operation of simultaneously polymerizing various silane-modified polycarboxylic acid components represented by the general formula (2) and a normal organic tetracarboxylic acid component with a diamine. Since it is possible to produce a polyimide precursor that has the following properties, it is extremely advantageous in terms of the production process, and homogenization of the polyimide can also be achieved.

この発明において用いられる有機テトラカルボン酸成分
は隣接炭素原子にそれぞれ結合する一対二個の酸基を二
対、つまり計四個の酸基を有するものであつて、芳香族
、脂肪族もしくは脂環族のテトラカノレボン酸またはこ
れらのエステノレ、アミド、ハロゲン化物、一無水物、
二無水物などの誘導体が広く包含される。
The organic tetracarboxylic acid component used in this invention has two pairs of one pair of two acid groups bonded to adjacent carbon atoms, that is, a total of four acid groups, and is aromatic, aliphatic, or alicyclic. tetracanolebonic acids or their esters, amides, halides, monoanhydrides,
Derivatives such as dianhydrides are broadly included.

もつとも好適な有機テトラカルボン酸成分は芳香族テト
ラカルボン酸二無水物である。これらの酸成分は一種で
あつても二種以上混合して用いてもよい。このような有
機テトラカルボン酸成分の具体例はあえて列挙するもの
でもないが、もつとも好適とされる芳香族有機テトラカ
ルボン酸二無水物の代表例につき例示するならば、たと
えばピロメリツト酸二無水物、3・3″4・4″−ベン
ゾフエノンテトラカルボン酸二無水物、3・3″4・4
″−ビフエニルカルボン酸二無水物、2・3・3″・4
″−ビフエニルテトラカルボン酸二無水物、2・3・6
・7ーナフタレンテトラカルボン酸二無水物、1・2・
5・6−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、1・4
・5・8−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、2・
2−ビス(3・4−ジカルボキシフエニル)プロパンニ
無水物、ビス(3・4−ジカルボキシフエニル)スルホ
ンニ無水物、3・4・9・10−ペリレンテトラカルボ
ン酸二無水物、ビス(3・4−ジカルボキシフエニル)
工ーテルニ無水物、2・2−ビス(2・3−ジカルボキ
シフエニル)プロパンニ無水物、1・1−ビス(2・3
−ジカルボキシフエニル)エタンニ無水物、1・1−ビ
ス(3・4−ジカルボキシフエニル)エタンニ無水物、
ベンゼン一1・2・3・4−テトラカルボン酸二無水物
、2・3・6・7ーアントラセンテトラカルボン酸二無
水物、1・2・7・8−フエナントレンテトラカルボン
酸二無水物などがある。
The most preferred organic tetracarboxylic acid component is aromatic tetracarboxylic dianhydride. These acid components may be used alone or in combination of two or more. Specific examples of such organic tetracarboxylic acid components are not listed here, but representative examples of aromatic organic tetracarboxylic dianhydrides that are considered suitable include, for example, pyromellitic dianhydride, 3.3″4.4″-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, 3.3″4.4
″-biphenylcarboxylic dianhydride, 2, 3, 3″, 4
″-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 2, 3, 6
・7 Naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 1.2.
5,6-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 1,4
・5,8-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 2.
2-bis(3,4-dicarboxyphenyl)propanihydride, bis(3,4-dicarboxyphenyl)sulfone dianhydride, 3,4,9,10-perylenetetracarboxylic dianhydride, bis( 3,4-dicarboxyphenyl)
2,2-bis(2,3-dicarboxyphenyl)propananhydride, 1,1-bis(2,3
-dicarboxyphenyl) ethanide anhydride, 1,1-bis(3,4-dicarboxyphenyl)ethane dianhydride,
Benzene-1,2,3,4-tetracarboxylic dianhydride, 2,3,6,7-anthracenetetracarboxylic dianhydride, 1,2,7,8-phenanthrenetetracarboxylic dianhydride and so on.

この発明において用いられる前記一般式(2)で表わさ
れるシラン変性多価カルボン酸成分は、上述した有機テ
トラカルボン酸成分の一部を、下記の一般式(1);(
ただし、式中Rは珪素原子に直接結合する炭素原子を含
む二価の有機基、xはアルコキシ基、アセトキシ基、フ
エノキシ基およびハロゲンから選ばれた加水分解可能な
基、Yはアルキル基、アルコキシ基、アセトキシ基、フ
エノキシ基、シリル基、シロキシ基、ジシラニル基、オ
ルガノシリル基、オルガノシロキシ基、オルガノハロシ
リル基およびオルガノハロシロキシ基から選ばれた基で
ある)で表わされるアミノシラノ化合物で変性してなる
ものである。
The silane-modified polycarboxylic acid component represented by the general formula (2) used in this invention is a part of the above-mentioned organic tetracarboxylic acid component expressed by the following general formula (1);
However, in the formula, R is a divalent organic group containing a carbon atom directly bonded to a silicon atom, x is a hydrolyzable group selected from an alkoxy group, an acetoxy group, a phenoxy group, and a halogen, and Y is an alkyl group, an alkoxy group, acetoxy group, phenoxy group, silyl group, siloxy group, disilanyl group, organosilyl group, organosiloxy group, organohalosilyl group, and organohalosiloxy group). That's what happens.

上記のアミノシラン化合物の代表例を挙げれば、たとえ
ば次の分子式;H2NCH2CH(NH2)CH2Si
(0C0CH3)3で表わされるものである。
A typical example of the above aminosilane compound is the following molecular formula: H2NCH2CH(NH2)CH2Si
It is expressed as (0C0CH3)3.

