JPS5931943A - Image forming material - Google Patents

Image forming material

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Publication number
JPS5931943A
JPS5931943A JP57141038A JP14103882A JPS5931943A JP S5931943 A JPS5931943 A JP S5931943A JP 57141038 A JP57141038 A JP 57141038A JP 14103882 A JP14103882 A JP 14103882A JP S5931943 A JPS5931943 A JP S5931943A
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JP
Japan
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mask layer
image
layer
forming material
binder
Prior art date
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Pending
Application number
JP57141038A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yoshiaki Shimizu
良昭 清水
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Konica Minolta Inc
Original Assignee
Konica Minolta Inc
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Filing date
Publication date
Application filed by Konica Minolta Inc filed Critical Konica Minolta Inc
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    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F1/00Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
    • G03F1/54Absorbers, e.g. of opaque materials
    • G03F1/56Organic absorbers, e.g. of photo-resists

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)

Abstract

PURPOSE:To obtain an image forming material having a mask layer enhanced in resistance in org. solvents, by incorporating a colorant, a polymer soluble in a developing soln., and an inorg. binder in the mask layer on a support. CONSTITUTION:The mask layer formed on the support of the image forming material contains a colorant, a polymer soluble in a developing soln., and an inorg. binder. The colorant has an absorption band, preferably, within 300-400nm or 400-600nm wavelength region in exposure to light of a light source, like examples of carbon black, graphite, iron black, or aniline black. Said polymer soluble in the developing soln. means polymers soluble in water or aq. solns, such as cellulose derivs. like methyl or hydroxyethyl cellulose, polymethacylate, addition polymers having carboxyl groups on the side chains like (meth)acrylate copolymers. The inorg. binder is incorporated in the mask layer in order to give resistance to org. solvents.

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、画像形成材料の改良に関する。訂し7く11
114層中に特定の物質を含有せしめることによ1ハマ
スク層の耐有機溶剤性を向上せしめた、画像形成用の新
規な感光拐料に閂する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION This invention relates to improvements in imaging materials. Correction 7-11
This article describes a novel photosensitive material for image formation in which the organic solvent resistance of the first mask layer is improved by containing a specific substance in the first layer.

従来、網点画像や腺画に適した画像形成材料・(として
は、主にハロゲン化銀乳剤を用いたリスフィルム(リス
現[゛ン計によって現r象されるリス型)・ρゲン化銀
写、lへ材料−が用いられてきたが、近年、印刷用感′
)Y:利1Fへの業界のi9Jとしては、作!猶の安全
のためにも、所flll P 8版を塩1ノ扱う程度の
明室作業への移行が望まれており、また非銀塩感光材料
を用いて上記の問題点を解決することは、限りある資σ
?を有効に活用する漉からも非常に望まれている。
Conventionally, image-forming materials suitable for halftone images and plots have been mainly used for lithium film (lithium film produced by silver halide emulsion), ρ-genization Ginsha (silver copy) has been used as a material, but in recent years, printing materials have been used.
) Y: As an i9J in the industry to the 1st floor, it is a work! For safety reasons, it is desired to move to a bright room where the entire P8 plate is treated with just one salt, and it is not possible to solve the above problems by using non-silver salt photosensitive materials. , limited resources σ
? It is also highly desired by people who make effective use of it.

非釧塩感光利料の画像形成方法には、例えば、支持体上
に可視光あるいは原稿として使用される時の露光光源に
対して吸収をもつマスク層を有し、該1イイの上に、露
光された時に未露光部と露光部の間に現像液に対する溶
解性の変化が生じ、どちらか一方が現住後残存するフメ
トレジストMを有した拐料に像露光し、その後膣フォト
レジスト層を現像すると共にあるいは現像したのちに、
該フォトレジスト層の残存硬化(レンスト)部分を溶解
せづ゛且つ該マスクJ書を溶解しうる溶りiLで処理す
ることによりフォトレジスト層が溶出した部分の該マス
ク層を溶解除去させ、画像を形成させる方法がある。
In an image forming method using a non-salt photosensitive dye, for example, a mask layer having absorption to visible light or an exposure light source when used as a manuscript is provided on a support, and on the above 1. When exposed to light, a change in solubility in the developing solution occurs between the unexposed area and the exposed area, and one of the areas is imagewise exposed to a stripping agent having fumetresist M that remains after development, and then the vagina photoresist layer is developed. At the same time or after developing,
The remaining hardened portions of the photoresist layer are dissolved and the mask layer is treated with a molten iL that can dissolve the mask J, thereby dissolving and removing the portions of the mask layer where the photoresist layer has eluted. There is a way to form

一方、印刷用感光材料の分野では、印刷板を得るための
19、稿作成過程において、ある文字や絵柄の画像をも
つフィルムの上に別の文字や絵柄の画像をもつフィルム
、例えばストリッピングフィルムを貼り込む作業、すな
わち「貼り込み」と称するものがあり、かかるストリッ
ピングフィルムは貼り込んだ後、動かないように、スト
リッピングセメンI・と称するもので固盾される。スト
リッピングセメントに(:1、例えばメタノール、−r
−タノールといった溶剤が使われており、スト!J ソ
ピングフィルムが貼り込まれるフィルムは、上記溶剤等
にtシされないこと、すなJ)も耐溶剤性が要求される
On the other hand, in the field of photosensitive materials for printing, in order to obtain a printing plate, in the process of preparing a manuscript, a film with an image of a certain character or pattern is placed on top of a film with an image of another character or pattern, such as a stripping film. There is a process called ``pasting'', and after pasting, the stripping film is fixed with something called stripping cement I to prevent it from moving. Stripping cement (:1, e.g. methanol, -r
-Solvents such as tanol are used, so it's impossible! J) The film to which the soaking film is pasted must not be exposed to the above-mentioned solvents, etc. J) must also have solvent resistance.

