JPS59224205A - マイクロドリル - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はト５リル、より詳しくは回路盤を穿孔するため
に使用しつるマイクロト５リルに関する。

回路盤工業において、例えば０．１０ミｌＪがらｏ、６
４ミリ（０，００４インチ−０，０２５インチ）程度の
微小穿孔を行う場合、色々なセットの穿孔基準を選択し
、ドリルの破損が重大な問題にならぬか評定する。マイ
クロドリルには穿孔作業中に色々なヵが作用する。前記
の力のいづれか、あるいはこれら力の組合せがト’　Ｉ
Ｊルの強度を上廻るとドリルを破損させうる。ドリルの
破損に影響する主要な力のあるものは刃先からのトルク
、送り込み時のスラスト、孔の壁での摩擦、偏向および
ドリル先端の運動する力である。マイクロドリルに対す
る全ての力が応力集中点での最小の断面破断応力を上廻
ると破断が起る。

前記の力は実際の切削過程において発生する力である。

破断を促進するその他の力に機械の構造、取付具の剛性
、調和振動、および材質の成分から発生する力がある。

実際の切削過程において発生する力に対して外部からの
マイナス側に働く力の全てを排除できるとすれば、従来
の回路盤穿孔構成が一般的に使用されているであろう。

しかしながら、マイクロドリルの断面積は非常に小さい
ので、この破断強度も比例して低い。このため、できる
だけ全体のマイナス力に耐えるようトゝリルを構成する
ことが不可欠である。

例えば零スピンドル振れ（ランアウト）、ドリルの加工
物に対する絶対垂直性、回路盤材料ｙの均−性等、影響
力の全てを完全に制御することは使用者側にとっては実
用的ではない。前記の、ａラメータは微細に制御する必
要がある。しかしながら、生産上の要件に対応して作動
しうるマイクロドリルを製造するのはドリル製造者側の
責務である。

ト９リルの構成およびマイクロト８リルの材質に対して
種々の試みを要する微小穿孔においては標準的な回路盤
お穿孔作業と比較して大きな差異がある。

表面速度に対する標準的な通例は毎分６００−７００サ
ーフエスフイート（ＳＦ７７１）の間で作動させること
である。（１，１ミリ＝０．０４３インチ）の＃５７ド
リルは５３，０００−６２．ＯＯＯｒｐｍの間で使用さ
れる。

現在使用されているほとんどの生産設備に対して６．０
００　８０．００Ｏｒｐｍが限度であるので、（０，１
５ミリ＝０．００５９″の＃９７ト’リルのＳＦｍは９
９２−１２２ＳＦ、、即ち＋＃５７ト８リルの約１４係
である。＃９７マイクロドリルを７００ＳＦ、πで作動
させるには、４５３，０００ｒｐｍが必要となる。

当該工業においては、複数のマイクロドリルを装着シ、
ポンチプレスの形態のボール盤を、例えば毎分２００ス
トロークで作動させるのが標準的なやり方である。した
がって、マイクロドリルはかなり高回転数で作動する必
要がある。

直径に対するコラムの長さの比、ドリルに適用された場
合のドリルの直径に対するドリル本体の長さは縦横比と
して知られている。例えば０５７）゛リルの縦横比は９
．３対１である。＃９７）−″′クリルは、本体長さは
若干短くされているが、縦横比は１６．９対１である。

刃先の切削区画は、剪断するのでなく材料を押−圧、あ
るいは研磨する負のレーキを有する切削区画であって、
これは高度のスラスト力と高熱の発生する切削区画で鉛
る。この区画は標準的な＃５７ドリルと比較した場合、
マイクロドリルにおいては比例しないことが判る。高温
研削区画がこのように相対的に増加することによって刃
先を早期に摩耗させ、このためトルク力の増加により破
断を起す。

応力のかかるドリルの最も弱い部分はフルート（縦みぞ
）のついた部分の後方であって、ζ、の部分でフルート
のついたウェブ部分がドリル本生り一画がる。従来のマ
イクロドリル構造では、例えばアント９レアス　マイア
−（Ａｎｄｒｅａｓ　Ｍａｉｅｒ　）の米国特許第４．
０８０．０９３号に示すように、フルートの終りが柄部
をドリル本体に接続する円錐チー２８部分に位置してい
る。マイクロト８リルならびに全てのドリルにおいて、
ウェブはフルートに沿ってテーパがつけられ、後方で大
きくなる。このため、この重要な点でドリルの強度を増
加させる。