もちろん上記以外の一般式(1)を満足するものであれ
ば広く使用できる。変性反応は一般式(1)中のアミノ
基(NH2)および少なくとも一個の加水分解可能な基
xと有機テトラカルボン酸成分との反応であり、この反
応を達成させるためにはアミノシラン化合物1モルに対
して略2モルの有機デトラカルボン酸成分が用いられる
。反応は通常発熱的に進行するが、Nーメチル−2−ピ
ロリドン、N−N″−ジメチルアセトアミドなどの極性
溶媒の存在下通常水浴などを用いて反応容器を冷却しつ
つ30℃以下に制御して反応系が均一透明となるまで行
なえばよい。この方法で得られるシラン変性多価カルボ
ン酸成分の具体例として、有機デトラカルボン酸成分と
してピロメリツト酸二無水物を、またアミノシラ
ン 化 合 物 と し てH2
NCH2CH2NHCH2CH2CH2CH2Si(0
CH3)3を使用した例につき、その構造式を示すと次
のとおりである。なお次の構造式(1)において()内
表示は一般式(2)で示される各構造部分を意味するも
のである。上記構造式(1)において、n=3とするた
めにはアミノシラン化合物1モルに対してピロメリツト
酸二無水物を略3モル使用すればよく、またn=2とす
るためにはアミノシラン化合物1モルに対してピロメリ
ツト酸二無水物を略2モル使用すればよい。
Of course, it can be widely used as long as it satisfies general formula (1) other than the above. The modification reaction is a reaction between the amino group (NH2) and at least one hydrolyzable group x in general formula (1) and the organic tetracarboxylic acid component. Approximately 2 moles of the organic detracarboxylic acid component is used. The reaction usually proceeds exothermically, but it is usually carried out in the presence of a polar solvent such as N-methyl-2-pyrrolidone or N-N''-dimethylacetamide while cooling the reaction vessel using a water bath and controlling the temperature to below 30°C. The reaction may be carried out until the reaction system becomes homogeneous and transparent.Specific examples of silane-modified polycarboxylic acid components obtained by this method include pyromellitic dianhydride as an organic detracarboxylic acid component, and aminosilane as an organic detracarboxylic acid component.
H2 as a compound
NCH2CH2NHCH2CH2CH2CH2Si(0
The structural formula for an example using CH3)3 is as follows. In addition, in the following structural formula (1), the expressions in parentheses mean each structural part shown in general formula (2). In the above structural formula (1), in order to set n = 3, approximately 3 moles of pyromellitic dianhydride may be used per 1 mole of the aminosilane compound, and in order to set n = 2, 1 mole of the aminosilane compound may be used. Approximately 2 moles of pyromellitic dianhydride may be used.

そしてピロメリツト酸二無水物の使用モル数によつては
n:2のものとn=3のものとが混在するような組成と
なることもあるが、この発明においてはかかる混合状態
にされたものであつても差し支えない。一方上記の例は
アミノシラン化合物としてその一般式(1沖のYがアル
コキシ基とされたものを使用した場合であるが、Yがか
かるアルコキシ基その他アセトキシ基およびフエノキシ
基以外の基となるアミノシラン化合物を使用するときは
、アミノシラン化合物1モルに対する有機デトラカルボ
ン酸成分の使用モル数を略2モルとし、一般式(2)中
のnが2となるようなシラン変性多価カルボン酸成分を
生成しなければならない。
Depending on the number of moles of pyromellitic dianhydride used, the composition may include a mixture of n:2 and n=3, but in this invention, such a mixed state is used. There is no problem even if it is. On the other hand, the above example uses an aminosilane compound whose general formula (1) is an alkoxy group, but an aminosilane compound in which Y is an alkoxy group or a group other than an acetoxy group or a phenoxy group is used. When doing so, the number of moles of the organic detracarboxylic acid component used per 1 mole of the aminosilane compound must be approximately 2 moles, and a silane-modified polycarboxylic acid component such that n in general formula (2) is 2 must be produced. .

これは上記変性カルボン酸成分中に珪素原子と直接結合
する少なくとも一個のアルコキシ基、アセトキシ基、ハ
ロゲンもしくはフエノキシ基を残すことによつてポリイ
ミドポリマーとしたときのガラスなどに対する密着性を
顕著に改善できる効果が得られるからであるなお上記例
の如く有機テトラカルボン酸成分として二無水物を使用
した場合には交換反応によつて一般式(2)中のZ構造
部分にカルボニル炭素と結合するx基にの例ではCH3
O基)が含まれてくる。
By leaving at least one alkoxy group, acetoxy group, halogen, or phenoxy group directly bonded to a silicon atom in the modified carboxylic acid component, the adhesion to glass etc. when made into a polyimide polymer can be significantly improved. Furthermore, when a dianhydride is used as the organic tetracarboxylic acid component as in the above example, the In the example below, CH3
O group) is included.