ストリソピンクセメントは、銀塩感光材料に合わせて作
られているため、銀塩感光材料がス)IJッピングセメ
ントの溶剤に浸される心配はないが、前述の画像形成方
法による非銀塩感光材料の場合は、例えば特開昭52−
89916公報に示されるように、支持体上のマスクl
、Iの現f↑液可溶[1成分がバ・rンダーボリマーか
ら成るものは、このバインダーポリマーがメタノール、
エタノール等の溶剤にIQされJ・5いものが少なくな
い。このように、マスク層のバインダーポリマーが上記
溶剤等で浸され易いということは、ストリッピングフィ
ルムを・ス)・リッピングセメントで非fn 41 r
光材料の上に「貼り込み」を行なった時、非GJ[感光
材料の画像が損なわれるといった不都合を生じる。
Striso pink cement is made to suit silver salt photosensitive materials, so there is no need to worry about silver salt photosensitive materials being soaked in the solvent of IJ plating cement, but non-silver salt photosensitive materials can be used with the above-mentioned image forming method. For example, in the case of JP-A-52-
As shown in the publication No. 89916, the mask l on the support
, I current f
There are quite a few that have a J/5 IQ and are affected by solvents such as ethanol. In this way, the fact that the binder polymer of the mask layer is easily soaked by the above-mentioned solvents means that the stripping film cannot be used with stripping cement.
When "pasting" is performed on a photosensitive material, non-GJ [images on the photosensitive material may be damaged].

本発明者らは、支持体上にマスク層を有し、該J−の上
にフォトレジスト層を有する画像形成材料において、マ
スク層に面1有機溶剤性を付力する両イ7ヤ形成オ(第
1の開発に研究を重」また結果、該マスク層に着色剤、
現像液可711ポリマ・−及び無機結着剤を含有させる
ことで所期の目的が達成されろことを見出シフ、本発明
を完成するに至った。
The present inventors have proposed an imaging material having a mask layer on a support and a photoresist layer on the J-layer, in which both ear-forming agents apply surface 1 organic solvent properties to the mask layer. (Research is focused on the first development.) Also, as a result, the mask layer contains a colorant,
Schiff discovered that the intended purpose could be achieved by containing a developer-compatible 711 polymer and an inorganic binder, and thus completed the present invention.

本発明の目的は、耐有機溶剤性の向上し7たマスク層を
有する画像形成材料を提供することにある。
An object of the present invention is to provide an image forming material having a mask layer with improved organic solvent resistance.

本発明の他の目的は、v(1像液溶解性を有し、かつ耐
有機溶剤性を有する、物理的特性の改良された画像形成
材料を提供することにある。
Another object of the present invention is to provide an image forming material having improved physical properties, having solubility in an image solution and resistance to organic solvents.

かかる目的は、支持体上にマスク層4の上にフォトレジ
スト層を有する画像形成4.t 1・′1において、^
11記マスク層が着色剤、現像液用済ポリマー及び無嵌
結漬剤を含有することを’l”i Rとする画イ’、?
]W成材料によって達成さえする。
Such purpose is to form an image 4. with a photoresist layer on the mask layer 4 on the support. At t 1・'1, ^
11.Image where 'l''iR' indicates that the mask layer contains a colorant, a developer-used polymer, and a non-binding agent.
] Even achieved by W-component materials.

本発明の好ましい実施態(2)に従えば、 nil記無
機結束剤がノ“ルミナであること、又はソリ力であるこ
とである。また、他の好ましい実施態様に従えば、水系
溶液又は水で現像さノすることてある。
According to a preferred embodiment (2) of the present invention, the inorganic binding agent is nolumina or a sorcerous binder. Also, according to another preferred embodiment, an aqueous solution or an aqueous binder is used. There are some things that need to be developed.

以斗、本発明につい”〔詳細に説明する。Now, the present invention will be explained in detail.

本発明の画11!形成旧T1における支持体1r1. 
、 自己支上、7性のある材料であり、自己支持性を備
えることにより核皮」、〕体上に設けられるマスク層等
のrli1〜3層を伸1111さ毬ることなく支持し得
ることへ7意味づる。たとえばガラス仮やプラスチック
フィルム、紙などがあるが、作業上の取り扱いの面から
プラスチックフィルム、紙など自己支持性かつ柔イ((
性を持ったものが良い。例えば、ポリエチレンテレフタ
レート、ポリカーボネート、ポリ塩化ビニル、ポリスチ
レン、ポリプロピレン、三酢酸セルロース、バライタ紙
、レジンコート紙などを挙げることができる。また支持
体として用いられる拐料は、成る目的のため着色された
ものでも良い。
Picture 11 of the present invention! Support 1r1. in former T1.
It is a material with self-supporting properties, and by having self-supporting properties, it can support rli1 to 3 layers such as the mask layer provided on the body without stretching. 7 meanings. For example, there are glass temporary, plastic film, paper, etc., but from the viewpoint of handling during work, plastic film and paper are self-supporting and flexible ((
Something with sexuality is better. Examples include polyethylene terephthalate, polycarbonate, polyvinyl chloride, polystyrene, polypropylene, cellulose triacetate, baryta paper, resin coated paper, and the like. Further, the coating material used as the support may be colored for the purpose.

