JPS5933247U - ウエハ−スキヤリア装置 - Google Patents
ウエハ−スキヤリア装置Info
- Publication number
- JPS5933247U JPS5933247U JP12785182U JP12785182U JPS5933247U JP S5933247 U JPS5933247 U JP S5933247U JP 12785182 U JP12785182 U JP 12785182U JP 12785182 U JP12785182 U JP 12785182U JP S5933247 U JPS5933247 U JP S5933247U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer carrier
- stand
- carrier equipment
- box
- carrier device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図イは従来の箱型ウェハースキャリアの正面図、第
１図口は従来の箱型ウェハースキャリアの斜視図、第２
図イ９口、ハは本考案の一実施例を示すもので、第２図
イは正面図、第２図口は側面図、第２図ハは平面図、第
３図イ１口、ハは動作説明図である。 １・・・箱型ウェハースキャリア、３・・・スタンド、
６・・・ストッパピン、８・・・掛は金、７・・・ばね
。
１図口は従来の箱型ウェハースキャリアの斜視図、第２
図イ９口、ハは本考案の一実施例を示すもので、第２図
イは正面図、第２図口は側面図、第２図ハは平面図、第
３図イ１口、ハは動作説明図である。 １・・・箱型ウェハースキャリア、３・・・スタンド、
６・・・ストッパピン、８・・・掛は金、７・・・ばね
。
Claims (1)
- 箱型ウェハースキャリアの底面より下方に突出させるス
タンドをばねで下方に向けて付勢して該ウェハースキャ
リアの一側に摺動可能に設置し、前記スタンドに、その
下縁をウェハースキャリアの底面から上方に引き上げた
位置でウェハースキャリアの側面に保持させる止め具を
設けたことを特徴とするウェハースキャリア装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12785182U JPS5933247U (ja) | 1982-08-24 | 1982-08-24 | ウエハ−スキヤリア装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12785182U JPS5933247U (ja) | 1982-08-24 | 1982-08-24 | ウエハ−スキヤリア装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5933247U true JPS5933247U (ja) | 1984-03-01 |
Family
ID=30290238
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12785182U Pending JPS5933247U (ja) | 1982-08-24 | 1982-08-24 | ウエハ−スキヤリア装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5933247U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2021048309A (ja) * | 2019-09-19 | 2021-03-25 | 株式会社ディスコ | 収容カセット |
-
1982
- 1982-08-24 JP JP12785182U patent/JPS5933247U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2021048309A (ja) * | 2019-09-19 | 2021-03-25 | 株式会社ディスコ | 収容カセット |
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