これに対して二無水物以外の有機テトラカルボン酸成分
としてたとえば遊離のカルボキシル基を4個含むものや
その一部または全部がエステル化、アミド化もしくはハ
ロゲン化されたものなどを使用した場合には一般式(2
沖のZ構造部分は通常上述の如き酸基そのもので構成さ
れ、場合によりこの酸基と脱離反応したx基とが反応結
合した前記二無水物の場合と同様の構成とされることも
ある。またこれら各態様においてZ構造部分が遊離のカ
ルボキシル基以外の酸基となる場合に系内に多少の水分
が存在するときは終的にカルボキシル基に変換されるこ
ともある。この発明においてはこのようにしてつくられ
るシラン変性多価カルボン酸成分と残余の未変性の.有
機テトラカルボン酸成分とをジアミンと同時に重合反応
させることによつてポリイミド前駆体を製造する。
On the other hand, when an organic tetracarboxylic acid component other than dianhydride is used, for example, one containing four free carboxyl groups, or one in which some or all of them are esterified, amidated or halogenated, etc. General formula (2
Oki's Z structural part is usually composed of the above-mentioned acid group itself, and in some cases, it may have a structure similar to that of the dianhydride, in which this acid group and the x group that has undergone an elimination reaction are reactively bonded. Furthermore, in each of these embodiments, when the Z structural moiety becomes an acid group other than a free carboxyl group, it may eventually be converted to a carboxyl group if some moisture is present in the system. In this invention, the silane-modified polycarboxylic acid component produced in this manner and the remaining unmodified polycarboxylic acid component are used. A polyimide precursor is produced by simultaneously polymerizing an organic tetracarboxylic acid component and a diamine.

ここで酸成分とジアミンとの使用割合は、シラン変性多
価カルボン酸成分と未変性の有機テトラカルボン酸成分
との合計量に対し、ジアlミンが当量となるようにする
のが望ましい。しかし数%程度であれば上記合計量で表
わされる酸成分が過剰となるような割合とすることも可
能である。また酸成分のひとつであるシラン変性多価カ
ル1ホン酸成分の使用割合は、この酸成分の合成に用い
たアミノシラン化合物と上記合成に用いた有機テトラカ
ルボン酸成分と未変性の有機テトラカルボン酸成分とジ
アミンとからなる使用原料総モル数に対して、上記アミ
ノシラン化合物が0.1からIlOモル%、とくに好適
には0.3〜2.0モル%となるようにすればよい。
Here, the ratio of the acid component to the diamine is preferably such that the amount of dialmine is equivalent to the total amount of the silane-modified polycarboxylic acid component and the unmodified organic tetracarboxylic acid component. However, if it is about a few percent, it is also possible to set the proportion so that the acid component represented by the above-mentioned total amount is in excess. The ratio of the silane-modified polycarboxylic acid component, which is one of the acid components, is the aminosilane compound used in the synthesis of this acid component, the organic tetracarboxylic acid component used in the above synthesis, and the unmodified organic tetracarboxylic acid component. The aminosilane compound may be present in an amount of 0.1 to IlO mol %, particularly preferably 0.3 to 2.0 mol %, based on the total number of moles of the raw material used consisting of the components and diamine.

この発明によればアミノシラン化合物を上記の如き少量
にしても充分に満足できるガラスなどに対する密着性改
善効果が得られる。一方上記より過多になると最終的に
形成され,るポリイミドを耐湿性が損なわれたり、皮膜
性(皮膜としたときの引張り強度や強じん性)や絶縁耐
電圧の如き電気特性に劣るおそれがあり望しくない。重
合反応に用いられるジアミンとしては芳香族ジアミン、
脂肪族ジアミン、脂環族ジアミンをいずれも使用できる
According to the present invention, even if the amount of the aminosilane compound is reduced as mentioned above, a sufficiently satisfactory effect of improving adhesion to glass etc. can be obtained. On the other hand, if the amount exceeds the above, the moisture resistance of the polyimide that is finally formed may be impaired, and the electrical properties such as film properties (tensile strength and toughness when formed into a film) and dielectric strength voltage may be deteriorated. Not desirable. Diamines used in polymerization reactions include aromatic diamines,
Both aliphatic diamines and alicyclic diamines can be used.

よりすぐれた耐熱性を発揮させるためいは芳香族ジアミ
ンを使用するのが好適である。これらジアミンは一種で
あつても二種以上混合して用いてもよい。このようなジ
アミンの具体例はあえて列挙するまでもないが、もつと
も好適とされる芳香族ジアミンの代表例につき例示する
と、たとえばメタフエニレンジアミン、パラフエニレン
ジアミン、4・4″−ジアミノジフエニルメタン、4・
4″−ジアミノジフエニルエーテル、2・2″−ビス(
4アミノフエニル)プロパン、3・3″−ジアミノジフ
エニルスルホン、4・4″−ジアミノジフエニルスルホ
ン、4・4″−ジアミノジフエニルスルフイド、ベンジ
ジン、ベンジジン一3・3″−ジカノレボン酸、ベンジ
ジン一3・3′−ジスルホン酸、ベンジジン一3−モノ
カノレボン酸、ベンジジン一3−モノスルホン酸、3・
3″−ジメトキシーベンジジン、パラ−ビス(4−アミ
ノフエノキシ)ベンゼン、メタ−ビス(4−アミノフエ
ノキシ)ベンゼン、メタキシリレンジアミン、パラキシ
リレンジアミンなどが挙げられる。
In order to exhibit better heat resistance, it is preferable to use aromatic diamines. These diamines may be used alone or in combination of two or more. Although there is no need to list specific examples of such diamines, typical examples of aromatic diamines that are considered suitable include metaphenylene diamine, paraphenylene diamine, 4,4''-diaminodiphenyl, etc. Methane, 4.
4″-diaminodiphenyl ether, 2,2″-bis(
4-aminophenyl) propane, 3,3''-diaminodiphenylsulfone, 4,4''-diaminodiphenylsulfone, 4,4''-diaminodiphenyl sulfide, benzidine, benzidine-3,3''-dicanolebonic acid, benzidine -3,3'-disulfonic acid, benzidine -3-monocanolebonic acid, benzidine -3-monosulfonic acid, 3.
Examples include 3''-dimethoxybenzidine, para-bis(4-aminophenoxy)benzene, meta-bis(4-aminophenoxy)benzene, metaxylylenediamine, paraxylylenediamine, and the like.