本発明では、支持体上にマスク層が設けられるが、支持
体上へのマスク層の塗布性、接層性等を改良Jるため支
持体を火炎処理又はコロナ放i1i等の処理をした1ハ
あるいは両者の間に下引1i+5を設けても良い。下引
層は、適当なポリマー溶e組成物の溶液を支持体上に塗
布することによって形成させる。下引層に用いられる水
利の例としては、塩化ヒニリデンーアクリpニトリル−
イタコン酸コポリマー、グリシジルアクリレートまたV
、F、グリシジルメタクリレートのポリマーまたはコポ
リマー、7クリル酸アミドまたはメタクリル酸アミドハ
・1・を体とアクリル酸またはメタクリル酸のエステル
ポリマー、塩化ビニル−酢酸ビニル−無水マレイン配フ
ボリマー、脂肪酸ビニルエステル、フタル酸またはイソ
フタル酸とグリフール類とのエステルコポリマー、スチ
ト・ンコボリマー、アクリロニトリルコポリ−z −1
zとを楢げ、で)ことができ、ビラチンイ、丁引素材と
して有効である。下引層を設けるための方法については
、写真製造J’!4では周知の技術が力)1ハそれらを
応用することができる。
In the present invention, a mask layer is provided on a support, but in order to improve the coatability, adhesion, etc. of the mask layer on the support, the support may be subjected to flame treatment or corona radiation treatment. Alternatively, a subtractor 1i+5 may be provided between the two. The subbing layer is formed by coating a solution of a suitable polymeric e-composition onto the support. An example of water used for the subbing layer is hynylidene chloride-acrypnitrile-
Itaconic acid copolymer, glycidyl acrylate or V
, F, polymer or copolymer of glycidyl methacrylate, acrylic acid or methacrylic acid ester polymer with 7-acrylic acid amide or methacrylic acid amide (1), vinyl chloride-vinyl acetate-maleic anhydride polymer, fatty acid vinyl ester, phthalic acid Or ester copolymer of isophthalic acid and glyfurs, suchty-copolymer, acrylonitrile copoly-z-1
It is effective as a material for folding and folding. For information on how to provide a subbing layer, see Photo Manufacturing J'! 4) Well-known techniques can be applied) 1) They can be applied.

一般には上51ド1−7たt5なポリマーを水又は有機
沼11^によってR+腋に(2〔、これを「「−ル、ホ
布、工7一ノイノゆ布、スプレー塗布などσ)伶布方1
′ノ;によって支持体上硫塗布第2)。
Generally, a 51% polymer is applied to the R+ armpit with water or an organic swamp 11^. Cloth method 1
2) Coating sulfur on the support.

J−、、lIs L、た支持体−ヒには、着色剤、現1
オ、τ)・−可溶ポリマー及びブ、モ(戊結沼剤を含有
するマスク層が設けられる。a色剤は、画像が形成さね
4ていイ)ことが判定できるために、あて)いは印刷版
への焼付ができるように++1ii fT部に祝1度を
、L5える目的でマスクRtI中に含有せしめられ、マ
スク層の濃度が紫外光あるいは可視う“0領域で10以
上になるよう入れもれのが好まし2い。
J-, 1Is L, and the support 1 contain a colorant, present 1
E, τ) - A mask layer containing a soluble polymer and a blocking agent is provided. Or, it is included in the mask RtI for the purpose of increasing L5 by adding 1 degree to the ++1ii fT part so that it can be printed on the printing plate, and the concentration of the mask layer becomes 10 or more in the ultraviolet or visible "0" region. It is preferable to leave it in.

本発明に用いられる11色剤は、染料又は顔料のことで
あり %4 G剤の色に’肩は特に限定されないが、画
酸ハニ成1料が画イi:1 %成された後、n光の原稿
とし℃使用される時の5驚光光源に対して吸収をもつ必
要カ人あるため、少なくとも3 (1(1〜4 (10
n rnあるいVj、べ(1(1〜6 (l On m
の師、囲に吸収を持つのが好ましい。
The coloring agent used in the present invention is a dye or a pigment.The color of the G agent is not particularly limited, but after the image acid honey composition 1 is formed, When an n-light original is used at ℃, it is necessary to absorb at least 3 (1 (1 to 4 (10
n rn or Vj, be(1(1~6 (l On m
It is preferable to have Absorption in Master and En.

本発明に用いらJIろ箔色剤の例としては、カーボンブ
ラック(プレ月1白またはグラフト化カーボンフラック
を含むに’ % j8j鉛、鉄黒、アニリンブラック、
シアニンブラック、コバルト紫、マンガン紫、ファスト
バイオL/ット13、メヂルバイオレソト1.− キ、
ジオ・■−リンパイーうレット、群青、相青、コバルト
グルー、セルリアンブルー、7.11カリブ/1−1−
’−八へ、フタロシアニンブルー、インジゴアルミニウ
ノ、粉、銅粉などを挙げろことができる。
Examples of JI filter foil colorants used in the present invention include carbon black (including pre-moon white or grafted carbon flux), lead, iron black, aniline black,
Cyanine black, cobalt purple, manganese purple, Fast Bio L/t 13, Medill Bio Lesotho 1. - Ki,
Geo・■-Rinpoi Ulet, Ultramarine, Sousei, Cobalt Glue, Cerulean Blue, 7.11 Caribbean/1-1-
'-8. Phthalocyanine blue, indigo aluminum powder, copper powder, etc. can be mentioned.

その他層、知の顔料、染ギ・1の中から適宜選択づるこ
2ができろ。これら頒色剤d坪独で用いてル、良いが、
2稍以−)こ用いても構わない。
Choose as appropriate from Other Layers, Pigments of Knowledge, and Dyeing 1 to create Zuruko 2. These coloring agents are good to use, but
2 or more) You may use this.

