JPS5947653U - 真空薄膜作成装置 - Google Patents
真空薄膜作成装置Info
- Publication number
- JPS5947653U JPS5947653U JP14175482U JP14175482U JPS5947653U JP S5947653 U JPS5947653 U JP S5947653U JP 14175482 U JP14175482 U JP 14175482U JP 14175482 U JP14175482 U JP 14175482U JP S5947653 U JPS5947653 U JP S5947653U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum chamber
- insulating stone
- introduction rod
- wall
- electrode introduction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来の高圧電極導入部の断面図、第２図は本考
案の一実施例を示す断面図である。 １・・・真空槽壁、２・・・電極導入棒、４・・・上部
絶縁石、７・・・下部絶縁石、７ａ−、−・下部絶縁石
の取付はフランジ、ｓ、、 ｓ２． ｓ３． ｓ、・・
・シール材。
案の一実施例を示す断面図である。 １・・・真空槽壁、２・・・電極導入棒、４・・・上部
絶縁石、７・・・下部絶縁石、７ａ−、−・下部絶縁石
の取付はフランジ、ｓ、、 ｓ２． ｓ３． ｓ、・・
・シール材。
Claims (1)
- 真空槽壁の貫通孔を通して電極導入棒を真空槽内に挿入
し、真空槽内の電極導入棒に円筒状の上部絶縁石を外装
して該絶縁石を電極導入棒の頭部と真空槽内壁との間に
介装し、前記貫通孔の部分で電極導入棒に円筒状の下部
絶縁石を外装し、該絶縁石に設けた取付は用フランジの
上面と真空槽外壁との間及び該取付は用フランジの下面
と下部絶縁石のフランジを真空槽外壁に取り付ける円盤
状の絶縁石押えとの間並びに下部絶縁石と電極導入棒と
の間に、各接触部間を気密にシールするシール材をそれ
ぞれ介装したことを特徴とする真空薄膜作成装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14175482U JPS5947653U (ja) | 1982-09-18 | 1982-09-18 | 真空薄膜作成装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14175482U JPS5947653U (ja) | 1982-09-18 | 1982-09-18 | 真空薄膜作成装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5947653U true JPS5947653U (ja) | 1984-03-29 |
Family
ID=30316951
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14175482U Pending JPS5947653U (ja) | 1982-09-18 | 1982-09-18 | 真空薄膜作成装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5947653U (ja) |
-
1982
- 1982-09-18 JP JP14175482U patent/JPS5947653U/ja active Pending
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