JPS59500387A - 差圧渦感知器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 差圧渦感知器 発明の背景 １、　発明の分野 本発明は、内部に流体が充填されず、且つ小型に構成することのできる差圧感知 器沈関するものである。

２、　先行技術の説門 従来、多種にわたる差圧感知器は進歩し、また渦流量計に関連して多くの差圧感 知器が使用さ１ている。しカ・シ、これらの恩知器は、一般的には、湿式：Ｉ＆ 昶器（サーミスタ）、またに、油入の液体が充填でれた容器内に３いて密封され た感知器でるる。通常、前記油封入形の惑”知器に、高温めるいは低温状悪に２ いては使用することができない。

というのに、封入された液体と恩知器部材の＃辰の度合が異なったシ、８るいμ 前記数体の蒸発、高温時に２ける変質、低温時に２ける高い粘性、その他種々の 間通があるためである。もし、油封入形の感知器が故鍬し、修理τしなけ九はな らない時は、流量計全体めるいに感知器の容器を、修理のために取Ｖにずすため に、当該流体の流れｔ−遮断しなければならない。

さらに、渦流量計に用いられる多くの感知器に、正確で速い応答を得、また低価 格にすることがむずかしい。本発明による装置は、感知すべき流体に浸されてお らず、そして、流量計に用いられた際に、流体の流れを遮断することなく修理す ることのできる非湿式（！ＩＥ、式）の感知器全提供する。従来の非湿式の悪用 器は、米国特許第４，００５，６０４号Ｋｓ−いて示されている。これに、磁場 内において、振動する振励部材の１１１きを感知する磁性部材を用いるものであ る。

ｆＡ流量計に用いられた代表的な従来の差圧感知器に、米国特許第３．９７２． ２３２号に述べらｎて２す、特に、その第５図から第８図に示さｎている。そこ に瓜、流体、・こより充填されることを要求される特殊な装置が運べられている 。前記装置は、該装置を用いている流量計の全体を、流体の流れから取り出さな ければ、修理することができない。

また、流１則足装ｆ瓜、本国特許率４，２５７，２７７号に２いても示さ１てい る。との装置に、渦形異体つ内ｓ’ｔｔ形成された圧力型へ通じる圧力恩知装置 ｔ−４えている。

実貞上回等の裂ｔに、米国特許第４．ＯＢ　５，６１４号に示されている。

ｔｆｃ、米国特許第４，０８８，０２０号には、ブラフａＭディ（ｂ！ｕｆｆ　 ｂｏｄｙ）または棒内へ挿入芒れることにより形成された感知器ケ備えた渦形流 体の流れを遮断することを必要とする。しかし、前記米国特許第４．０８８，０ ２０号に示された装置は、密封さｎていて、創記棒を感知器部分よりも安価な材 料で裏作することｔ可能にする。

一般的に、他の差圧感知器は、大型の屈曲梁部材を使用しているが、渦流量計の ある一領域に３いては、正確な計測金得、且つ安価で簡単（（爪立て得る感知器 を得るという課題は、解決することかできる、 発明の概要 差圧感知器は゛、一対のダイヤスラムを有し、該ダイヤフラムは、計測すべき圧 力差で生じる部分間へ通じるように、ハウジングに設けられている。前記ダイヤ フラムは、片持ち梁の一端に当接するアクチュエータを叉える。前記片持ち梁の 他端ａ１前記ダイヤフラムが圧力差のもとで動いた時に、前記梁が日がる工うに １前記ダイヤフラムに馴して「機傾的な基板」に設置されている。

前記梁の囮がｙｆ瓜、？ｊｒ孟の手段に＝ジ惑坦さｎｌさらに、前記ダイヤフラ ム面の圧力差の発生と大きさを示す信号として用いらｎる口 前述の構成に２いて、前記ハウジングは、渦ＫＬＪｔ計の一部分でめシ、また、 前記感５１１器部材２よび前記ダイヤフラムは極めてｌｊ・さい。

渦ｖＬｉ計に２いて、タイヤフラムを退動さぞる走圧の存ｆ：を感知することは 、差圧の大きさを検知することよシもより重要でるる。これは、流量計のハウジ ングの一面からその他面へと交互に現われる渦の振動数が、液体の流量によるか らである。したがって、圧力が流１計のハウジングの一面から他面へ移動する際 に２Ｖ′Ｔる計測は１要である。

さらに、感知器の修理の間、もし望むならば、流体の流れを継続できるように、 ｖＬｔ計が設置されている前記流体のｆＬｎから流量計２体１■はずすことなく 修理できる感知器でめることが望ましい。