本発明のマスク層中には、親1国時にフ、1. l−1
,、/シスト層i’(+ It旨ti(i+’除去さt
するよう現像液可溶ポリマーカ(含まれる。未露光部を
除去するための現1象液は、作某安全件、公害の間か[
)有% (+’z Q’lを用いることeよ好fL、<
ブx<、アルカリなどの水系溶液を用い<’J (〕)
 iJ’火川上Or用1.1.<、水な用いることはI
紅(、ζ好ましい、1本開明に用い1)れる現区汀(、
可溶ポリマーiqi、具体的((け水」、た(、1水系
酎11(17nJ’ +’l(な2Jニリン−を、15
口上ず2)。ここζス水系fd液とは、水を主成分占j
−イ)L・i ?’;’iで、dlc肖段は、具体的に
は水ち50 j+jj、fi!5′5以上7Fh、残り
カー、1911えば炭ri2水;:七ナトリウム、水酸
化り−1・リウム、メタケイ酸ナトリウノベCとの浴質
、あるいC14、例えばメクノーノ1ハベンジ・I2゛
ル」・−ルなと゛の水混和性有機r+7媒、更に必戟に
より昇面活性剤等本會イjする?′0.液である。
In the mask layer of the present invention, there are 1. l-1
,,/cyst layer i'(+ It fact ti(i+' removed t
The developer solution used to remove the unexposed areas may be used to remove the unexposed areas due to certain safety concerns, pollution hazards, etc.
) Yes% (+'z It is better to use Q'l than fL, <
x <, using an aqueous solution such as an alkali <'J ()
iJ' Hikawakami Or 1.1. <、Water use is I
Red (, ζ preferred, 1 used in the discovery of 1) present gu ting (,
Soluble polymer iqi, concrete
2). Here, the water-based FD liquid is mainly composed of water.
-i) L・i? ';' In i, dlc Xiaodan is specifically Mizuchi 50 j+jj, fi! 5'5 or more 7Fh, remaining car, 1911, for example, charcoal ri2 water; bath quality with heptasodium, di-1 lium hydroxide, sodium metasilicate, or C14, for example, mekuno-1 habenge-I2'. - A typical water-miscible organic R+7 medium and, if necessary, a surface activator, etc., are also included. '0. It is a liquid.

ここで、水または水系溶液に可溶なポリマーの例として
、メチルセルロース、ヒトr+ =fジエチルー137
+11−ス、カルボA゛ンメゾ゛ルーにル「J−ス、ヒ
ト[7,ヤシブ(Jビルメチノt、、−cノドロースフ
タ1/−ト、ヒドロギソブロビルメチルセルローズヘキ
リヒド(+ツタレート笠のセル(J−ス誘尋体や、ポリ
アクリル岐エステル、ポリメタクリル酸エステノ[、ポ
リビニルブチラール、ポリメチルヒニルケトン、ナイロ
ン66、ポリアミ1゛、ポリビニルアルコール、ポリビ
ニルピロリドン、ポリビニルメトキシアセクール、ポリ
酢酸ビニル、エボキシリ1脂、ポリウレタンや、側錠h
((カルボギシルノんを有する付加重合体、例えばメタ
クリル酸共用合体、アクリル酸共重合体、イクコン酸共
重合体、マレイン酸共重合体、り11・ン酸共重合体4
4.7i’Lげろことかでき、また Ifll鎖に水酸
]・(、カルバモイル基、ジメチル7ミノシ(、を有す
る(−J加1(合イ4−1例えばビニルアルコール共s
L 合体、ヒニルアリルフルコール共車合体、メチレン
ジエチルマロネート共重合体(還元物)、無水マレイン
酸共重合体(還元物)、アクリルアミ)・共重合体、メ
タクリル7ミド共重合体、N、N−巳ンメブールアクリ
ルアミド共重合体、N、N−ジメゾ”ルアミノメブルア
クリレート共爪合体、N、N−ジメチルアミノメチルメ
タクリレート共重合体、N、N−ジメチルアミノエチル
アクリレート共重合体、N、N−ジメチルアミノエチル
アクリレート共重合体、ビニルピロリドン共重合体など
を挙げることができる1、その仙、重合体の高分子バイ
ンダーとして((1、例えばポリステ1/ンク、ルホン
酸、ポリアクリル酸、ポリメタクリル酸、ポリグルタミ
ン酸、スチレンーマ1/イン酸共爪合体1.1すに、−
ルリン酸、アルギンI’l”l ’、9の下りアニオン
とポリ7ン七ニウム+:A++I’リスルポニ・クム塩
、ポリホスホニウノ・±に等のポリカチオンの′M’f
’F体等を挙げることができる。これも、現像液可溶ポ
リマーけ、 、qt独でマスクR・う中に用いてもrシ
フ、あ2)いは2欅以上イ(同時に用い゛〔も構わない
Examples of polymers soluble in water or aqueous solutions include methyl cellulose, human r+ = f diethyl 137
+11-S, Carboxylic A-Method Lux, J-S, Human [7, Yasib (J Bilmetinot, -C Nodrosphthalate, Hydrogysobrobyl Methyl Cellulose Hexylhyde (+ Tutrate Capsule)] Cells (J-sulfur derivatives, polyacrylic branched esters, polymethacrylic esters, polyvinyl butyral, polymethylhinyl ketone, nylon 66, polyamide 1, polyvinyl alcohol, polyvinylpyrrolidone, polyvinylmethoxyacecool, Vinyl acetate, eboxy resin, polyurethane, and side tablets
(Addition polymers containing carboxylic acids, such as methacrylic acid copolymers, acrylic acid copolymers, iconic acid copolymers, maleic acid copolymers, phosphoric acid copolymers,
4.7i'L can be used as a molecule, and the Ifll chain has a hydroxyl group, a carbamoyl group, and a dimethyl group.
L coalescence, hinyl allyl flucol copolymer, methylene diethyl malonate copolymer (reduced product), maleic anhydride copolymer (reduced product), acrylamide) copolymer, methacryl 7-mide copolymer, N , N-dimethylaminomethyl methacrylate copolymer, N,N-dimezo-aminomethyl acrylate copolymer, N,N-dimethylaminomethyl methacrylate copolymer, N,N-dimethylaminoethyl acrylate copolymer, N,N-dimethylaminoethyl acrylate copolymer, vinylpyrrolidone copolymer, etc. may be mentioned (1, for example, polyester, sulfonic acid, polyacrylic Acid, polymethacrylic acid, polyglutamic acid, styrene ma 1/inic acid co-nail combination 1.1, -
'M'f of polycations such as luphosphoric acid, algine I'l"l', 9's descending anion and poly7ine-septinium +: A++I'risulfonicum salt, polyphosphoniuno, ±ni, etc.
'F-type, etc. can be mentioned. This can also be used as a developer-soluble polymer, 2) or 2) or more than 2) even if it is used in the mask R/vacuum alone.

