JPS59217115A - 流れる媒体の量の測定装置 - Google Patents
流れる媒体の量の測定装置Info
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- JPS59217115A JPS59217115A JP59094784A JP9478484A JPS59217115A JP S59217115 A JPS59217115 A JP S59217115A JP 59094784 A JP59094784 A JP 59094784A JP 9478484 A JP9478484 A JP 9478484A JP S59217115 A JPS59217115 A JP S59217115A
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- JP
- Japan
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- measuring
- temperature
- dependent
- measuring device
- metal foil
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
- G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
- G01F1/688—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow using a particular type of heating, cooling or sensing element
- G01F1/69—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow using a particular type of heating, cooling or sensing element of resistive type
- G01F1/692—Thin-film arrangements
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Volume Flow (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、重子調整回路と、媒体の流れ内に配置された
温度に依存する測定抵抗とを備えた、流れる媒体の量の
測定装置、例えば、内燃機関によって吸込壕れた空気量
を測定するだめの装置に関する。
温度に依存する測定抵抗とを備えた、流れる媒体の量の
測定装置、例えば、内燃機関によって吸込壕れた空気量
を測定するだめの装置に関する。
従来技術
温度に依存する測定抵抗として、熱線、又はサーミスタ
フ・［ルムを使用した装置は暁に公知である。
フ・［ルムを使用した装置は暁に公知である。
発明が解決しようとする問題点
しかしこの公知の装置においては、強度の問題や汚れの
問題があり、汚れのため、測定精度が劣下する。従って
本発明の課題は、高い強度と耐食性を有し、かつ熱容量
が僅かであるだめ熱的時定数を小さくでき、容易に製作
加工可能な測定抵抗を佛共することである。
問題があり、汚れのため、測定精度が劣下する。従って
本発明の課題は、高い強度と耐食性を有し、かつ熱容量
が僅かであるだめ熱的時定数を小さくでき、容易に製作
加工可能な測定抵抗を佛共することである。
問題点を解決するだめの手段
こうした問題点を解決するため、本発明によれば、温度
に依存する測定抵抗を１、無定形金属で構成する。
に依存する測定抵抗を１、無定形金属で構成する。
本発明の有利な実施例において温度に依存する測定抵抗
を、測定金属箔として構成する。その際、測定金属箔は
、５μｍ乃至１００μｍの間の厚さを有することができ
る。測定金属箔の縁領域に設けた開口部又は構造部によ
り、装置の測定感度を、測定すべき媒体の流れにおける
温度特性の経過に適合させることができる。
を、測定金属箔として構成する。その際、測定金属箔は
、５μｍ乃至１００μｍの間の厚さを有することができ
る。測定金属箔の縁領域に設けた開口部又は構造部によ
り、装置の測定感度を、測定すべき媒体の流れにおける
温度特性の経過に適合させることができる。
さらに、別の実施例では温度に依存する測定抵抗を、断
面部分及び／又は長さにわたって不純物原子でドーピン
グする。そのようにして、例えば、電気的絶縁作用をす
る少くとも１つの絶縁Ｐ−ピング部を形成することによ
り、温度に依存す“る抵抗を、少くとも２つの平行な測
定帯状部に分割できる。これらの測定帯状部を用いるこ