本発明による装置は、感知室が感知すべき流体から気密よく隔離さｎているため に、悪用梁の取シはずしが可能でめる。そし玉、前記流体を通過させているｆ； ｖるいは通路から、渦眞量計本体を取りに丁すことなしに、屑記惑知梁を取９は ず丁ことができる。

Ａ本例として、前記Ｊｌ’Ｄ器に使用さｎる屈曲梁に、ＡＣ電圧信号を生じる圧 電形バイモルフでるる。前記電圧信号は、梁の曲げ方向２：び日げｔに従って変 化する。このように、ａｉｌｌｆＬ盪計本体の一端、ｍ１９・らでの他端面へ交 互に生じる渦の変化は、前記バイモルフから得らルる信号として符号１じさｎｌ そして、渦の移り変わりの周波数を示す、直接的な周波数出力を供給する。　、 図面の簡単な説明 第１図μ本発明に従って裏作された圧力感知器を備えた渦流量計を示す流体管の 横断面図、第２図は第１図の２−２線において切断された断面図、＊３１ｉ９は 事２図の３−３線に２いて切断された断面図、第４図は本発明に従って製作され た差圧感知器の詳細を示す牢２図の４−４線において切断された拡大断面図、第 ５図は感知器の上部を示す第４図と同一線に２いて切断された拡大断面図、第６ 図は感知器の下部を示す第４図と同一線にンいて切断されたダイヤフラム部の拡 大ｆＩｒＩｉｉ図、第７図は第６図の７−７線において切断された拡大断面図、 第８図は第４図の８−８線において切断された破断断面図、第９図は本発明の他 の実施例を示す感知ダイヤフラムの破断縦ｔｌＦ１図である。

望ましい実施例の詳細な説明 流量計を備えた流体の通過する管あるいは通路の新面は、１０で示されている。

また、前記管を通過する流体を計測するたりの渦形成流量計は１１で示されてい る。流量計１１に、ヘッドまたはサポート１３に取付けられた渦形成体部材１２ を備えている。前記ヘッド１３は、前記４！１０の外部に設σられたスリーブ１ ４内に固着されている。

前記ヘッド１３は、過当な手段１例えば、環状ナノ）１５ｔ−前記スリーブ内へ 挿入し、前記ヘッド１３を所定の場所へ堅固に締めっける等の手段により、前記 スリーブ内へ固着することができる。前記ヘッド１３ｒ！、流体の漏出を防ぐた めの０リング１６により、密封されることができる。そして、前述の構成により 、前記渦形成体部材は、池の一般的な手段により固着されるもので、２けｎば、 適当な押えねじ１７ｆｔ用いて、前記ヘッドに支えらｎる。

二耶３図において一般的に示さルるように、渦形成算部材１２は、前方面２６、 中間部２７２よび尾部２８′ｆ、備λた渦ｎ２５をＭしている。管ｌＯ内におい て、流体が前記面２６をＡ９過ぎる際に、流体は、左右に分かｎ１前記〒閾部２ ７の対向する面に渦を形成する。

前記温は、前記中間部２７の左右に交互に現わ几、そして、前記渦形成の周波ａ は、管内を通過する流量により決定される。渦が交互に生じると、前記中間部２ ７のニガの面の圧力は、その他方の面に渦が形成される７で、前記：り方の面よ りも高くなる。そして、低圧力側７Ｃ渦が形成さルると、前記高圧力側の面は五 三力となり、また低圧力側の′ＸＪｄ−％圧力となる。

前述のように、渦形蕊流盆計により流量を沃昶するために、渦の形成２よびその 転換の１５数が横昶さ亀そ□して、禍が私儀することｖｃ：す、前記〒間部２７ の一方の面からその他方の面へ生じる渦圧力の転換の周ａ数が、流量を示す。

前記−の形成μ、前記生き１部２７の一方の面で・うその４万の面へと、高圧力 と転換さぐるので、前記−万の面刀１ら七の西方の面へと差圧が転換する。ヤし て、洞流孟計に２いてＳ知さ牡るのに、この差圧である。

１４４図には、圧力感知部材３０が示されていて、また、ｔ４ａｉ計の中間部２ ７は、圧力感知器のハウジングを形成している。前記ハウジングは、第１の横穴 ３１を有し、該第１の横穴３１ｄ、前記ハウジングあるいは中間部２７の一方の 面からその他方の面へわたって形成されている。穴３１は貫通された穴でめり、 したかつて、互いに対向する側面２７Ａ、２７Ｂに、この穴によって連結されて いる１、さらに、前記穴３）に通じるように１縦方向に形成された穴３２が形成 されている。