マイクロドリルにおいて破損の別の考えられる原因はド
リル本体と、穿孔されつつある孔の壁との間で発生する
摩擦である。これはドリル本体に沿ってバックテーパを
設けることにより緩和できる。しかしながら、ノミツク
テーーモはドリルの裏側に十分な強度が保持され、しか
もバックチー・′の利点の提供を確実にするよう緊密な
限度内で精確に制御される必要がある。

以下の詳細説明から判るように、例えば小さいスピンド
ルの非整合、広範囲の材質上の非均一性、柄部における
ドリル本体の肩部でドリルに曲げ力を発生させうる。

例えば＃５７　）１３ルのように直径が十分大きいドリ
ルにおいては、トゝリルはこの点で曲げに耐える十分な
強度を有する。しかしなが６、ドリルの直径がはるかに
小さく・マイクロドリルにおいては、前記の力がドリル
を撓ませる。このため、ドリル本体の肩部において最大
の応力を発生させる。フルー　トが連かり、この最大応
力のかかる点で終るとすれば、ドリルはこの点で破断す
る傾向がある。

本発明の目的は撓み許容度を増すことにより破断を最小
にするマイクロドリル構造を提供することである。

本発明によれば、前記の目的はフルートの終了部分と、
ドリル本体を柄部に接続する円錐形のテーパ部分との間
のフルートのない、即ち中間部分を設けることにより達
成される。この構造により、応力のかかるドリルの帰も
弱い部分が最大の応力のかかる点から外され、ドリルは
破断することなく曲げ応力を受入れるに十分な弾性を有
することができる。

本発明のその他の目的、特徴および利点、その構成、構
造および作動は添付図面に関するルＪ下の詳細説明から
最もよく理解される。

第１図を参照すれば、マイクロドリルは柄部１２、円錐
形テーパ部分１４およびドリル本体】６を含むものとし
て全体的に１０で示されている。この周知の構造は、フ
ルートを設ける前はドリル本体は概ね円筒形であるが、
孔の壁に対する摩擦を減少するために柄部に向かってわ
づかに内方のテーパがつけられている。図示のように、
ドリル本体１６は刃先１８と、該刃先】８から円錐テー
パ部１４のフルートの終る部分２２まで延びている複数
のらせん形フルート２０を含む。その結果、ドリル本体
の断面積の少なくなる部分は、量も応力集中する位置２
４にある。

前述のことは第２図と第３図を参照すれば最もよく判る
。

前述のように、ドリルの断面積が急激に変ることはその
強度に対し７て危険である。断面積が急激に変わる点は
高度の応力が集中する部分であって、破断に対して極め
て敏感である。これは特に、ドリル本体が０．１３ミＩ
Ｊ　（０，００５インチ）のような小さい直径まで研削
される場合のマイクロドリルにつ（・ていえる。第１図
の位置２４における高度の応力集中は、円錐テーパ部分
３０によりドリル本体部分３４に接続された柄部３２を
含むマイクロドリルの部分を示す第２図を参照すれば最
もよく理解される。力のかかる部分での応力集中を分析
する標準的な技術手法においては、ドリルの形状を通し
てフローライン（流線）′を適用する。そのようなフロ
ーライン３６を第２図に示す。フローラインはその方向
を急激に変えるべきでない。第２図から判るように、フ
ローラインの方向が急激に変わるのはドリルの備も弱い
部分、即ち３８の部分であって、第１図の２４の位置と
対応する。第３図に示すように、円錐チー・２部分４０
と全体的に円筒形部分４６を含む段伺き構造により柄部
４２をドリル本体部分４４に接続したドリルのように、
段付き構造を設ければ高度の応力集中は減少する。フロ
ーライン４８は円錐テーパ部分４０の前端で応力集中が
減少して−・ることを示す。前述のような段付き構造に
より、小さいチー・２部分４７が設けられるが、この部
分に第１図に示すように、フルートの終りが来るように
すればドリル本体の断面積の減少した部分が依然として
応力集中位置４９にある。