本発明のマスク層中にd、耐有機溶剤性!、: (1−
リする目的で無機結着剤が含有される。二こ((イ壓機
結着剤とは、粒子径が1. +n /L〜1μの範囲に
あり、マス15′層中で結翳性、11(目す、該粒子同
志が互い圧接着し11す、他のりロク質に固着する性質
なイ1する無機物質のことである。この無機結着剤にマ
スク層中に含有させ:?+ +ことにより、マスク層θ
、)li4.’+ ’;li度を向上させることかでと
、その結果マスク層に耐有(サセ溶剤性を付与できるも
のと考えられる。無機結着剤の例として、アルミナ、シ
リカ、クレー、金属酸化物等をり→りけることができる
。特にアルミナ、シリカの似粒子が水に分散しているコ
ロイダルアルミナやコロイタルシリ力は一般に良く知ら
れており、本発明にも好ましく用いられる。本発明にお
いて、この焦艶結着剤はll!+ 、Ijl(で用いC
も良いが、2挿μmヒのf〕[用でも楢わない、また、
本発明のマスク層には、その他、(希酸バリウム、炭酸
カルシウム、白土などの体質顔料や、酸化亜鉛、酸化チ
タ:/、酸化7ンヂモンなどの白色顔料を無(幾結f剤
と併用して含有しても良い。
d, organic solvent resistance in the mask layer of the present invention! , : (1-
An inorganic binder is included for the purpose of The particle diameter is in the range of 1.+n/L to 1μ, and the particle size is in the range of 1.+n/L to 1μ. This is an inorganic substance that has the property of adhering to other solid materials. By incorporating this inorganic binder into the mask layer, the mask layer θ
,)li4. '+': It is thought that it improves the degree of li and, as a result, gives the mask layer resistance to sagging solvents. Examples of inorganic binders include alumina, silica, clay, and metal oxides. In particular, colloidal alumina and colloidal silica, in which particles similar to alumina and silica are dispersed in water, are generally well known and are preferably used in the present invention. The scorching binder is used in ll!+, Ijl (C
is also good, but it does not need to be used for 2μm f]
In addition, the mask layer of the present invention contains (extending pigments such as dilute barium acid, calcium carbonate, and clay) and white pigments such as zinc oxide, titanium oxide, and dimonium oxide (in combination with a recombinant f agent). It may also be contained.

本発明のマスク層1は、チ、11.−機結メ1削と現像
ht可溶ポリマーの水浴液または水系rd液あるいは有
機浴媒沼液、もしくはこれらの混合浴液を混合し、さら
に着色剤を均一(・こ?′l)解または分散させたもの
を塗布液とし“C1通7:’rの(真布技術、?fll
えばロー)口〜布、エアーナイフ塗布、スライドホッパ
ー塗布、℃クストルーダー塗布、ドクターゾ1/−ド塗
布などによって前述の支持体上へ塗布し乾燥rることに
よって形成される。
The mask layer 1 of the present invention includes H.11. - Machine drying method 1 cutting and development HT-soluble polymer water bath solution, aqueous RD solution, organic bath solution, or a mixed bath solution of these are mixed, and the coloring agent is uniformly dissolved or Use the dispersed material as a coating liquid and use it as a coating liquid.
For example, it is formed by coating onto the above-mentioned support by coating with a raw cloth, air knife coating, slide hopper coating, C.

前述したように本発明のマスク層には、着色剤、現像液
可溶ポリマー及び無機結着剤が含有されるが、マスク層
に紫外光及び’iiJ視光領域で濃度10以上を持たせ
るためには、マスク層中圧着色剤が5〜60重謙%、好
ましくは1()〜50重版免含有されるのが良い。また
現像液用済ポリマーはマスク層中にIO〜60爪墓%、
好ましく1i15〜5()電照0%含有されるのが良<
、](l亀倣%に満たない場合はフォトレジスト層溶出
部の除去が困難になり、60止t、1%より多い場合は
、耐有機浴剤性を向上できなくなり本発+31の所期の
目的に反する。さら(にまた、無(41結着剤はマスク
114中に10〜70重間%、好まL <は20〜60
重−ト1%含有されるのが良<、7(1重電1%、[り
多い場合目、)炙ルジスト溶出部の除去が困難になり、
10重反%に満たない場合は、内j有機溶剤性を向上で
きなくなり本発明の所期の目的に反する。
As mentioned above, the mask layer of the present invention contains a colorant, a developer-soluble polymer, and an inorganic binder. It is preferable that the pressure coloring agent is contained in the mask layer in an amount of 5 to 60% by weight, preferably 1 to 50% by weight. In addition, the polymer used for developer is IO~60% in the mask layer.
It is preferable that 1i15-5() contains 0% of electric light.
] (If it is less than 1%, it will be difficult to remove the eluted part of the photoresist layer, and if it is more than 1%, it will not be possible to improve the organic bath agent resistance, which is the original +31. Furthermore, the binder (41) is present in the mask 114 in an amount of 10 to 70% by weight, preferably L<20 to 60%.
It is better to contain 1% of heavy metals.
If the content is less than 10%, the organic solvent properties cannot be improved, which is contrary to the intended purpose of the present invention.