前記縦穴３２は、前記穴３Ｌから流量計１１の端部１で＃ｌｌｊ′２に凸って形 成されていて、さらに流ｉｔｔ部材の一部を形成しているヘッド部材１３内に１ で上方に延びて形成ざｎている。ナユーブ２９は、前記本体１１とヘッド１３と の間の尺３２のために、鍜荻スリーブを形成している。穴３２ｒｉ、さらに該穴 と同軸の大型穴部３３へ通じている。前記穴部３３の上方端部には、内ねじ３４ が形成さｎている。さらに、溝３５ｕ％後述の目的のために、穴部３３のるる一 部１上に后って形成されている。

前記対向する四面２７Ａ、２７Ｂ上の前記穴３Ｉに：る開口には、訳穴３１０両 端の外Ａ部をとり囲むように浅い１みまたは面が形成されている。前記温みまた は面に（２、弾性および可読性を有する一対のステンレス製のダイヤフラム４０ Ａ、４０Ｂが配置さｎている。前記ダイヤスラム４ＯＡ　、　４０Ｂｒｉ、完全 に組立てが終了すると、符号４１で示すように、その周囲が溶接さｎる。したが って、前記穴３１の内部は、前記管１０７）・ら缶封され、セしてｌた、前記穴 ３１．３２の内部は、前記雷ｌＯ内を通過するい〃・なる流体力・らも隔離δれ る。

言い換えｎに、感知器３０は、′ＩＦ！Ｌ坏に浸さｎた差圧感知器と対照して、 気乾式のｌ感知器であると言える。

満足に利用するための要求の一つは、差圧感知に２いて、特に、周波数が比較的 高い場会の、流量虹に用いられている感知器の応答の遅鈍性を２さえることであ る。というの瓜、前記周波数が増大すると、前記タイヤスラムに、渦の＠挾と共 に、より早く前後に振動しな灯ｎにならない力為らでめる。ダイヤフラム４ＯＡ 、４０Ｂからのダイヤフラムたわみ運動を伝達する之めに、そユぞれ、違期云違 ２よびタイヤス２ム叉苺部材４２が、４：ｙ＠明の第１の実施メ］に２いては使 用さｎる。前記運動伝達部材４２瓜、＠量にするｉヒめに１主としてアルミニウ ムにエリ製作さする。

差圧ｒ示アためのダイヤフラムの動き、は、該両方のダイヤフラム４υＡ、４０ Ｂが南一方向へ、且つ同将に勤〈平行Ｊ　Ｊｈ　（’　ｕｎｉｓｏｎ　’　ｍｏ ｔｉｏｎ）であるといプことも、ここで述べて２２なければならない。前記運動 伝達部材は、前記クイ′フラムと共に正確に動くことができる工うに、前記−万 のタイヤフラムへ取り付けらルる。

前記運動伝達部材μ、軸万同の玉箱負荷に訂えることができ、それ故にまた、前 記部材は、前記ダイヤフラム全ライン圧力のもとに支持することができ、る。そ して、前記ダイヤフラムは、該２つのダイヤプラム上の差圧感知の関数としての み、感知し、めるいはたわむ、このようにして、もし、ライン圧力１０５．４６ Ｃ〜・−〕（ｉｓｏ。

（ｐｓｉ））のもとで、渦が１７．５８［１１ｗ　・ａｄ　］　（２５０［ｐａ ｉ］）　の差圧を生じたとすると、前記ダイヤフラムは前記差圧のみｔｌ−感知 し、そして、前記部材４２に、圧力の転換と共に前後に振動し、前記ダイヤフラ ムもまた同一の方向へと振動する。前記タイヤフラムは、前記ライン圧力でｄな く、前記差圧に起因するたわみのみを検知するので、薄く、且つ高感度に裏作さ ｎる。

前記運動伝達部材４２は、７う／ジ１ｆ１４４、および該フランジ４４刀・ら突 出した管状部４５を有するアルミニウム製の巻冷部材４３を備えている。前記フ ランジ４４は、中央に開口をＭしていて、該開口部をステンレス襄のボタ／ｂる いにピン４６が１２ｉしている。

ここで、前記フランジ４４と対向する前記ｆ状部４５のｉｓ部に、最初の裏作段 階においては開放−すなわち、７２ンジのない状態であることを記して２く。

ステンレス襄のピン４６はく前記管状４４５の内側から前記フランジ４４の開口 部へ挿入することができる。そして前記挿入後、前記ピンの端部は、図示される よつに、前記タイヤフラム４０Ａに直接、点溶接される。したがって、前記７う ／ジ４４２よび前記ダイヤフラム４０Ａμ、互いに堅固にｆ！に標的に接読さｎ る。前記点溶接に、前記ダイヤスラムの周囲に浴接４１がなされる前に行なわｎ る。すなわち、前記ダイヤフラム４０Ａは、該ダイヤフラム４０ＡがＲ１計の中 間ハウジングまたは部材２７に固着される前に１前記巻枠部材４３に取り付けら れるのでろる。