重合反応は従来公知の方法に準じて行なえばよく、一般
に有機溶媒の存在下重合発熱を勘案して通常60℃以下
、とくに好適には30℃以下に制御しながら高い重合度
が得られるまで反応させればよい。
The polymerization reaction may be carried out according to a conventionally known method, and is generally carried out in the presence of an organic solvent while controlling the temperature at 60°C or lower, preferably 30°C or lower, until a high degree of polymerization is obtained. Just let it happen.

この重合度は反応物の固有粘度〔η〕を調べることによ
つて簡単に検知できるものである。有機溶媒としては、
たとえばN−メチル−2−ピロリドン、N−N″−ジメ
チルアセトアミド、N−N″−ジメチルホルムアミド、
N・N″−ジメチルスルホキシド、ヘキサメチルホスホ
ルアミドなどの高極性の塩基性溶媒が用いられる。この
種の溶媒はいずれも吸湿性が大きく、吸湿された水分は
重合時の分子量の低下、貯蔵安定性の低下の原因となる
ので、使用に先だつて脱水剤で充分に脱水しておくのが
よい。またこれらの溶媒とともにトルエン、キシレン、
ベンゾニトリル、ベンゼン、フエノールの如き汎用溶媒
を併用することもできる。しかしその使用量は生成ポリ
イミド前駆体の溶解度を低下させない範囲にすべきであ
る。このようにして得られるこの発明のポリイミド前駆
体は、主として次の構造式(2)で示されるような未変
性の有機テトラカルボン酸成分からなるポリマー構造部
分とシラン変性多価カルボン酸成分からなるポリマー構
造部分とが所定割合で結合した構造を有するか、あるい
は未変性の有機テトラカルボン酸成分とシラン変性多価
カルボン酸成分とがジアミノとランダムに重合反応した
ポリマー構造を有するものであり、いずれもポリイミド
前駆体の分子鎖骨核中にシラン結合を有することを特徴
としている。またこれらの変性ポリイミド前駆体にさら
に一部未変性有機テトラカルボン酸も″しくはシラン変
性多価カルボン酸成分単独からなるポリイミド前駆も含
まれることがある。なお下記の構造式(2)は、有機テ
トラカルボン酸成分としてピロメリツト酸二無水物を、
ジアミンとして4・4″−ジアミノフエニルエーテルを
使用するとともに、上記テトラカルボン酸成分をアミノ
シラン化合物で変性してなるシラン変性多価力ルボン酸
成分として前述の構造式(1)で表わされるもの(ただ
し、n=2)を使用した場合のポリイミド前駆体の例を
示したものである。
This degree of polymerization can be easily detected by examining the intrinsic viscosity [η] of the reactant. As an organic solvent,
For example, N-methyl-2-pyrrolidone, N-N''-dimethylacetamide, N-N''-dimethylformamide,
Highly polar basic solvents such as N・N''-dimethyl sulfoxide and hexamethylphosphoramide are used. All of these types of solvents are highly hygroscopic, and the absorbed water causes a decrease in molecular weight during polymerization and storage. It is recommended to thoroughly dehydrate with a dehydrating agent before use, as this may cause a decrease in stability.Also, along with these solvents, toluene, xylene,
General-purpose solvents such as benzonitrile, benzene, and phenol can also be used in combination. However, the amount used should be within a range that does not reduce the solubility of the polyimide precursor produced. The polyimide precursor of the present invention obtained in this manner mainly consists of a polymer structural part consisting of an unmodified organic tetracarboxylic acid component as shown in the following structural formula (2) and a silane-modified polycarboxylic acid component. It has a structure in which the polymer structural parts are combined in a predetermined ratio, or it has a polymer structure in which an unmodified organic tetracarboxylic acid component and a silane-modified polycarboxylic acid component are randomly polymerized with diamino. It is also characterized by having a silane bond in the molecular core of the polyimide precursor. In addition, these modified polyimide precursors may further contain a polyimide precursor consisting of a partially unmodified organic tetracarboxylic acid or a silane-modified polycarboxylic acid component alone.The following structural formula (2) is Pyromellitic dianhydride as the organic tetracarboxylic acid component,
4,4''-diaminophenyl ether is used as the diamine, and the above-mentioned tetracarboxylic acid component is modified with an aminosilane compound to form a silane-modified polyvalent carboxylic acid component represented by the above-mentioned structural formula (1) ( However, an example of a polyimide precursor in the case where n=2) is used is shown.

かかるポリイミド前駆体によればこれを被着体に塗布し
た後高温加熱処理することにより、上記被着体が各種ガ
ラス、セラミツク、シリコンウエハ、金属酸化物などで
あつてもすぐれた接着性ないし密着性を示すポリイミド
に変換でき、また、このポリイミドはその本来の良好な
耐熱性、耐薬品性、機械的特性および卓越した電気絶縁
性などを具備している。
According to such a polyimide precursor, by applying it to an adherend and then subjecting it to high temperature heat treatment, excellent adhesion or adhesion can be achieved even if the adherend is various types of glass, ceramics, silicon wafers, metal oxides, etc. This polyimide can be converted into a polyimide that exhibits properties such as good heat resistance, chemical resistance, mechanical properties, and excellent electrical insulation properties.

したがつてこの発明法によつて得られるポリイミド前駆
体は従来公知の各種用途に適用できるだ1けでなく、各
種ガラス、セラミツク、シリコンウエハなどの被覆材と
しても有効に応用できる利点がある。
Therefore, the polyimide precursor obtained by the method of this invention has the advantage that it can be applied not only to various conventionally known uses, but also as a coating material for various glasses, ceramics, silicon wafers, etc.