とにより、分割されたタップ領域をＪ「シて、媒体の流
れの方向の検出も可能となる。
面部分及び／又は長さにわたって不純物原子でドーピン
グする。そのようにして、例えば、電気的絶縁作用をす
る少くとも１つの絶縁Ｐ−ピング部を形成することによ
り、温度に依存す“る抵抗を、少くとも２つの平行な測
定帯状部に分割できる。これらの測定帯状部を用いるこ
とにより、分割されたタップ領域をＪ「シて、媒体の流
れの方向の検出も可能となる。
実施例
次に本発明の実＃ｉ例を図面音用いて、洋、細に説明す
る。
る。
第１図の１は、流体路断面、例えば、図示されていない
内燃機関の吸気管を示す。この流体路断面を通って、矢
印２の方向に、媒体、例えば内燃機関によって吸込まル
た空気が流れる。
内燃機関の吸気管を示す。この流体路断面を通って、矢
印２の方向に、媒体、例えば内燃機関によって吸込まル
た空気が流れる。
流体路断面１内に、例えば、流動媒体壁１１１１定装置
の一部として、温度に依存する測定抵抗３が設けられて
いる。この測定抵抗３は、本発明によれば無定形金属に
よって製作されている。この固定抵抗３には、調整装置
の出力が流れ、同時に、測定抵抗３は、調整装置に対し
て入力を供給する。温度に依存する測定抵抗３の温度は
、調整装置によって、平均媒体温度よりも高い固定値に
調整される。流床、ひいては流量値Ｑすなわち単位時間
あたりに流れる媒体計が増加すると、温度に依存する測
定抵抗３は、一層強く冷却される。この冷却は、調整装
置の入力側に伝達される。その結果、調整装置は、その
出力の大きさを高めて、温度に依存する測定抵抗３の温
度が再び固定温度値に調整されるようにする。調整装置
の出力の大きさは、温度に依存する測定抵抗３の温度を
、媒体の流Ｊ接値Ｑが変「ヒする場合にその都度あらか
じめ定められた値に調整する。そ１〜てこの調整装置の
出力の大きさは、同時に、流れる（１１体量に対する尺
度となる。
の一部として、温度に依存する測定抵抗３が設けられて
いる。この測定抵抗３は、本発明によれば無定形金属に
よって製作されている。この固定抵抗３には、調整装置
の出力が流れ、同時に、測定抵抗３は、調整装置に対し
て入力を供給する。温度に依存する測定抵抗３の温度は
、調整装置によって、平均媒体温度よりも高い固定値に
調整される。流床、ひいては流量値Ｑすなわち単位時間
あたりに流れる媒体計が増加すると、温度に依存する測
定抵抗３は、一層強く冷却される。この冷却は、調整装
置の入力側に伝達される。その結果、調整装置は、その
出力の大きさを高めて、温度に依存する測定抵抗３の温
度が再び固定温度値に調整されるようにする。調整装置
の出力の大きさは、温度に依存する測定抵抗３の温度を
、媒体の流Ｊ接値Ｑが変「ヒする場合にその都度あらか
じめ定められた値に調整する。そ１〜てこの調整装置の
出力の大きさは、同時に、流れる（１１体量に対する尺
度となる。
この尺度は、流量測定値Ｕ８として、必要な燃料量を単
位時間あたりに吸込まれる空気量に適合させるだめの、
例えば内燃機関の調量回路に供給される。
位時間あたりに吸込まれる空気量に適合させるだめの、
例えば内燃機関の調量回路に供給される。
温度に依存する測定抵抗３は、抵抗値回路、例えばブリ
ッジ回路に設けられており、基準抵抗４と共に第１のブ
リッジ分枝全形成している。
ッジ回路に設けられており、基準抵抗４と共に第１のブ
リッジ分枝全形成している。
この第１のブリッジ分枝に対して、２つの固定抵抗５．
６により形成された第２のブリッジ分枝が並列に接続さ
れている。抵抗３，４０間にはタップ７が設けられてお
り、抵抗５．６の間にはタップ８が設けられている。こ
れら２つのブリッジ分枝は、接続点９，１ｏにおいて並
列に接続されている。接続点γと８との間に現われる、
ブリッジの対角点電圧は、増幅器１１０入力側に供給さ
れる。増幅器１１０出カ端子に、接続点９．１０が接続
されＣいる。その結果、増幅器１１の出力は、ブリッジ
に対する作動電圧又は作動電流を供給する。同時に調整
量として用いられる流量測定ＵＳは、端子１２と１３０
間で取出される。
６により形成された第２のブリッジ分枝が並列に接続さ
れている。抵抗３，４０間にはタップ７が設けられてお
り、抵抗５．６の間にはタップ８が設けられている。こ
れら２つのブリッジ分枝は、接続点９，１ｏにおいて並
列に接続されている。接続点γと８との間に現われる、
ブリッジの対角点電圧は、増幅器１１０入力側に供給さ
れる。増幅器１１０出カ端子に、接続点９．１０が接続
されＣいる。その結果、増幅器１１の出力は、ブリッジ
に対する作動電圧又は作動電流を供給する。同時に調整
量として用いられる流量測定ＵＳは、端子１２と１３０
間で取出される。
温度に依存する測定抵抗３は、増幅器１１０入力電圧、