ダイヤフラムの動きを後述の感知要素へ伝達するために１管状部４５は、小さな 開口を有している。該−口部には、にｎクリップ５０から成る小型運動伝達手段 が配置されている。前記にねクリップ５０に、第４図２よび第６図に２いて示さ れるよつに、気録玉状〃に形成されていて、且つ互いに対向する平面部５０Ａｔ ｊｊしている。

前記はねクリップ５０のばね応力は、穴３１の中央付近において、前記平面１１ Ｓ５０Ａを互いに押し会つように生じている、前記ばねクリップ５Ｇは、前記雪 状部４５の開口部に挿入される小さなタブ５０Ｂを有している。孟た、ばねクリ ップ５０は感知器の他の部材の機械的公差を吸収する。ｌず前記ステンレス製の ボタン４６が、前記タ゛イヤフラム４ｏＡＫ点溶接されてから、前記にねクリッ プ５０μ、前記管状部４５円へ配置き詐る。その後、前述の組立て部品は、前記 穴３１円へ静かに挿入さする。前記側面２７Ａ上の前記穴３１周囲に形成された 窪みに、前記ダイヤフラム４０Ａの外縁部が瓜め込まれる。

前記ピン（ボタン）４６の足は、前記フランジ４４の中央の開口部からぬけない ように圧入され、その後、前記ダイ、ヤスラム４０Ａに点溶接さ、することは、 注意すべきである。前記巻枠部材４３は、開口５７が前記穴３２と一線上に並ぶ ように、王に回転しな、い、ように保たれることも重要でるる。というのに、梁 ６０は、前記入内へ挿入され、前記はねクリンプ５０に接触しなければならない からτある。また、前記巻枠部材４３ｄ、前記梁の挿入後に、前記開口５７の端 部と前記梁６０とが接触しないためにも、Ｌ！１転しないように固着さ几なけれ ばならない、というの框、前記巻枠部材がアルミ製で１９、すり減ることがゆる されないからである。Ｘ７ｔ、前記巻枠部材４３ｄ、前記′に３１の内面り島ら 娠ｎていなけれシならない。したがって、前記ダイヤフラム４０Ａに点溶接され るボタン、４６、に、前記巻枠部材４３に圧入さ１なけルばならない、前記雪状 部４５の内部に前記ζねクリップ５０が挿入され、前記渦捧へ前記巻枠部材の− ７の画が挿入さルた後、押えフランジ部材に、前記管状部４５０反対側の面に配 置さｒ−る、前記押えフランジは５２で示されていて、また前記管状部４５の端 部を係止するための溝を石するボス５３を備えている。したがって、前記押えフ ランジ５２扛、前記雪状部の端部に押えつσらｎることにより、所定の位置に配 置さｎる。

前記押えフランジ５２もまた、前記ボタン４６と同じのステンレス製のボタン５ ６を支持する。前記ボタン５６は、前記ボタン４６が前記フランジ４４の開口部 に圧入されたと同じように、前記フランジ５２の中央部に形成された開口部に圧 入さｎる。

前記ホリン５６は、第２のダイヤプラム４０Ｂへ点溶接される。そして、前記ホ タ７５６の足が、前記押えフランジ５２の開口部へ圧入されることにより、前記 押えクランプは、前記ダイヤスラム４０Ｂへ固層される。

前記管状部４５．フランジ４４２よびばねクリップ５ｏにょシ構成される巻枠の 一部の組立後、巻枠部材ぼ、穴３１内へ挿入され、そして、前記ダイヤプラム４ ＯＡは、前記穴３１の端部外周に形成された溝内の所定の位置に配置される。七 の後、タイヤフラム４０Ｂに固着された前記カバー５２に、前記ボス５３により 定義された溝内へ前記管状部４５の＊　ｆＡ　ｔ　ｊ＊人することにより、前記 管状部４５の端部に圧着さｎる。必要であれば、前記押えフランジ５２の圧着は 、前記ダイヤフラム４０Ａの浴接の前に行なうことができる。

また、もちろん、前記押えフランジ５２は、前記ピン（ボタン）５６？（点浴受 することによって前記ダイヤフラム４０Ｂに固着され、また適切に配置さ几る。

前記ダイヤフラム４０Ａ、　４０Ｂｆｌ、前記管状４４５に形成嘔れた大型の一 口１ｆ１１５７が、前記穴３２と正ａＫ−列に並ぶように＠転される。前記タイ ヤフラム４０Ａ、４０Ｂに、その後、甲間ハウジングまたは部材２７に浴接され 、咳１６５ｉｋ　ｋＣよシ、完全に密封される。