以下にこの発明の実施例を記載する。Examples of this invention will be described below.

以下においてポリイミド前駆体の重合度(分子量)を示
すパラメータとして固有粘度〔η〕を用いているが、こ
の固有粘度は溶媒としてN−メチル−2一ピロリドンを
使用し、測定温度30±0.01℃(恒温槽)で次式に
したがつて求めたものである。〔η]=1n(t/TO
)/Ct;ウベローデ粘度計で測定されるポリマー溶液
の落下時間。
In the following, the intrinsic viscosity [η] is used as a parameter indicating the degree of polymerization (molecular weight) of the polyimide precursor. It was determined according to the following formula at °C (constant temperature bath). [η]=1n(t/TO
)/Ct; fall time of polymer solution measured with Ubbelohde viscometer.

TO;上記同様に測定される溶媒の落下時間。TO: Falling time of the solvent measured in the same manner as above.

C ;ポリイミド前駆体(ポリマー)濃度(4).5重
合%とした)。実施例 1 攪拌装置、冷却管、温度計、窒素置換装置を付した50
0m1フラスコを水浴上に固定した。
C; Polyimide precursor (polymer) concentration (4). 5% polymerization). Example 1 50 with a stirring device, cooling pipe, thermometer, and nitrogen purge device
A 0ml flask was fixed on a water bath.

五酸化リンで一昼夜乾燥しさらに減圧蒸留した精製N一
メチノト2−ピロリドン288.63gを上記のフラス
コ中に加え、窒素を流し込んだ。次いでγ−ウレイドプ
ロピルトリエトキシシラン〔H2NCONHCH2CH
2CH2Si(0CH2CH3)3〕の50重量%メタ
ノール溶液(4)本ユニカ一社製品商品名;A−116
0)1.584g(0.003モル)を加え、その後3
・3″・4・4″−ビフエニノレテトラカノレボン酸二
無水物1.764g(0.006モル)を徐々に添加し
た。
288.63 g of purified N-methinoto-2-pyrrolidone, which had been dried over phosphorus pentoxide for a day and night and further distilled under reduced pressure, was added to the flask, and nitrogen was flushed into the flask. Next, γ-ureidopropyltriethoxysilane [H2NCONHCH2CH
50% by weight methanol solution of 2CH2Si(0CH2CH3)3 (4) Product name: A-116
0) Add 1.584g (0.003mol), then 3
- 1.764 g (0.006 mol) of 3'', 4,4''-biphenynoretetracanolebonic dianhydride was gradually added.

この添加後反応系の温度が上昇してきたが、水浴を用い
て反応温度が30℃以下となるように制御した。反応系
が透明となるまで反応させることによりシラン変性多価
カルボン酸を合成した。次に上記の反応系に4・4″−
ジアミノジフエニルエーテル20.0g(0.1モル)
を加えて完全に溶解させ、さらに3・3″・4・4″−
ビフエニルテトラカルボン酸二無水物28.518g(
0.097モル)を添加し、反応系が透明粘稠溶液とな
るまで攪拌した。
After this addition, the temperature of the reaction system rose, but the reaction temperature was controlled to be 30° C. or lower using a water bath. A silane-modified polycarboxylic acid was synthesized by reacting until the reaction system became transparent. Next, add 4.4″-
Diaminodiphenyl ether 20.0g (0.1 mol)
Add and dissolve completely, then add 3.3", 4.4"-
Biphenyltetracarboxylic dianhydride 28.518g (
0.097 mol) was added and stirred until the reaction system became a clear viscous solution.

この操作中温度が上昇してきたが、水溶で30℃以下に
維持した。このようにして得られたポリイミド前駆体は
その固有粘度が1.54であつた。
Although the temperature rose during this operation, it was maintained at 30° C. or lower due to water dissolution. The polyimide precursor thus obtained had an intrinsic viscosity of 1.54.

この前駆体溶液をガラス板上にキヤステイングして熱風
乾燥機中150℃で1時間、200℃で1時間、250
℃で6時間加熱してポリイミドに変換した。形成された
ポリイミド皮膜は強靭であり、常態でのガラスへの密着
性は良好であつた。また121℃で2気圧のプレツシヤ
ークツカーテスト (以下、PCTと略す)でも剥離せ
ず、密着性が高度に改善されていることが判つた。なお
参考のために上記の実施例において、シラン変性多価カ
ルボン酸成分の合成に用いたγ−ウレイドプロピルトリ
エトキシシランのモル数を0.03モノレ、3・3″・
4・4″−ビフエニノレテトラカルボン酸二無水物のモ
ル数を0.06モルに変更し、かつこの変性多価カルボ
ン酸成分とともにジアミンと反応させる未変性の3・3
″・4・4″−ビフエニルテトラカルボン酸二無水物の
モル数を0.07モルとして、上記同様にしてポリイミ
ド前駆体溶液を調製した。
This precursor solution was casted on a glass plate and dried at 150°C for 1 hour and at 200°C for 1 hour in a hot air dryer.
It was converted into polyimide by heating at ℃ for 6 hours. The formed polyimide film was strong and had good adhesion to glass under normal conditions. It was also found that the adhesive did not peel off even in a pressure vacuum test (hereinafter abbreviated as PCT) at 121° C. and 2 atm, indicating that the adhesion was highly improved. For reference, in the above examples, the number of moles of γ-ureidopropyltriethoxysilane used in the synthesis of the silane-modified polycarboxylic acid component was 0.03 monole, 3.3".
The number of moles of 4,4''-biphenynoretetracarboxylic dianhydride is changed to 0.06 moles, and unmodified 3,3 is reacted with the diamine together with this modified polyhydric carboxylic acid component.
A polyimide precursor solution was prepared in the same manner as described above except that the number of moles of ".4.4"-biphenyltetracarboxylic dianhydride was set to 0.07 moles.