本発明のマスクJ!’HJ:、 e:>度10以上を得
るためには05μ以上の1ψさが必要であり、05〜8
μ程度σ入1ツさがあれば充分である。余りマスクIn
が厚くなると、税、像による除去の際にマスク;皆のザ
イドエッチングが7起こり、忠実な画像幅の再現が −
11られなくなる。。
Mask J of the present invention! 'HJ:, e:>To obtain a degree of 10 or more, 1ψ of 05μ or more is required, and 05 to 8
It is sufficient to have one σ input of about μ. Leftover mask In
When the image becomes thicker, masking during removal by the image; all Zide etching occurs, and faithful reproduction of the image width becomes difficult.
11. .

本発明のマスク層はfJl、f’ff 液M解性を持た
せたまま、有を幾溶剤への耐性を高めることができ、こ
れによって「貼り込み」時のストリッピングセメントに
よるマスク画1?の損傷を防ぐことができる。
The mask layer of the present invention can increase its resistance to several solvents while retaining fJl, f'ff liquid M dissolution properties, and this allows the mask layer to be removed by stripping cement during "pasting". damage can be prevented.

つまり、マスクJjに耐有機溶剤性を付与することがで
きる。
In other words, organic solvent resistance can be imparted to the mask Jj.

このようにして設()られた本発明のマスク層の上K 
r、i 、 フメトレジス1層デ(4,作けらtする。
The upper K of the mask layer of the present invention provided in this way
r, i, one layer of fumetres (4, made).

゛°フォト!7・ジス11ζメ°“とは :r;、 7
じ°j1告業界でVi既に知もf+でいる■飴であるが
、こ#l IJ: I+’に光件の皮+1L+\形成性
物質から成り、露光によって感光部と未露光部の性質が
り1なり、例えば1尚な溶i!It/[よりどちらか一
方を層から除去することができ、残る一方はモの溶媒に
対してレジスト(不酵)性を示すものである。このよう
なフォ) l/ ;スト層の一例とし壱 て・ヘロゲン化銀写真乳剤層やフメトポリマ一層などが
あ1ハフオドポリマ一層を利用する場合は、未露光部分
が除去される“′ネガ型′°や(“l先部分が除去され
るパンドジ型パがあり、例えば水粉、乾著「感光性高分
子J(RJ9f:’ζ社)、角田、山岡等著しオトポリ
マ−J (CNI C)に詳細に記されており、これら
は本発明に使用され得る1、 市販品の例として、米国ノソゾ1/・r社製フォトポリ
マー“’ A Z   + 35 (1”、米[i!1
イー ストマンコタツク社クリフォトポリマ・−” K
 P ]t″、東京応化(!1)製フォトポリマー °
“i’ P R,”、富士薬品物製” F P P I
t ”、旭化成n 剋” ニー’ r (:/ コ−)
 Il+、?光液°゛などが力)す、本発明のノ第1レ
ンストハイとしてこれらの素(1をオ+j 10 する
ことかできるが、作業安全性、公害の面から)Aトン1
.゛スト層の除去液は、水またtま、−1(系で、f−
)るのが好ましい。これらハロゲン化鏑チクA乳剤層や
フォトポリマーJ・膚へのレジスト自作形成の技術につ
いては従来か1:)知らit゛Cおり、本発明にもそれ
らを利用することができる。
゛°Photo! What is 7.JIS11ζme°?
In the advertising industry, Vi is already known as f+ candy, but this #l IJ: I+' consists of a skin of light + 1L + \ forming substance, and the properties of the exposed and unexposed areas change when exposed to light. 1, for example, 1 Sho na Sorui! Either one can be removed from the layer by It/[, and the remaining one exhibits resist (non-fermentable) properties to the solvent. Examples of such photolayers include a silver halide photographic emulsion layer and a single layer of fluorocarbon polymer.When a single layer of fluorocarbon polymer is used, the unexposed portion is removed and a negative type film is formed. There are pan-doji-type pads in which the tip portion is removed. These can be used in the present invention.1 Examples of commercially available products include photopolymer “' AZ + 35 (1” manufactured by Nosozo 1/・r, USA;
Eastman Kotatsu Co., Ltd. Qliphoto Polymer-”K
P]t'', photopolymer manufactured by Tokyo Ohka (!1) °
“i' P R,” manufactured by Fuji Yakuhin” F P P I
t ”, Asahi Kasei n 剋” nee' r (:/ ko-)
Il+,? These elements (1 can be omitted, but from the viewpoint of work safety and pollution) Aton 1 are used as the first liquid of the present invention
.. The removal solution for the strike layer is water or t-1 (in the system, f-
) is preferred. Techniques for self-forming resists on these halogenated film A emulsion layers and photopolymer J/skin are known in the past, and can be utilized in the present invention.

