JPS5952090U - 油回転真空ポンプ装置 - Google Patents

油回転真空ポンプ装置

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JPS5952090U
JPS5952090U JP14825482U JP14825482U JPS5952090U JP S5952090 U JPS5952090 U JP S5952090U JP 14825482 U JP14825482 U JP 14825482U JP 14825482 U JP14825482 U JP 14825482U JP S5952090 U JPS5952090 U JP S5952090U
Authority
JP
Japan
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oil
rotary vacuum
vacuum pump
oil rotary
valve
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Application number
JP14825482U
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JPS6141996Y2 (ja
Inventor
松野　正昭
井上　良男
国松　常次
Original Assignee
株式会社島津製作所
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Publication date
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Granted legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図〜第４図は本考案の一実施例を示し、第１図は内
部を一部切欠して示す正面図、第２図は第１図における
■−■線断面図、第３図は第１図における■−■線断面
図、第４図は第１図におけるｒＶ−ＩＶ線断面図である
。第５図は本考案の他の実施例を示す説明図である。 １・・・前段の油回転真空ポンプ、２・・・後段の油回
転真空ポンプ、３，３′・・・リリーフ弁、３ａ、３ａ
′・・・シート面、４・・・中間排気通路、５・・・オ
イルリザーブタンク、１２・・・排気弁、１３ｂ・・・
油槽、１５・・・油流通路。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. ゛前段の油回転真空ポンプと後段の油回転真空ポンプと
    をリリーフ弁を有した中間排気通路を介して直列に接続
    するとともにこれら両油回転真空ポンプをオイルリザー
    ブタンク内に収容し、該タンク内に前記ＩＪ　ＩＪ−フ
    弁が油面下に没しない程度の量の油を注入してなる油回
    転真空ポンプ装置であって、前記ＩＪ　ＩＪ−フ弁設置
    部位に所要量の油を貯留してその油中に該リリーフ弁の
    シート面部を没入ぎせるだめの油槽を設けるとともに、
    前記後段の油回転真空ポンプの排気弁部から吐出される
    油を前記油槽に供給するための油流通路を設けたことを
    特徴とする油回転真空ポンプ装置。
JP14825482U 1982-09-29 1982-09-29 油回転真空ポンプ装置 Granted JPS5952090U (ja)

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JP14825482U JPS5952090U (ja) 1982-09-29 1982-09-29 油回転真空ポンプ装置

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JP14825482U JPS5952090U (ja) 1982-09-29 1982-09-29 油回転真空ポンプ装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS5952090U true JPS5952090U (ja) 1984-04-05
JPS6141996Y2 JPS6141996Y2 (ja) 1986-11-28

Family

ID=30329443

Family Applications (1)

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JP14825482U Granted JPS5952090U (ja) 1982-09-29 1982-09-29 油回転真空ポンプ装置

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008151126A (ja) * 2006-12-13 2008-07-03 Pfeiffer Vacuum Gmbh 潤滑剤シール式回転翼形油回転真空ポンプ

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008151126A (ja) * 2006-12-13 2008-07-03 Pfeiffer Vacuum Gmbh 潤滑剤シール式回転翼形油回転真空ポンプ

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Publication number Publication date
JPS6141996Y2 (ja) 1986-11-28

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