この場合のポリイミド前駆体の固有粘度は0.41であ
つた。この前駆体溶液を用いて前記同様の操作でポリイ
ミド皮膜を形成したところ、常態並びにPCTによる密
着性はいずれも良好であつた。ところがポリイミド前駆
体の重合度が低すぎるため皮膜形成能および皮膜の強靭
性に劣り、また皮膜の耐湿性が悪くなつた。比較例 1 実施例1と同様の反応容器に、精製N−メチル−2−ピ
ロリドン283.63gを加え、窒素気流下に4・4″
−ジアミノジフエニルエーテル20.0g(0.1モル
)と3・3″・4・4″−ビフエニルテトラカルボン酸
二無水物29.4g(0.1モル)とを徐々に加えた。
The intrinsic viscosity of the polyimide precursor in this case was 0.41. When a polyimide film was formed using this precursor solution in the same manner as described above, the adhesion was good both in the normal state and by PCT. However, because the degree of polymerization of the polyimide precursor was too low, the film-forming ability and film toughness were poor, and the film had poor moisture resistance. Comparative Example 1 283.63 g of purified N-methyl-2-pyrrolidone was added to the same reaction vessel as in Example 1, and the mixture was heated to 4.4" under a nitrogen stream.
20.0 g (0.1 mol) of -diaminodiphenyl ether and 29.4 g (0.1 mol) of 3.3"-4.4"-biphenyltetracarboxylic dianhydride were gradually added.

反応系は42℃まで上昇したが、水浴で30℃まで冷却
し、透明粘稠浴液となるまで攪拌した。このポリイミド
前駆体溶液に実施例1で用いたアミノシラン化合物の5
0重量%メタノール溶液1.584g(4).003モ
ル)を徐々に加えて反応させた。
The reaction system rose to 42°C, but was cooled to 30°C in a water bath and stirred until it became a transparent viscous bath liquid. 5 of the aminosilane compound used in Example 1 was added to this polyimide precursor solution.
0% methanol solution 1.584g (4). 003 mol) was gradually added and reacted.

反応後の前駆体の固有粘度は1.94であつた。この溶
液を用いて実施例1と同じ条件でガラス板上にポリイミ
ド皮膜を形成したところ、常態ではガラス板より剥離し
なかつたが、PCTでは容易に剥離した。比較例 2 実施例1と同様の反応容器に、精製N−メチル−2−ピ
ロリドン279.93gを加え、窒素気流下に4・4″
−ジアミノジフエニルエーテル20.0g(0.1モル
)と3・3″・4・4″−ビフエニルテトラカルボン酸
二無水物29.4g(イ).1モル)とを徐々に加えて
、透明粘稠溶液となるまで攪拌した。
The intrinsic viscosity of the precursor after reaction was 1.94. When a polyimide film was formed on a glass plate using this solution under the same conditions as in Example 1, it did not peel off from the glass plate under normal conditions, but it peeled off easily under PCT. Comparative Example 2 279.93 g of purified N-methyl-2-pyrrolidone was added to the same reaction vessel as in Example 1, and the mixture was heated to 4.4" under a nitrogen stream.
-20.0 g (0.1 mol) of diaminodiphenyl ether and 29.4 g (a) of 3,3'',4,4''-biphenyltetracarboxylic dianhydride. 1 mol) was gradually added and stirred until a clear viscous solution was obtained.

反応系は水溶で冷却して30℃以下となるように制御し
た。反応後ポリイミド前駆体の固有粘度は2.00であ
つた。この溶液を用いて実施例1と同じ条件でガラス板
上にポリイミド皮膜を形成したところ、この皮膜は強靭
で可撓性も良好であつたが、ガラス上に常態で弱く接着
しているだけで剥離しやすく、またPCTでは完全に剥
離した。
The reaction system was cooled with water and controlled to be below 30°C. The intrinsic viscosity of the polyimide precursor after the reaction was 2.00. When a polyimide film was formed on a glass plate using this solution under the same conditions as in Example 1, the film was strong and had good flexibility, but it was only weakly adhered to the glass surface. It was easy to peel off, and it was completely peeled off in PCT.

実施例 2 実施例1と同様の反応容器に、精製N−N″一ジメチル
アセトアミド288.71gを加え、窒素気流下にN−
β−(アミノエチル)γ−アミノプロピノレ ト
リ メ ト キ シ シ ラ ン〔H2
NCH2CH2NHCH2CH2CH2Si(0CH3
) 3 〕 .(4)本ユニカ一社製商品名;A−11
20)0.666g(0.003モル)を加え、引き続
き3・3″・4・4″ビフエニルテトラカルボン酸二無
水物1.764g(0.006モル)を徐々に添加した
Example 2 288.71 g of purified N-N''-dimethylacetamide was added to the same reaction vessel as in Example 1, and N-
β-(aminoethyl)γ-aminopropinolate
Remetokishiran [H2
NCH2CH2NHCH2CH2CH2Si(0CH3
) 3〕. (4) Manufactured by Unica Co., Ltd. Product name: A-11
20) 0.666 g (0.003 mol) was added, followed by gradual addition of 1.764 g (0.006 mol) of 3.3''/4.4'' biphenyltetracarboxylic dianhydride.