このようにし〔調製された本発明に係る画像形成材料は
、そのフォトレジスト層側から像露光し、その後フォト
レジスト層を現像し、さらにフォトレジスト層か#l像
除去された部分のマスク層を現博除去することでネガま
たはポジ画1ネ゛が形成される。
The image-forming material according to the present invention thus prepared is subjected to image exposure from the photoresist layer side, then the photoresist layer is developed, and then the mask layer is removed from the photoresist layer or the part where the #l image has been removed. By removing the exposure, a negative or positive image is formed.

1′へ4九の光源には、高圧水銀す]、メタルハライド
ランプ、タングステンランプ、ジアゾ感材用螢光ランプ
、ヨードランプ、ギセノンランプ、レーザー光源など各
種の)γ、州が用いられる。露光方法tJ5、原(?、
域と重ねて密着露光しても、引伸し話光し−(、もよく
、また反射1客光しても良い。この霧光さハた4・発明
に係る画像ノヒ成材¥1は、ドυえはフォトポリマ一層
の場合は、レジスト部分区1溶’?+’lせず、Jトレ
ジ・ス)・tjli分を溶h′〆する処理液で、非レジ
スト部分を机r?除去し、さらに非レジスト部分のマス
ク+G、6を溶確し一目つフォ)ポリマ一層のレジスト
部分ヤ溶解しない処理?良で%iλ像除去ゴることによ
り、所望の画像を形成する。非レジスト部分の現像除去
とマスク層の現像除去が同一の処理液でなされることは
実用上さらに好ましい。
Various kinds of light sources such as high-pressure mercury lamps, metal halide lamps, tungsten lamps, fluorescent lamps for diazo-sensitive materials, iodine lamps, gysenon lamps, and laser light sources are used as the light source. Exposure method tJ5, Hara (?,
Even if the area is overlapped with close exposure, it can be enlarged and exposed, and it is also possible to use reflected light. In the case of a single layer of photopolymer, remove the non-resist area with a processing solution that dissolves the resist area 1 without dissolving the resist area. Remove, and then melt the mask + G and 6 of the non-resist part and fix the resist part with one layer of polymer. A desired image is formed by removing the %iλ image. Practically speaking, it is more preferable that the same processing solution be used to develop and remove the non-resist portion and the mask layer.

以1″、A−発明の実施例を述べるが・、本発明の実施
態様はこれらに限定されない。面、実施f11にス・3
いて特別の表示のない限り、成分の割合の「部」は、「
′ri(知4部」を表わす。
Hereinafter, embodiments of the A-invention will be described, but the embodiments of the present invention are not limited to these.
Unless otherwise specified, "parts" of ingredient percentages are "parts".
'ri (4th part of knowledge)

実施例1 −F引り’lを設げた三酢酸七ル1フー7、フィルム上
に下WtrのR1成から成る1塗布液−■〕を内布、乾
燥してIgさ約3 /lのマスク層を設けた。
Example 1 - 1 coating solution consisting of R1 composition of lower Wtr on a film with 7 liters of triacetate provided with F pull 'l, and dried to an Ig of about 3/l. A mask layer was provided.

〔塗布液−I〕[Coating liquid-I]

この−112層の土に、光重合ネガ型のシャインコート
感光液〔無化成■製〕を塗布乾燥して厚さ約3μのフォ
トレジスト層を設けた。このようにし【作成した本発明
に係る画像形成材料−1を原稿と重ね合わせて、明室プ
リンター〔上野化学■製、[I P −6、<i KW
、メタルハライドランプ〕で45秒間W 毘したのち2
0′Cのアルカリ現(′ll液5DP−1(小西六写真
工栗(イ))製、PS版用f11f(p液〕の20倍希
釈液で現イ*L、その後25°Cの水道水で未j(4光
部を水洗除去しネガ画イ9;を得た。この自作の上に、
ストリッピングセメント〔小西六写真工業6菊製〕を使
ってストリッピングフィルム(ザクラCUS )を貼り
込んだが、自作は何ら損(j%を受けなかった。
A photoresist layer having a thickness of about 3 microns was formed by applying and drying a photopolymerizable negative type shine coat photosensitive liquid (manufactured by Non-Chemical ■) to this -112 layer of soil. The image forming material-1 according to the present invention created in this way was superimposed on the original, and then printed using a light room printer [manufactured by Ueno Chemical Co., Ltd., [I P-6, <i KW
, metal halide lamp] for 45 seconds, then
0'C alkaline liquid ('ll liquid 5DP-1 (manufactured by Konishiroku Photography Co., Ltd.), a 20 times diluted solution of f11f (p liquid) for PS plate, and then 25°C tap water. I removed the 4-light part with water and obtained a negative image 9. On top of this homemade work,
I applied a stripping film (Zakura CUS) using stripping cement (manufactured by Konishiroku Photo Industry 6Kiku), but I did not suffer any damage (J%) from my homemade product.

比較fす] 実施例1のマスク層に用いた〔塗布液−I〕の代わりに
、下記の組成の塗布液でマスク層を設け、その他は実施
例1と同様の方法で比較の1itii像W成拐料を作成
し、実施例1と同じ<tlで光、現(J水洗除去を行な
い、「貼り込み」を行なったところ、7、ドリッピング
七メン)による損傷が両fψに認められた。
Comparison F] A mask layer was formed using a coating liquid having the following composition instead of [Coating liquid-I] used for the mask layer of Example 1, and a comparative image W was prepared in the same manner as in Example 1 except for the following. A stripping material was prepared, and when it was washed with water and "pasted" at the same <tl as in Example 1, damage caused by 7. dripping was observed on both fψ. .

