JPS593545U - 半導体収納装置 - Google Patents

半導体収納装置

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JPS593545U
JPS593545U JP9889682U JP9889682U JPS593545U JP S593545 U JPS593545 U JP S593545U JP 9889682 U JP9889682 U JP 9889682U JP 9889682 U JP9889682 U JP 9889682U JP S593545 U JPS593545 U JP S593545U
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JP
Japan
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semiconductor
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少潟　昭一
杉原　善助
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Fujitsu Ltd
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  • Container Filling Or Packaging Operations (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来の半導体収納装置の要部の斜視図、第２図
は第１図のＡ部域大部分を示す従来の他の実施例を示す
半導体収納装置の斜視図、第３図は従来の半導体装置と
機械的ストッパ一部との関係を説明するストッパーの正
面図、第４図は本考案の半導体収納装置の要部の斜視図
、第５図は第４図のレール及び押圧手段の平面図、第６
図はバキュームチェンバーの側断面図である。 １・・・半導体装置、２・・・ガイドレール、３・・・
基板、４・・・基台、６・・・ストッパー、７・・・収
納容器、８・・・押圧爪、９・・・軌跡、１０・・・ス
トッパー、１２・・・押圧装置、１３・・・基部、１４
・・・エアシリンダ、１７・・・シリンダヘッド、１８
・・・ローラ、１９・・・案内溝、２０・・・スプリン
グ。 第３図 第４図 ／う

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 半導体装置を傾斜したガイドレールに沿って送出し収納
    容器に収納する半導体収納装置において、該ガイドレー
    ル端部にバキュームチャック部を配設し、該バキューム
    チャック部により、送出されてきた半導体装置を吸着停
    止させ、停止した半導体装置を押圧手段により収納容器
    内に順次収納することを特徴とする半導体収納装置。
JP9889682U 1982-06-30 1982-06-30 半導体収納装置 Granted JPS593545U (ja)

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JP9889682U JPS593545U (ja) 1982-06-30 1982-06-30 半導体収納装置

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JP9889682U JPS593545U (ja) 1982-06-30 1982-06-30 半導体収納装置

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JPS593545U true JPS593545U (ja) 1984-01-11
JPH018483Y2 JPH018483Y2 (ja) 1989-03-07

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ID=30234601

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JPH018483Y2 (ja) 1989-03-07

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