第４図はドリル本体の断面積の減少した部分を最大の応
力集中点からずらしている本発明の一実施例を示す。第
４図は長さが２５．４　ミＩＪ　（１インチ）から５０
．８ミリ（２インチ）の範囲であって、段伺き構造によ
ってドリル本体６４に接続された円筒形の柄部５２を含
む共通の柄部な有する３、１８ミｌ）１．１２５インチ
）のマイクロドリルを示す。前記段付き形態は、５６で
指示する柄部５２の直径が３．１８ミリ（０，１２５イ
ンチ）の部分から、マイクロドリルの一線に対して約１
４から１９度の角度で、５８の部分で滑らかに変移して
いる第２の直径の円筒弁へ内方にテーパがついた円錐形
部分５４を含む。

前記円筒形部分６０は、例えば所定の半径が２．７９ミ
リ（０，１１０インチ）　−３，１−８ミリ（０，１２
５インチ）の変移部分６２と中間の撓み部分６５を介し
てドリル本体６４に接続されている。中間の撓み部分６
５は長さ６６が０．２５ミリ（０，０１０インチ）　−
１，０２ミリＣ０，０４インチ）、好ましくは０．２５
ミリ（０，０１０インチ）−０，７６ミリ（０，（１３
インチ）であって、第５図から最もよ（判るように、変
移部分６２の前端からフルートの終る位置６８へ延びて
いる。ドリル本体６４は、刃先７４とフルートの終る位
置６８の間を延びるフルート７２を含み、そのためドリ
ル本体の断面積の減少する部分は全体的に７０で指示す
る高度の応力集中点にはない。ドリル本体は、長さが０
．７６　ミＩＪ（０，０３０インチ）　−５，０８ミリ
（０，２００インチ）の範囲で、好ましくは０．７６ミ
リ（０，０３０インチ）−３，８１ミリ（０，１５０イ
ンチ）であって、直径が０．１０ミリ（０，，００４イ
ンチ）−０，６４ミリ（０，０２５インチ）の範囲であ
るフルートを有する。

撓み部分６５の長さは、特定の穿孔用途に応じて選定す
る。例えば多層を穿孔するように撓み部分の長さを長く
するにつれ破損することは少なくなる。しかしながら、
撓み部分がより大きく撓むため、出来た孔の位置の精度
は低下する。

第６図を参照すれば、柄部８２と、円錐チー・２部分８
４と、刃先９０からフルートの終る位置９２まで延びる
フルート８８を有するドリル本体８６を含む本発明の別
の実施例が全体的に８０で示されている。ドリル本体８
６は長さが例えば０．５１　ミＩＪ　（０，０２０イン
チ）の所定の長さ９６を有する中間撓み部分９４を介し
て円錐テーパ部分８４に接続され、このようにドリル本
体のフルートの終る位置と断面積の減少する部分とは全
体的に９８で指示する高度の応力の集中する部分から離
れている。

再検討□の便宜上、前述し、本発明の実施の上で有利と
判明した寸法を表として以下整理する。

ドリルの柄の直径　３．１８ミリ（０，１２５インチ）
ドリルの長さ　　　２５．４ミリ（１インチ）−５，０
８ミリ（０，０２５インチ） ドリル本体の直径　０．１０ミリ（０，０４インチ）−
〇、６４ミリ（０，０２５インチ） ドリル本体、の長さ　０．７６ミリ（０，０３０インチ
）−（フルートの長さ）　　７．６２ミリ（０，３００
インチ）（好ましくは）　　　　０．７６ミリ（０，０
３０インチ）−３８１ミリ（０，１５０インチ） 撓み部分の長さ　　０．２５ミリ（０，０１０インチ）
−１，０２ミリ（０，０４０インチ） （好ましくは）　　　　０．２５ミリ（０，０１０イン
チ）−〇、７６ミリ　（０，０３インチ） 前記撓み部分の長さの好適範囲の理由は、撓みによって
ドリルが円弧状軌道に沿って進入するようにさせ、特に
多層を穿孔する場合孔の位置を不正確にし、その後の処
理過程において回路盤と関連機械の間の整合上の問題を
発生するためである。

スピンドル速度と、６５０　ＳＦｉに基くマイクロドリ
ルの送りと、刃先の負荷の一例として、マイクロドリル
に対する高速のスピンドル速度とドリルの送り量を示す
ため下記の関係表が提供される。