このように、ステンレス製のダイヤスラムは、差圧が測定さｎる流体に対向、接 触する表面と、前記ダイヤフラムから感知器下部へ運動を伝達するための運動伝 達部を構成する内室とを具備していることがわかる。前記ステンレス製のボタン ４６，５６は、差圧により該ボタン４６．５６の間に生じるダイヤフラムのどの ような動きも、すぐにアクチュエータ部へ伝達することができるように、前記ダ イヤフラムと機械的に連結てれ、また巻枠部材４３に固着−４Ｂている。

ダイヤフラムは、アクチュエータ部へ連結された状態に２いて、差圧のもとで動 き、そして、ハクジングに対して相対的に一方の面から他方の面へ、且つ穴３１ の軸方向に回って動く。前記巻枠部材は、実際に、ダイヤフラムが高い静圧のも とでも応力限界に達しないように、そしてまた、差圧によシ退動することかでき るよつに、］［％にダイヤフラムを支持する。

前記速動の感知は、穴３１内に配置さ３ｆｃ惑知梁６０によシ行なわれる。セし て、前記惠知梁６０の上方４部に、肩面３３Ａ上の大型穴部３３円に配置された ９１愕ヘツドブロツクホルダ６１内に、過当て埋設されている。前記梁・５０は 、穴部３４内に螺合ざまたクランプナツト６２により前記角棒２７に対して位置 決めさｎるので、片持ち梁でるる。前記ナツト６２に、ワッシャ６４を押圧゛す るカラー６３を備えている。前記ワッシャ６４は、前記穴３２の端部周囲に形成 され、且つ前記穴３゛３へ通じる前記肩面３３ＡＫ対して、前記ブロック′ホル ダ６１を強く締めつける。　−前記梁６０の方向を適正に合わせ、また所定の位 置へ回転させるために、前記ワッシャ６４は、前記ヘッドプロツタホルダ６１Ｋ ｍ着され、また、前記梁６０’ｉ−その縦軸に関して回転させ、位置決めするた めの溝３５へ挿入することのでき−るタブ６５ｉ有している。

それにより、前記梁の狭い市は、第４図および第６図に示すように位置決めされ 、またその−広い面は、第７図に示す工うに位置決めさｎる、 罰記梁６０が所定の位置へ挿入゛さｎると、該梁６０ｄ丁でに備え・５７を通り 、ばね部５０Ａ間に配置される。そして、：ｉ！６図に示すように□、前記平面 部５ＧＡは崩紀梁を弾性的に装填し、且つホ定の位置で前記梁の自由ｊ！ａを神 見つける。

前記ワッシャ６４のタブ６５しよび前記溝３５に、そｎ−ｆ：れ錐状；（狙み合 うように形成されていて、前記梁が・・ウジフグ穴３３内へ挿入された時に、前 記梁（２よびへ７ドブロノクホルダ）を正しい方向に位置決めする。

本夾施例による梁６０に、縦梁を曲げることにより生じる振動の応答によ！１ｌ ＡＣ亀圧′を発生する召科から成る圧電形バイモルフである。前記梁の動きは電 圧音発生し、その極性は次わみの方向に基づいて決まる。前記振動により生じる 電圧の出力は、前記梁が初めの状態−すなわち、差圧が零のときの状態から前後 に曲がることりこより、又流電圧となる。前記梁は、万バイオ州ベッド７オード のバーニトロン・ピエゾエレクトリノク・ディビジョン（Ｖｒ−ｒｎｉｔｒｏｎ Ｐｉｅｚｏｅ！ｅｃｔｒｉｅ　Ｄｉｖｉｓｉｏｎ　）　ｆＡ造のバーニトロン− ＰＺＴ−５Ａ、モノリシック・バイモルフ　（Ｖｅｒｎｉｔｒｏｎ　ＰＺＴ−５ Ａ　ｈｋ＋ｎｏｌｉｔｈｉｃ　Ｂｉｍｏｒｐｈ　）等によりｓ造することができ る。

適当なリード線７０は、前記バイモルフ梁の一端から感知器−へ［絖されている 。ｌた前記バイモルフ梁の他の部分と前記ワッシャ６４はリード＋１！７１によ シ゛接続されていて、これにより流量計ヘッド部材１３３よびｆｌｏの襞纜部釦 接地がなされる。