反応系が30℃以下となるように制御しながら透明とな
るまで攪拌してシラン変性多価カルボン酸成分を合成し
た。次にこの反応系に4.4″−ジアミノジフエニルエ
ーテル20.0g(4).1モル)を加え、さらに3・
3″・4・4″−ビフエニルテトラカルボン酸二無水物
28.518g(0.097モル)を添加し、30℃に
保ち.ながら透明粘稠溶液となるまで攪拌した。このよ
うにして得られたポリイミド前駆体はその固有粘度が1
.61であつた。
A silane-modified polycarboxylic acid component was synthesized by stirring the reaction system until it became transparent while controlling the temperature to be 30° C. or lower. Next, 20.0 g (4).1 mol) of 4.4''-diaminodiphenyl ether was added to this reaction system, and an additional 3.
28.518 g (0.097 mol) of 3'', 4, 4''-biphenyltetracarboxylic dianhydride was added, and the mixture was kept at 30°C. The mixture was stirred while stirring until a clear viscous solution was obtained. The polyimide precursor thus obtained has an intrinsic viscosity of 1
.. It was 61.

、この前駆体溶液から実施例1と同様の操作でポリイミ
ド皮膜を形成したところ、皮膜の強鞍性および密着性は
実施例1の場合と同等であつた。実施例 3 実施例1と同様の反応容器に、精製N−メチルー2−ピ
ロリドン244.35gを加え、窒素気流下に実施例2
で用いたアミノシラン化合物0.666g(0.003
モル)を加え、引き続きピロメリツト酸二無水物1.3
08g(4).006モル)を徐々に添加した。
When a polyimide film was formed from this precursor solution in the same manner as in Example 1, the film had the same strong saddle properties and adhesion as in Example 1. Example 3 244.35 g of purified N-methyl-2-pyrrolidone was added to the same reaction vessel as in Example 1, and the reaction mixture of Example 2 was added under a nitrogen stream.
0.666g (0.003g) of the aminosilane compound used in
mol), followed by 1.3 mol of pyromellitic dianhydride.
08g (4). 006 mol) was added gradually.

反応系が30℃以下となるように制御しながら透明溶液
となるまで攪拌し、シラン変性多価カルボン酸成分を合
成した。次にこの反応系に4・4″−ジアミノジフエニ
ルエーテル20.0g(イ).1モル)を加え、さらに
ピロメ」ノツト酸二無水物21.146g(0.097
モル)を添加し、30℃以下に保ちながら透明粘稠溶液
となるまで攪拌した。
While controlling the temperature of the reaction system to be 30° C. or lower, the mixture was stirred until a transparent solution was obtained, thereby synthesizing a silane-modified polycarboxylic acid component. Next, 20.0 g (a).1 mol) of 4,4''-diaminodiphenyl ether was added to this reaction system, and further 21.146 g (0.097 g) of pyromenoic dianhydride was added.
mol) and stirred while keeping the temperature below 30°C until a clear viscous solution was obtained.

このようにして得られたポリイミド前駆体はその固有粘
度が1.28であつた。
The polyimide precursor thus obtained had an intrinsic viscosity of 1.28.

この前駆体溶液をガラス板上にキヤステイングして熱風
乾燥機中150℃で1時間、200℃で1時間、300
℃で1時間加熱してポリイミドに変換した。形成された
ポリイミド皮膜は強鞍であり、常態およびPCTによる
密着性はいずれも良好でガラス板からの剥離は認められ
なかつた。比較例 3 実施例1と同様の反応容器に精製N−N″−ジメチルア
セトアミド234.78gを加え、窒素気流下に4・4
″−ジアミノジフエニルエーテル19.0g(0.09
5モル)を溶解させ、水浴で30℃以下に保ちながらピ
ロメリツト酸二無水物21.80g(4).1モル)を
徐々に添加して透明粘稠溶液となるまで攪拌した。
This precursor solution was casted on a glass plate and heated in a hot air dryer at 150°C for 1 hour and at 200°C for 1 hour.
It was converted into polyimide by heating at ℃ for 1 hour. The formed polyimide film was strong, had good adhesion both under normal conditions and by PCT, and no peeling from the glass plate was observed. Comparative Example 3 234.78 g of purified N-N''-dimethylacetamide was added to the same reaction vessel as in Example 1, and the mixture was heated for 4.4 hours under a nitrogen stream.
″-diaminodiphenyl ether 19.0g (0.09
21.80 g (4) of pyromellitic dianhydride while keeping the temperature below 30°C in a water bath. 1 mol) was gradually added and stirred until a clear viscous solution was obtained.

このポリイミド前駆体溶液に実施例2で用いたアミノシ
ラン化合物0.666g(0.003モル)を加えて、
1時間攪拌反応させた。
Adding 0.666 g (0.003 mol) of the aminosilane compound used in Example 2 to this polyimide precursor solution,
The reaction was stirred for 1 hour.

反応後の前駆体の固有粘度は0.58であつた。この前
駆体溶液を用いて実施例3と同じ操作でポリイミド皮膜
を形成したところ、皮膜の可撓性、強靭性などが実施例
3に較べて劣り、またガラスに対する密着性が悪くPC
Tで簡単に剥離した。実施例 4 4・4″−ジアミノジフエニルエーテル20.0g(0
.1モル)の代りに4・4″−ジアミノジフエニルメタ
ン19.8g(イ).1モル)を使用した以外は、実施
例1と同様にしてポリイミド前駆体をつくつた。
The intrinsic viscosity of the precursor after reaction was 0.58. When a polyimide film was formed using this precursor solution in the same manner as in Example 3, the flexibility and toughness of the film were inferior to that of Example 3, and the adhesion to glass was poor.
It was easily peeled off with T. Example 4 4.4″-diaminodiphenyl ether 20.0g (0
.. A polyimide precursor was prepared in the same manner as in Example 1, except that 19.8 g (a).1 mol) of 4.4''-diaminodiphenylmethane was used instead of 1 mol).