マイクロドリル　スピンドル速度　トゝリル送り量の　
直　径　　　　　（ｒｐｍ　）　　　　（インチ７分）
（ｃｍ／分） ０、８　　ミ　リ　　　　７８．８２５ｒｐｍ　　　　
　　３５５Ｉｐｍ（９０１，Ｔａｒｎ／ｍ　） ０．８５　　　　７４．１１９　　　　　３３４（８４
８，３） ０．９０　　　　７０．１４１　　　　　３１６（８０
２，６） ０．９５　　　　６６、３９００　　　　２９９（６３
２，４） １．００　　　　６３．０２０　　　　　２８４（７２
１，３） １．０５　　　　６０．１２１　　　　　２７１（６８
５，８） １．１０　　　　５７．３４４　　　　　２５８（６５
５，３） １．１５　　　　５４．８１２　　　　　２４７（６２
７，３） １．２０　　　　５２．６０５　　　　　２３７（６０
１，９） １．２５　　　　５０．４６７　　　　　２２７（５７
６，５） １．３０　　　　４８．４９６　　　　　２１８（５５
３，７） １．３５　　　　４６．７６０　　　　　２１０（５３
３，４） 本発明を特定実施例により説明してきたが、当該技術分
野の専問家には本発明の精神と範囲から逸脱することな
く本発明の多（の変更や修正が明らかとなろう。したが
って、特許請求の範囲には当該技術分野に貢献する範囲
に合理的かつ適正に含まれうる変更や修正を全て包含す
る意図である。

【図面の簡単な説明】

第１図は当該技術分野で周知のマイクロドリルの一実施
例の側面図、 第２図はフローラインによって高度の応力集中を示す、
ドリルの形状を示す部分図、 第３図はこれもフローラインによって段付き構造による
高度の応力集中の減少を示す別のドリルの形態の部分図
、 第４図は本発明により構成したマイクロドリルの側面図
、 第５図は第４図に示すマイクロドリルの前端部を示す拡
大図、および 第６図は第２図に示す形式のドリル形状に対して、本発
明により構成したマイクロドリルの前端部の拡大図であ
る。 図において、 Ｉｎ、　５０．８０・・マイクロドリル、１．２．　’
３２．４２．５２゜８２・・柄、１．４．３０．４０．
５４．８４・・・円錐テーパ部分、１６、３４．４４．
６４．８６・・・トゝリル本体部分、１８．７４゜９０
・・・刃先、２０，７２２羽・・・フルート、２４，４
９，７ｏ。 ９８・・・応力集中部分、６５．９４・・・撓み部分、
２２．６８゜９２・・フルートの終る位置。 特許出願人　　フエデラルーモーギュルーコーポレーシ
ョン （外ヰ名） 手続補正書 昭和５９年８月、り４日 特許庁長官　志賀　　学　殿 １、事件の表示 昭和５９年特許願第１０４３９９　号 ２、発明の名称 マイクロドリル ３、補正をする者 事件との関係　　特許出願人 住所 名称　　　フエデラルーモーギュル畢コーポレーション
５、補正の対象 明細書の〔特許請求の範囲〕の欄 ６、補正の内容 別紙の通り （別紙） 特許請求の範囲を下記の通り訂正。 「（１）刃先と、該刃先からドリル本体に沿ってフルー