濱記襞地江、前記リード線７１を同軸ケーブルの／−ルド、あるいぽシールドさ れ、互いてさがれた２本のワイヤの１本に盾読することによっても行なうことが できる。

以上により明らかなよう：ｃ１ぞこに作用する圧力の蚕の変化のもとで生じるダ イヤフラム４０Ａ、　４０１ａ、’）−Ｊ劾ｌま、亘ちに梁６０のｄげを主じさ ぜる。前記梁６０は、圧電結晶のバイモルフで多るノ〕で、前記リード憑７０， ７１七通して、検印さｖ−ｙｒ−又流電圧出力を発生し、該出力は踊の派妨周波 致−すなわち流童忙示す。創記周波数−一、感知される最も重挟な要素なので、 バイモルフから生じたＡＣＣ防汚、渦形成の周波数を示す周波数出力ｔ８易に供 給するここかできる。前記周波数出力は、計器を通過する流ｔ−すなわち、管１ ０内の流量を示す。

また、前記感知器３０は、どのような形状のハウジング内においても、ダイヤフ ラムの振動奮起こさせる差圧を感知することができる。そして、ダイヤフラムが 用いられる前記ハウジング２よび前記屈曲梁は、渦流量計の一部である必要はな い。実施における重要な特徴の一つは、前記梁６０が、当該感知器の他の部分に 影響を与えることなく、且つ流体が流れている位置から渦流量計を実際に取外ア こごなく、前記ハウジング（中間部２７）から取り出すことができるということ である。

感知器そのものが、たとえ高い静圧の環境に置かれるとしても、薄い町優性のダ イヤフラムが用いらルる、というのは、フランジ４４２よび押えフランツ５２を 有するアルミニウム製の巻枠部材４３から成る運動圓ｉ部Ｚ４２に、高い静圧に ２いても、ダイヤフラムを機械的に叉え、また圧力差の変動に応じて該ダイヤフ ラムは躯動することかでするからである。これは、ラインの全圧力によってでは なく、ダイヤプラム上の差圧疋よってダイヤプラムがた力むという、正確で信顆 性のめる悪用器金もたらムことに１なる。

第９図による運動伝達装置の変形例も利用される。この４合の形状に２いて、ハ ウジング部２７は、穴３１２よび縦穴３２を有し、ま８１．８２を有している。

前記げねクリップ８１．８２は、前記ダイヤフラムがハウジングの穴３１内へ配 置され、溶接さｎる前に、前記ダイヤフラムに、ａ溶接される。

感知器６０は、その後単に、中心部に保持部８１Ａ、８２Ａを有する前記ばねク リップの間へ挿入されるだけでるる。前記ばねクリップ８１．８２は、たとえば 第７図に示されるように、前記梁のような適当な幅を有している。しかし、運動 伝達部材の全部の重量をしめる巻枠部材に、この実施例に３いては使用されない 。前記梁６０の自由端は、弾性的に支持され、本発明の第１の実施例と同様に曲 がることができる。

しかし、巻枠部材およびフランジは、高い靜ライン圧力に対してダイヤスラムを 支持するのに有利である。このように、運動伝達部材は、この惑昶梁金支持する ただ一対のばね、るるいは前記梁もし′くμそｎと同等のたわみ感知装置をダイ ヤスラムに直接且つ機械的に連結する他の手段である。

単に差圧に応答してのみ運動を起こす機械的装置に、本質的に、通茗の水力学的 ノイズに対して不感である。そのようなライン圧力の変動に、両ダイヤフラム４ ０Ａ、　４０Ｂ上に等しく加えられるし、葦だ該ダイヤフラムは巻枠部材により 支持てれているので、該ダイヤフラムが両方のダイヤプラム上に加えられる、そ のような圧力に応答してたわみを生ずることはない。このよう）て、巻枠部材の 運動が生じないので、−前記変動が感知器６０全たわませることはない。

前述のように、感知器の屈曲梁は、光ファイバーであってもよい。

前記元ファイバーは、その曲げ２よびダイ丁フラムの動きの作用を光学的信号と して供給する。前記光ファイバーは非常にｌ」・型で且つ非常に敏感でめる。し たがって、欠キ妊が制限され、ライン圧力が生じたり、また差圧が非常に小さい 場所に２ける流量計の場合には、都合か良い、）また、他の光学的悪用装置も使 用することができる。