実施例2 下記の組成から成る〔塗布液−■〕を181!j整し、
下引1;・7タ設けたポリエチレンテレフタレートフィ
ルム上に塗布乾燥して厚さ約2μのマスクバくを設けた
Example 2 [Coating liquid-■] consisting of the following composition was applied to 181! j Adjustment,
A mask layer having a thickness of about 2 μm was provided by coating and drying on a polyethylene terephthalate film provided with an undercoating layer of 1.7.

〔塗布液−■〕[Coating liquid-■]

このマスクINの上に、下1113の組成から成る塗布
液を調整し、塗布乾P10ノ(厚さ約2μのネガ型)]
トレジスト層を設けた。
On top of this mask IN, prepare a coating solution having the composition shown below, and apply and dry P10 (negative type with a thickness of about 2μ)]
A resist layer was provided.

このようにして作成した本発明に係る画像形成材料を明
室プリンター(実施例1と同じ)で40秒間像様It’
< )Y、 したのち、25°Cの水道水に浸11(シ
ieからスポンジで軒くこ1り未r(元部を除去して、
イガ画像を得た。この111仰の十に実施例1と同様に
[貼り込み]を行なったが、画像l、何ら損傷を受けな
かった。
The image-forming material according to the present invention thus prepared was image-formed It' for 40 seconds using a bright room printer (same as in Example 1).
< ) After that, soak it in tap water at 25°C (remove the base with a sponge).
I got a picture of Iga. [Passing] was carried out on this 111-sided image in the same manner as in Example 1, but the image 1 was not damaged in any way.

比較例2 実施例2のマスク層に用いた〔塗布液−n)の代わりに
、下記の組成の塗布液でマスク層を設け、その他は実施
例2と同(5の方法で比較σ)画像形成材料を作成し、
実施例2と同じく露光、現像除去を行ない「貼り込み」
を行なったところ、ストリッピングセメントによる損傷
が画像に認められた。
Comparative Example 2 A mask layer was provided using a coating liquid with the following composition instead of the [coating liquid-n] used for the mask layer in Example 2, and the other conditions were the same as in Example 2 (Comparison σ by method 5) Image create a forming material;
As in Example 2, perform exposure, development and removal, and "pasting"
When this process was carried out, damage caused by the stripping cement was observed in the images.

実施例3 下記ノftl 成力’) 成力(塗布rib、 −II
I 、l vi+’Iyq t、、下引層を設けたポリ
エチレンテレフタレートフィルム上に塗布、乾燥り、 
−(l Iすさ約4μのマスクJc’jを設けた。
Example 3 The following noftl force ') force (application rib, -II
I, l vi+'Iyq t,, applied on a polyethylene terephthalate film provided with a subbing layer, dried,
-(l I A mask Jc'j with a height of about 4μ was provided.

〔塗布液−m ) このマスク層の上に下記の組成から成る塗布液をi14
’lりvしてjすさ約371のネガ型フォI・レジスト
111を設けた。
[Coating liquid-m] A coating liquid having the following composition was applied on this mask layer.
A negative photoresist 111 having a height of about 371 cm was provided by applying a negative photoresist 111.

このようにして作成した本発明に係る1ifii (’
9彩成利Y′+を実施例Jと同じ方法で、露光、現Vf
J、水洗除去を行ないネガ画イ9を得た。この画像の上
に513施例1と同様に1−貼り込み」を行なったが、
画イCQは何らi:Q 傷を受けなかった。
1ifii ('
9. Expose Y′+ in the same manner as in Example J, and set the current Vf.
J: Negative image 9 was obtained by washing with water. I performed "1-Paste" on top of this image in the same way as 513 Example 1, but
The image CQ did not receive any i:Q damage.

特M’F 出願人  小西六写真工梨株式会社、代理人
 弁理士  坂  ロ   イn  昭(ほか1名)
Special M'F Applicant: Konishiroku Photo Engineering Co., Ltd., Agent: Patent Attorney: Roin Akira Saka (and 1 other person)

Claims (1)

【特許請求の範囲】 (1)支持体上にマスク層を有し、該マス?f層の上に
フメトレジストj!4を、1イするuTi+ I紮形成
す(料において、前N+E −v スフJ?4が着色剤
、現+”# 7+k aJ’ *:ポリマー及び無機結
着剤を含・f]することをパ1″r徴とする画像形成イ
If’l。 (2J  jail記無侠結滑剤がアルミプである特許
F、Jl求の範囲第1項記載の画像形成材料1゜ (3)  s++記無機結イ1剤がシリカである特許請
求の範囲第1項記載の画像形成材料。 (4)水系lrl液でfJl像される(F> lT’r
 NN求の範囲第1項〜第3項いずれかに記載の画像形
成材料。 (5)水で現像される特許1flY求の範囲第1項〜第
3項いずれかに記載の画像形成材料。
[Claims] (1) A mask layer is provided on a support, and the mask layer is provided on a support. Fumetresist j on the f layer! 4 and 1 to form a uTi+I ligation (in the material, the former N+E -v Suff J?4 contains a colorant, the present +"#7+k aJ'If'l, the image-forming material described in Patent F, Jl, in which the binding lubricant is Aluminum. The image forming material according to claim 1, wherein the agent (1) is silica.
The image forming material according to any one of items 1 to 3 of the desired range of NN. (5) The image-forming material according to any one of the claims 1 to 3 of the patent application, which is developed with water.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5965837A (en) * 1982-10-07 1984-04-14 Toppan Printing Co Ltd Image forming material
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US5600356A (en) * 1989-07-25 1997-02-04 Ricoh Company, Ltd. Liquid jet recording head having improved radiator member
US5892526A (en) * 1988-07-15 1999-04-06 Canon Kabushiki Kaisha Substrate for liquid jet recording head for producing consistently shaped ink bubbles, liquid jet recording head provided with said substrate and method of recording with said recording head

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