トの終る個所まで延びるらせん形フルートとを含む所定
直径のドリル本体と、ボール盤と係合し、長手方向軸心
の周りで回転する柄部と、前記柄部とドリル本体とを軸
方向に接続する少くとも一つの相互接続部と、を含み、
前記相互接続部は概ねこの接続部で高度の応力集中個所
を形成する切頭円錐形部分矛な含んでいる形式のマイク
ロドリルにおいて、 前記切頭円錐形部分と前記ドリル本体との間に設けられ
これらを相互続接する付加的中間部分で、ドリル本体を
前記の高度の応力集中個所から離し、かつマイクロドリ
ルをその中間部分において撓ませるため前記フルートの
終る個所を前記切頭円錐形部分から軸方向に離すもので
ある中間部分を含むことを改良点とするマイクロドリル
。 （２、特許請求の範囲第１項に記載の改良マイクロ・ド
リルにおいて、ドリル本体の直径は約０．１０ミリ（０
，０４インチ）から約０６４ミリ（０，０２５インチ）
の範囲であり、前記付加的中間部分の長さが約０２５ミ
リ（０，０１０インチ）から約１．０２ミリノ （０，０４０インチ）の範囲である改良マイクロト・１
ノル０ （３）特許請求の範囲第１項に記載の改良マイクロドリ
ルに於て、前記柄部は第１の直径であり、前記相互接続
部は一対の前記切頭円錐形部分と、は第１の直径よりも
小さい第２の直径を有し、前記切頭円錐形部分の一方は
前記柄部に接続され、前記中間部分は、前記ドリル本体
を前記切頭円錐形部分の他方に軸方向に相互接続し、前
記フルートの終る部分を前記円筒形部分から軸方向に離
隔するものであるマイクロドリル。 （４）特許請求の範囲第６項に記載の改良マイクロドリ
ルにおいて、ドリル本体の直径は約０．１０ミリ（０，
００４インチ）から約０．６４ミリ（０，０２５インチ
）の範囲であり、前記付加的の中間部分の長さは約０．
２５ミリ（０，０１０インチ）から約１．０２ミリ（０
，０４０インチ）の範囲であるマイクロドリル。 （５）特許請求の範囲第１項に記載の改良マイクロドリ
ルに於て、前記柄の直径が約３．１８ミリ（０，１２５
インチ）であり、前記ドリル本体の直径が約０１０ミリ
（０，００４インチ）から約０．８９ミＩＪ（０，０３
５インチ）の範囲であり、前記らせん形フルートは前記
切頭円錐形部分から約０．２５ミリ（０，０１０インチ
）から約１．０２ミリ（０，０４０トンチ）の範囲隔置
されたフルートの終る個所まで前記刃先から延びている
ものであるマイクロドリル。 （６）特許請求の範囲第６項に記載のマイクロドリルに
おいて、前記フルートの軸方向長さは約０．７６ミリ（
０，０６０インチ）から約５．０８ミリ（０，２００イ
ンチ）の範囲であるマイクロドリル。 （力　特許請求の範囲第６項に記載のマイクロドリルに
おいて、マイクロドリルの全長が約２５．４ミリ（１イ
ンチ）から約５０．８ミリ　（２インチ）の範囲である
マイクロドリル。」 以　　上