この前駆体の固有粘度は1.17であつた。またこの前
駆体溶液を用いて実施例1と同じ操作でポリイミド皮膜
を形成したところ、実施例1に較べてわずかながら皮膜
の強靭性に劣つていたが、ガラスに対する密着性は同等
であつた。実施例 5 4・4″−ジアミノジフエニルエーテル20.0g(0
.1モル)の代りにパラフエニレンジアミン10.8g
(0.1モル)を使用した以外は、実施例1と同様にし
てポリイミド前駆体をつくつた。
The intrinsic viscosity of this precursor was 1.17. When a polyimide film was formed using this precursor solution in the same manner as in Example 1, the film was slightly inferior in toughness compared to Example 1, but its adhesion to glass was the same. . Example 5 20.0 g of 4.4″-diaminodiphenyl ether (0
.. 1 mole) instead of 10.8 g of paraphenylenediamine
A polyimide precursor was prepared in the same manner as in Example 1, except that (0.1 mol) was used.

この前駆体の固有粘度は1.64であつた。またこの前
駆体溶液を用いて実施例と同じ操作でポリイミド皮膜を
形成したところ、皮膜の強靭性、密着性はいずれも実施
例1と同様であつた。実施例 6 シラン変性多価カルボン酸成分とともにジアミンと重合
反応させる未変性の3・3″・4・4″−ビフエニルテ
トラカルボン酸二無水物28.518g(0.097モ
ル)の代りに、ピロメリツト酸二無水物10.573g
(0.0485モル)と3・3″・4・4″−ビフエニ
ルテトラカルボン酸二無水物14.259g(0.04
85モル)との混合物を使用した以外は、実施例1と同
様にしてポリイミド前駆体をつくつた。
The intrinsic viscosity of this precursor was 1.64. When a polyimide film was formed using this precursor solution in the same manner as in Example 1, both the toughness and adhesion of the film were the same as in Example 1. Example 6 Instead of 28.518 g (0.097 mol) of unmodified 3,3″,4,4″-biphenyltetracarboxylic dianhydride that is polymerized with diamine together with the silane-modified polycarboxylic acid component, Pyromellitic dianhydride 10.573g
(0.0485 mol) and 14.259 g (0.04
A polyimide precursor was prepared in the same manner as in Example 1, except that a mixture with 85 mol) was used.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 1 有機テトラカルボン酸成分とジアミンとの重合反応
によりポリイミド前駆体を製造するに当たり、上記カル
ボン酸成分の一部を、予め次の一般式(1);▲数式、
化学式、表等があります▼・・・・・・・・・・・・・
・・・・・・・・(1)(ただし、式中Rは珪素原子に
直接結合する炭素原子を含む二価の有機基、Xはアルコ
キシ基、アセトキシ基、フェノキシ基およびハロゲンか
ら選ばれた加水分解可能な基、Yはアルキル基、アルコ
キシ基、アセトキシ基、フェノキシ基、シリル基、シロ
キシ基、ジシラニル基、オルガノシリル基、オルガノシ
ロキシ基、オルガノハロシリル基およびオルガノハロシ
ロキル基から選ばれた基である)で表わされるアミノシ
ラン化合物に、上記一般式中のアミノ基(NH_2)と
少なくとも一個の加水分解可能な基(X)とを介して反
応させて、次の一般式(2);▲数式、化学式、表等が
あります▼・・・(2)(ただし、式中T_c_1は有
機テトラカルボン酸成分の一価残基、T_c_2は有機
テトラカルボン酸成分の二価残基、Zはカルボン炭素と
結合したX基を含むことがある酸基、R、XおよびYは
前記一般式(1)の場合と同じであり、nはYがアルコ
キシ基、アセトキシ基およびフェノキシ基の場合は2ま
たは3の整数、Yは上記以外の基の場合は2からなる整
数である)で表わされるシラン変性多価カルボン酸成分
となし、このカルボン酸成分を残余の有機テトラカルボ
ン酸成分とともにジアミンと重合反応させることを特徴
とするポリイミド前駆体の製造法。
1. When producing a polyimide precursor by the polymerization reaction of an organic tetracarboxylic acid component and a diamine, a part of the above carboxylic acid component is preliminarily converted into the following general formula (1); ▲ mathematical formula,
There are chemical formulas, tables, etc. ▼・・・・・・・・・・・・・
・・・・・・・・・(1) (In the formula, R is a divalent organic group containing a carbon atom directly bonded to a silicon atom, and X is selected from an alkoxy group, an acetoxy group, a phenoxy group, and a halogen. The hydrolyzable group, Y, is selected from an alkyl group, an alkoxy group, an acetoxy group, a phenoxy group, a silyl group, a siloxy group, a disilanyl group, an organosilyl group, an organosiloxy group, an organohalosilyl group and an organohalosilyl group. An aminosilane compound represented by the following general formula (2) is reacted with an amino group (NH_2) in the above general formula and at least one hydrolyzable group (X); ▲There are mathematical formulas, chemical formulas, tables, etc.▼...(2) (In the formula, T_c_1 is a monovalent residue of an organic tetracarboxylic acid component, T_c_2 is a divalent residue of an organic tetracarboxylic acid component, and Z is a carboxyl group. An acid group that may contain an X group bonded to carbon, R, 3, Y is an integer of 2 in the case of a group other than the above), and this carboxylic acid component is polymerized with diamine along with the remaining organic tetracarboxylic acid component. A method for producing a polyimide precursor, the method comprising:
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