JPS5934347U - 試験材料の冷却温度制御装置 - Google Patents
試験材料の冷却温度制御装置Info
- Publication number
- JPS5934347U JPS5934347U JP4120083U JP4120083U JPS5934347U JP S5934347 U JPS5934347 U JP S5934347U JP 4120083 U JP4120083 U JP 4120083U JP 4120083 U JP4120083 U JP 4120083U JP S5934347 U JPS5934347 U JP S5934347U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- temperature
- control device
- test material
- heat exchanger
- temperature control
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Investigating Strength Of Materials By Application Of Mechanical Stress (AREA)
- Control Of Temperature (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図は従来の温度制御装置を取着した試験材料の正面
図、第2図は第1図の■−■線縦線側断側面図3図は本
考案に係る温度制御装−の断熱容器に試験材料を挾持し
たもの)斜視図、第4図は同装置の全体を示した一部切
欠の機構説明図、第5図のイは他の実施例を示した要部
の縦断正面説明図、同図の町ま回能例の全体を示す縦断
側面説明図である。 、 1・・・・・・断熱容器、4・・・・・・断熱空
間、5,5′・・・・・・冷媒噴出ノズル、6,6′・
・・・・・冷媒容器、7・・・・・・第1の熱交換器、
7′・・・・・・第2の熱交換器、8・・・・・・第1
の温度センサ、8′・・間第2の温度センサ、9・・・
・・・第1の温度調節器、9′・・・・・・第2の温
。 度調節器、10.10’”・・・・・・熱源、A・・・
・・・試験材料、A’、A″・・・・・・力点、T・・
・・・・・試験部分、D。 D′・・・・・・噴当面。
図、第2図は第1図の■−■線縦線側断側面図3図は本
考案に係る温度制御装−の断熱容器に試験材料を挾持し
たもの)斜視図、第4図は同装置の全体を示した一部切
欠の機構説明図、第5図のイは他の実施例を示した要部
の縦断正面説明図、同図の町ま回能例の全体を示す縦断
側面説明図である。 、 1・・・・・・断熱容器、4・・・・・・断熱空
間、5,5′・・・・・・冷媒噴出ノズル、6,6′・
・・・・・冷媒容器、7・・・・・・第1の熱交換器、
7′・・・・・・第2の熱交換器、8・・・・・・第1
の温度センサ、8′・・間第2の温度センサ、9・・・
・・・第1の温度調節器、9′・・・・・・第2の温
。 度調節器、10.10’”・・・・・・熱源、A・・・
・・・試験材料、A’、A″・・・・・・力点、T・・
・・・・・試験部分、D。 D′・・・・・・噴当面。
Claims (1)
- 断熱容器には、力点か同容器より延出するよう試験材料
を貫通内装すると共に、同材料の試験部分は断熱容器に
よって囲繞される断熱空間に内装し、該断熱容器には、
第1の熱交換器、第2の熱交換器を介して冷媒容器に接
続された各冷媒噴出ノズルを貫設すると共に、当該各噴
出ノズルは、上記断熱空間内にある試験材料の夫々表面
、裏面の噴当面に指向させ、これら噴当面の裏側には、
夫々第1の温度センサ、第2の温度センサを上記試験材
料に感温設置し、第1、第2の温度センサが接続される
第1、第2の温度調節器の出力に1って第1、第2の熱
交換器の熱源温度を制御するようにしてなる試験材料の
冷却温度制御装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4120083U JPS5934347U (ja) | 1983-03-22 | 1983-03-22 | 試験材料の冷却温度制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4120083U JPS5934347U (ja) | 1983-03-22 | 1983-03-22 | 試験材料の冷却温度制御装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5934347U true JPS5934347U (ja) | 1984-03-03 |
JPS626517Y2 JPS626517Y2 (ja) | 1987-02-14 |
Family
ID=30171795
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4120083U Granted JPS5934347U (ja) | 1983-03-22 | 1983-03-22 | 試験材料の冷却温度制御装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5934347U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0653298A (ja) * | 1990-01-24 | 1994-02-25 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | 半導体ウェーハ試験用乾燥界面熱形チャック温度制御システム |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5248476U (ja) * | 1975-10-01 | 1977-04-06 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5147386A (ja) * | 1974-10-21 | 1976-04-22 | Hoya Glass Works Ltd | Kyusuitsuchikinoosonaeta reezaagarasusoshi |
-
1983
- 1983-03-22 JP JP4120083U patent/JPS5934347U/ja active Granted
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5248476U (ja) * | 1975-10-01 | 1977-04-06 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0653298A (ja) * | 1990-01-24 | 1994-02-25 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | 半導体ウェーハ試験用乾燥界面熱形チャック温度制御システム |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS626517Y2 (ja) | 1987-02-14 |
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