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 〔１］　刃先と、該刃先からドリル本体に沿ってフルー
   トの終る個所まで延びるらせん形フルートとを含む所定
   直径のドリル本体と、ボール盤と係合し、長手方向軸心
   の周りで回転する柄部と、該柄部をドリル本体に接続し
   、この接続部で高度の応力集中個所を形成する切頭円錐
   形部分とを含む形式のマイクロドリルにおいて、 前記切頭円錐形部分と前記ドリル本体との間に設けられ
   る中間部分であってこれらを接続し、ドリル本体を前記
   の高度の応力集中個所から離し、かつマイクロドリルを
   その中間部分において撓ませるため前記フルートの終る
   個所を前記切頭円錐形部分から離す中間部分を追加して
   含むことを 改良点とするマイクロドリル。 （２、特許請求の範囲第１項に記載の改良マイクロト９
   リルにおいて、ドリル本体の直径は０．１０ミリ（０，
   ０４インチ）から０．６４ミリ（０，０２５インチ）の
   範囲であり、前記中間部分の長さが０．２５ミリ（０，
   ０１０インチ）から１．０２ミリ（０，０４０インチ）
   の範囲である改良マイクロドリル。 〔３〕　ボール盤と係合し、長手方向軸線の周りを回転
   する、第１の直径を有する柄部と、前記柄部に接続され
   た、軸線方向に延びる切頭円錐形部分と、前記切頭円錐
   形部分に接続され、より小さ−・直径である第２の直４
   径を有する、軸線方向に延びる円筒形部分と、刃先と該
   刃先からフルートの終る個所まで後方に延びるらせん形
   フルートとを含む、所定直径の、軸線方向に延びるドリ
   ル本体とを含み、前記ト８リル本体が前記フルートの終
   る個所で前記円筒形部分に接続されており、その接続部
   分が高度の応力集中個所であるような形式のマイクロト
   ８リルにおいて、 前記所定の直径を有する別の中間部分であって、前記ド
   リル本体を前記円筒形部分に接続し、前記円筒形部分か
   ら前記フルートの終る個所を離し、前記高度の応力集中
   個所から前記ドリル本体を離し、前記中間部分において
   マイクロドリルを撓ませる中間部分を追加して含むこと
   を改良点とする マイクロドリル。シ （４）特許請求の範囲第３項に記載の改良マイクロドリ
   ルにおいて、ドリル本体の直径は０．１０ミリ（０，０
   ０４インチ）から０．６４ミリ（０，０２５インチ）の
   範囲であり、前記追加の中間部分の長さは０．２５ミリ
   （０，０１０インチ）から１．０２ミリ（０，０４０イ
   ンチ）の範囲であるマイクロト８リル。 〔５〕長手方向軸線の周りを回転するようボール盤と係
   合する、長手方向回転軸心を含む円筒形の柄部と、 第１と第２の端部を含むテーパ部分であって第１の端部
   は前記柄部に接続され一該テーパ部分は第２の端部にお
   ける所定のより小さい直径まで、前記長手方向軸線に沿
   って、かつ該軸線に向かってチー・ξがつけられた部分
   に接続され、前記マイクロドリルにおける高度の応力集
   中個所を形成するテーパ部分と、 前記テーパ部分の第２の端部に接続される、前記所定の
   直径を有する部材であって、刃先と該刃先から前記テー
   パ部分の前記第２の端部から隔置されたフルートの終る
   個所まで延びるらせん形のフルートとを含むト９リル本
   体を含み、前記フルートが撓み自在の部分を提供し、か
   つフルートを設けたドリル本体部分を前記チー・ξ部分
   の第２の端部にある高度の応力集中個所から離す部材と
   、を含むマイクロドリル。 〔６〕　直径が約３，１８ミリ（０，１２５インチ）で
   あつ−ＣＪ手力方向回転軸心を含み、長手方向軸心の周
   りで回転するようボール盤と係合する円筒形柄部と、 第１と第２の端部を含むテーパ部分であって、前記第１
   の端部が前記柄部に接続され、該テーパ部分が第２の端
   部における０、　１０　ミＩＪ　（０，００４インチ）
   から０．８９ミリ（０，０３５インチ）の範囲の直径ま
   で前記長手方向軸心に沿って、かつ該軸心に向かってチ
   ー・ξがつけられ、前記マイクロドリルにおける高度の
   応力集中個所を提供するテーパ部分と、 前記所定の直径を有し、前記テーパ部分の前記第２の端
   部に接続された部材であって、刃先と該刃先から前記７
   〜２部分の第２の端部より０．２５ミリ（Ｏ２０１０イ
   ンチ）から１．０２ミリ（０，０４０インチ）の範囲隔
   置されたフルートの終る個所まで延びるらせん形フルー
   トとを含むドリル本体を含み、フルートの撓み自在の部
   分を提供し、かつ前記テーパ部分の前記第２の端部の高
   度の応力集中個所からフルートの付いたドリル本体部分
   を離すような部材とを含むマイクロドリル。 （７）特許請求の範囲第６項に記載のマイクロドリルに
   おいて、前記フルートの軸線方向長さは０、７６　ミＩ
   Ｊ　（０，０３０インチ）から５．０８　ミＩＪ　（０
   ，２００インチ）の範囲であるマイクロト８リル。 （８）特許請求の範囲第６項に記載のマイクロト９リル