運動伝達装置からの信号は、該運動伝達装置に対して非接旭の状態でＩＦ＆ｍ器 により検知することができる。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 （１）流体の流れをろられす差圧を受ける第１２よび第２の面を有するハウジン グから成る棒体と、前記第１および第２の面における圧力に応答してたわむよう に、前記第１ｊ？よび第２の面とそれぞれ連続して形成された別個のダイヤフラ ム手段と、前記別個のターイヤ７ラム手段上の差圧によって生ずる、該ダイヤス ラム手段のたわみ運動を伝達する前記ハウジング内の手段と、前記たわみ運動伝 達手段から離れた位置における前記棒体に一端を固着された梁部材と全具備し、 前記梁部材の他方の一端が、前記側＋ｍのダイヤフラム手段に接続されたたわみ 運動伝達手段に’１合され、それにより前記梁部材が前記別個のダイヤフラム手 段のたわみに感応して曲がること′Ｔ、特徴とする渦流量計。 （２）＠記たわＡ運動伝達手段に、前記ダイヤフラム手段の圧力を受ける面の反 対側の而に２いて、該別個のダイヤフラム手段の各Ｒ忙支持する機械的要素であ り、それにより、前記別Ｉ固のダイヤフラム手段が、各々のたわみに対して支持 さｎることを特徴とする請求の範囲第１項記載の渦流量計。 （３）前記たわみ運動伝達手段は、前記梁部材の対口した端部を弾性的に支持す るにね手段を有すること′Ｊｋ特徴とする１１１釆の範囲第１項記載の渦流量計 。 （４）前記、−［′ね手段に、各々が前記ダイヤフラムの各々に亘凝面着され、 各々が前記第の対口する端部に面して拡張され、且つ前記端部を支持する一対の 平板状のばね部材でるること金＃徴とする請求の範囲第３項記載の渦流量計。 Ｃ５）　ｆｉ体の流ｎＫ感応する差圧を受ける第１および第２の面を有するハウ ジングと、前記第１および第２の面の間に通路を形成し、端部が開口した前記ハ ウジング内の第１の穴と、谷々′が、前記第１および第２の面と連続して形成さ れ、且つ前記穴を閉じる２つのダイヤフラム手段と、前記２つのダイヤスラム手 段の間の前記！８１の穴に開口し、且つ前記第１の穴から外側にのひた第２の穴 と、前記ハウジングの前記第１の穴から離れた位ｄＫ固着さｎ１且つ前記第２の 穴を通って前記第１の穴に２１ｉ路する運動伝達手段と、前記ダイヤフラム手段 から離ｎた位置Ｋｊ１号を送る、前記第１の穴内の運力伝達のための手段とを具 備し、前記運動伝達手段は、差圧が前記タイヤフラム手段にたわみを起こさせた 時に、前記運動１惑知手段に影響全与え、且つ出力信号を供給することを特徴と する差圧、感知器。 （６）前記運動伝達手段は、差圧を受ける前記ダイヤフラム手段の面の反対側の ２つの面を支持する、前記第１の穴内の礒Ｗｔ的要素手段であり、前記手段は、 実質的に明記ダイヤフラム手縦を圧力農と同じ方向に、且つ各々を同一方向に動 力・丁ことを特徴とする請求の範囲第５項記載の差圧感知器。 （７）　Ｎ記ダイヤフラム手段は、可撓性および弾性を有する板状のダイヤフラ ムであり、各々その静止位置において平行であり、前記ハウジングの第１および 第２の面は、その静止位置において前記各々Ｇダイヤスラムと同一平面上にある ことを特徴とする請求の範囲第５項記載の差圧感知器。 （８）前記運動感知手段は、前記第２の穴を通ってのび、且つ曲げにｆつで出力 信号を供給するように、支持されない可動端を前記第１の穴内に有した梁部材で ろり、前記＃、部材への運動伝達の手段は、前記各々のタイヤスラム手段に固着 され、且つ前記ダイヤフラム間に形成された巻枠部材であり、前記巻枠部材は、 該巻枠部材の内部へ前記梁部材を挿入できるような開口と、前記巻枠部材に配置 されて、前記第の支持されない端部を保持する手段と７ｃ具備し、セして創記巻 枠邸材ｒｉｊＩＩｌ記ダイヤフラム手段が前記巻枠を動かすようにたわんだ時に 、前記梁？屈曲させることを特徴とする請求の＠団栗６項記載の差圧感知器。 （９）前記ハウジングは、渦形成流量計の一部でめり、前記第１２よび♀２の面 お・よびダイヤフラム手段に、流体の流れ方向にほぼ平行でりジ、前記ハウジン グの上流側の手段が、前記第１２よび第２の面に隣接して差圧音生じさせること 全特徴とする謂ぶの範囲第８項記載の差圧感知器。 （１０）前記２つのダイヤフラム手段は、前記ハウジングを相対的に密封する一 対の薄い可視性の板状ダイヤスラムであり、それにより前記第１の穴が前記ダイ ヤプラムにより圧力を悪用される流体から隔離されることを特徴とする請求の範 囲第５項記載の差圧感知器。 （１１）前記運動感知手段は、前記第１の穴カ・ら離ｎた位置の前記ハウジング に固着された４１の端部全有し、且つ前記第２の穴を通って延長する梁部材であ り、前記梁部材は、梁全面けることにより該梁部材に作用する、前記第１の穴内 の手段に精舎された第２の端部’ｔＮＬ、前記曲げが、出力信号を供給するため に検昶さ扛ることを特徴とする請求の範囲第５項記載の差圧感知器。 （１２）前記梁部材の第２の端部へ運動を伝達する前記運動伝達手段は、前記各 々のダイヤフラム手段に相対的に機械的に支持さｎた第１および第２のばね手段 でろり、前記梁部材は、対向する面？有する平板状であり、前記第１および５４ ２のばね手段は、弾性的なカｔもってそれぞれ対向する面に２いて前記梁部材の 第２の端部全停性的に支持し、そＣにより、ダイヤフラムを動かす差圧によって 生じる前記ダイヤプラム手段のどのような振動も、曲げ運動として前記梁部材へ 伝達さｎることを特徴とする請スの範囲第１１項記載の差圧惑昶器コ （１３）前記梁部材は、圧電形バイモルフ梁でるること全特徴とする請求の軛囲 ４１２項記載の差圧感知器。 （１４）渦ｖｆ、孟計に接続して用いらｎる差圧感知器であって、測定さユる流 体の方向とほぼ平行に、間隔をもって配置された互いに平行な側面全Ｍするハウ ジングの一部を形成する渦形成体と、前記ハウジング内に形成され、且つ前記互 いに平行な側面に開口する第１の穴と、渦流量計を通過する流れに形成される渦 を受ける外面を有するように、前記第１の穴の対向する両端部において該穴を密 封するｍ１ｌｌ性ダイヤスラムと、前記ハウジング内に形成され、且つ前記第１ の穴から垂直に延長するように形成さｎた第２の穴と、前記各々のダイヤフラム の外面にろられれる差圧によジ生じる前記タイヤフラｉの互いに平行なたわみ運 動に応答して動く前記第１の穴内の手段と、前記第２の穴内の離れた位置に伝達 するために前記手段に応答し、且つ前記タイヤプラムの静止した基準位置からの 平行運動の良く知られた関数としての信号を供給する手段を有する悪用手段とを 具備したことを特徴とする差圧ｇ昶器。 （１５）前記運動の感知手段は、第１の端部を前記流量計Ｖて固着さｔ１７前記 固着部から片持ち梁金なす自由端？有し、前記第２の穴を通って前記第１の穴内 へ挿入されるようにのびた梁部材と、前記梁部材の自由端と保合し、差圧のもと てダイヤフラムがたわんだ時に、前記梁部材に曲げ金生じさせる伝達手段とを具 備したこと全特徴とする請求の範囲第１４項記載の差圧感知器。 （１６）前記伝達手段は、各々が前記ダイヤフラムの各々に配置された対向端部 フランジと、前記梁部材の自由端を挿入することのでき正位置から互いに反対万 同へ、運動を弾桂的に伝達するように、前記梁部材の自由端に係合するばね手段 とを具備した雪状巻枠部材であることを特徴とする請求の範囲第１１項記載の差 圧感知器。 （１７）前記巻枠部材は、前記ダイヤスラム上に前記端部フラン；を支持するた めに、前記ターイヤ７ラムｈ・よび前記端部フランジに各々固着された機械的要 素を備えたこと全特徴とする請求の範囲第１６項記載の差圧感知器。 （ＩＳ）前記伝達手段（Ｃ１差圧のもとで生じる前記タイヤプラムの静止位置か らの変位に応じて機械的に動く板はね部材であり、前記板にね部材は、前記梁部 材の自由端を弾性的忙支持するばね万全供給することｆ、特徴とする請求の範囲 第１５項記載の差圧感知器。 （１９）前記板ばね部材に、一対の板、グねであり、前記板だねの各々は、前記 ダイヤスラムの各＜Ｋ置襞接ポし、且つ前記ダイヤグラムとの接怠部から前記第 １の穴の千央邪に向って拡張してハることで特徴とする請求の範囲第１８項記載 の差圧感知器。 （２０）前記月２の穴は、前記薯１の穴から雛几た位置のハウジング内の大径穴 部へ開口し、前記梁１１マウ／トー・ソド／Ｃ固石ぢｎ６第１の端部金有し、前 記マウントヘッドは、罰記入弘穴部内に密着して挿入され、そして前記マウント へ７ドゲ保傅τる手段μ、前記大径穴部内の前記マウントヘッドと共に前記・・ ワジングＫａｌ的でるることを特徴とする請求の範囲第１５項記載の差圧感知器 。 （２１）　インターロックキーを成す手段と、前記マウントヘッドを大径穴部の ある一つの位置へ位置決めする鍵穴手段とを備えたことを′　特徴とする請求の 範囲第２０項記載の差圧感知器。