   において、マイクロト９リルの全長が２５．４ミリ（１
   インチ）から５０．８ミリ（２インチ）の範囲であるマ
   イクロト９リル。 〔９〕長手方向の回転軸心を含み、その長手方向軸心の
   周りを回転するようボール盤と係合する円筒形の柄部と
   、 前記軸心の周りで前記柄部と共に回転するよう該柄部に
   接続された第１の端部と、第２の端部とを含み、前記軸
   心に沿って、かつ該軸心に向かって前記第１の端部にお
   ける前記柄部の直径から前記第２の端部における中間の
   直径までテーパのつ（・たテーパ部分と、 前記軸心の周りを回転するよう前記チー・ξ部分の前記
   第２の端部に接続された後端と、先端とを含み、前記中
   間の直径を有する第１の円筒形部分と、 前記軸心の周りを回転するドリル本体であって、刃先と
   、該刃先からトゝリル本体に沿ってフルートの終る個所
   まで延びるらせん形のフルートとを含むト８リル本体と
   、 前記軸心の周りを回転し、前記第１の円筒形部分の前記
   先端を前記フルートの終る個所において前記ドリル本体
   に接続する第２の弾力性の円筒形部分と、を含むマイク
   ロドリル。 （１０）特許請求の範囲第９項に記載のマイクロドリル
   において、前記第１と第２の円筒形部分を接続する、所
   定曲率半径のくぼみ部分をさらに含むマイクロトゝリル
   。 〔１１〕　直径が約３．１８ミリ（０，１２５インチ）
   であって、長手方向の回転軸心を含み、その長手方向軸
   心の周りで回転するようボール盤と係合する円筒形の柄
   部と、 前記軸心の周りで前記柄部と共に回転するよう該柄部に
   接続された第１の端部と、第２の端部とを含み、前記軸
   心に沿って、かつ該軸心に向かって前記第１の端部にお
   ける前記柄部の直径から約１６度の角度で、前記第２の
   端部における中間の直径までテーパξがつけられている
   テーパ部分と、前記軸心の周りで回転するよう前記テー
   パ部分の前記第２の端部に接続された後端と、先端とを
   含む、前記中間の直径の第１の円筒形部分と、前記軸心
   の周りを回転するドリル本体であって、直径が０１１０
   ミリ（０，００４インチ）から０．６４ミリ（０，０２
   ５インチ）であり、刃先と、該刃先から０．７６ミリ（
   ０，０３０インチ）から５．０８ミリ（０，２００イン
   チ）の範囲で位置したフルートの終る個所まで前記刃先
   から前記ドリル本体に沿って延びるらせん形フルートと
   を含むドリル本体と、前記軸心の周りを回転し、前記第
   １の円筒形部分の前記先端を前記フルートの終る個所で
   前記ドリル本体に接続し、長さが０．２５ミリ（０，０
   １０インチ）から１．０２ミリ（０，０４インチ）の範
   囲である第２の弾性円筒形部分と、を含むマイクロドリ
   ル。 （■ｚ　　特許請求の範囲第１１項に記載のマイクロド
   リルにおいて、前記第１と第２の円筒形部分を接続する
   所定曲率半径のくぼみ部分をさらに含むマイクロトゝリ
   ル。 （１３）特許請求の範囲第１２項に記載のマイクロドリ
   ルにおいて、前記所定の曲率半径が２．７９ミ１Ｊ（０
   ，１１０インチ）から３．１８ミリ（０，１２５インチ
   ）の範囲であるマイクロドリル。 （１４）特許請求の範囲第１１項に記載のマイクロピリ
   ルにおいて、前記マイクロドリルの全長が２５，４ミリ
   （１インチ）から５０．８ミリ（２インチ）の範囲であ
   るマイクロドリル。 〔１５〕　直径が約３．１８ミリ（０，１２５インチ）
   であり、長手方向の回転軸心を含み、この長手方向軸心
   の周りを回転するようボール盤と係合する円筒形柄部と
   、 前記軸心の周りで前記柄部と共に回転するよう該柄部に
   接続された第１の端部と、第２の端部を含み、前記軸心
   に沿って、かつ該軸心に向がって前記柄部の直径から約
   １６度の角度で前記第２の端部における中間の直径まで
   テーパのついて（・るテーパ部分と、 前記軸心の周りで回転するよう前記テーパ部分の前記第
   ２の端部に接続された後端と先端とを含み、前記中間の
   直径である第１の円筒形部分と、前記軸心の周りを回転
   するドリル本体であって、直径が０．１０ミリ（０，０
   ０４インチ）から０．６４ミリ（０，０２５インチ）の
   範囲であり、刃先と該刃先から０．７６ミリ（０，０３
   ０インチ）から５．０８ミリ（０，２００インチ）の範
   囲で位置したフルートの終る個所まで前記刃先から前記
   ドリル本体に沿って延びるらせん形フルートとを含むド
   リル本体と、前記軸心の周りを回転し、前記第１の円筒
   形部分の前記先端を前記フルートの終る個所で前記ドリ
   ル本体に接続し、長さが０．２５ミリ（０，０１０イン
   チ）から１．０２ミリ（０，０４０インチ）の間である
   第２の弾性円筒形部分とを含み、 前記円筒形柄部、前記テーパ部分、前記第１と第２の円
   筒形部分および前記トゝリル本体を合せた全体長さが２
   ５，４ミリ（０，１インチ）から５０．８ミリ（２イン
   チ）の範囲であるマイクロドリル。