ブリッジ対角点電圧が０となるか、又はあらかじめ定め
られた値をとるまで、測定抵抗３を流れる電流によって
加熱される。その際、増幅器１１の出力量から、所定の
電流がブリッジ回路へ流れる。流れる媒体の量の変化に
より、温度に依存する測定抵抗３の温度が変化すると、
ブリッジ対角点におけるーＬ圧は変化し、増幅器１１は
、ブリッジ給亀藏圧又はブリッジ′４Ｉ＆を調整してブ
リッジ回路が再び平衡状態となるか又は所定の不平衡値
をとるようにする。
ブリッジ対角点電圧が０となるか、又はあらかじめ定め
られた値をとるまで、測定抵抗３を流れる電流によって
加熱される。その際、増幅器１１の出力量から、所定の
電流がブリッジ回路へ流れる。流れる媒体の量の変化に
より、温度に依存する測定抵抗３の温度が変化すると、
ブリッジ対角点におけるーＬ圧は変化し、増幅器１１は
、ブリッジ給亀藏圧又はブリッジ′４Ｉ＆を調整してブ
リッジ回路が再び平衡状態となるか又は所定の不平衡値
をとるようにする。
増幅器１１の出力量、既ち、制御調整量Ｕｇは、温度に
１へ存する測定抵抗３における゛電流と同様に、流れる
媒体量、例えば内燃機関によって吸込ま九る空気量の流
量値を表わし、電子制御装置進２９に入力される。この
′電子制御装置２９は、例えば、少くとも１つの燃料噴
射弁３０を制御する。
１へ存する測定抵抗３における゛電流と同様に、流れる
媒体量、例えば内燃機関によって吸込ま九る空気量の流
量値を表わし、電子制御装置進２９に入力される。この
′電子制御装置２９は、例えば、少くとも１つの燃料噴
射弁３０を制御する。
媒体の温度が測定結果に与える影響をなくするだめに媒
体流中に配置された温度に依存する第２の抵抗１４をぐ
第２のブリッジ分枝に接続すると好適である。その際、
抵抗５，６及び１４の直は、次のように選定される。即
ち、温度に依存する抵抗１４を流れる電流によって発生
する損失電力が、非常に僅かであり、抵抗１４の温度が
、ブリッジ電圧の変化では実際には変〔ヒせず、常に抵
抗１４のところを流れる媒体の温度に相応するように選
定される。
体流中に配置された温度に依存する第２の抵抗１４をぐ
第２のブリッジ分枝に接続すると好適である。その際、
抵抗５，６及び１４の直は、次のように選定される。即
ち、温度に依存する抵抗１４を流れる電流によって発生
する損失電力が、非常に僅かであり、抵抗１４の温度が
、ブリッジ電圧の変化では実際には変〔ヒせず、常に抵
抗１４のところを流れる媒体の温度に相応するように選
定される。
基準抵抗４は、同様に、流体路ｉＴｈ面内１に配置する
のが有利である。なぜなら、そのようにすれば、基準抵
抗４の損失熱を流れる媒体によって放出できるからであ
る。
のが有利である。なぜなら、そのようにすれば、基準抵
抗４の損失熱を流れる媒体によって放出できるからであ
る。
第２図に示す、流れる媒体量を測定するだめの装置の実
施例においては、例えば、温度に依存する測定抵抗３は
、測定金Ａ＠ｒ？３として構成されている。この測定金
属箔は、約５μｍと１００μｍとの間の厚さａ及び幅ｂ
（第６図参照）を有している。無定形金属は、溶融金属
を非常に急速に冷却して、原子の配置を無秩序にする、
即ち、その無定形状態を保持することにより製造される
。無定形金属は、高い引張り強さ及び十分な温度係数を
有し、容易に製造、加工できる。無定形金属は、ガラス
状の構造をしているので、その光沢のある表面には付着
物が沈着しに＜＜、一層高い耐食性を有する。非常に薄
い金属箔が製造できるので、これらの金属箔は僅かな熱
容量を有し、その結果、熱的時定数を小さくできる。
施例においては、例えば、温度に依存する測定抵抗３は
、測定金Ａ＠ｒ？３として構成されている。この測定金
属箔は、約５μｍと１００μｍとの間の厚さａ及び幅ｂ
（第６図参照）を有している。無定形金属は、溶融金属
を非常に急速に冷却して、原子の配置を無秩序にする、
即ち、その無定形状態を保持することにより製造される
。無定形金属は、高い引張り強さ及び十分な温度係数を
有し、容易に製造、加工できる。無定形金属は、ガラス
状の構造をしているので、その光沢のある表面には付着
物が沈着しに＜＜、一層高い耐食性を有する。非常に薄
い金属箔が製造できるので、これらの金属箔は僅かな熱
容量を有し、その結果、熱的時定数を小さくできる。
測定金属箔：３の各端部は、電気接続端子領域１６に接
続されている。この電気接続端子領域は、同様に無定形
金属によって構成され、測定金属箔３を製造する際に同
時に一緒に成形されるか、又は、別の導−材料で製作さ
れ、測定金９３４箔と溶接される。接続端子領域１６に
は、電気端子が接続、例えば締めつけられている。測定
金属箔３を流体路断面１において温度特性に適合させる
ために、例えば、測定金属箔３の端部に、開口部１Ｔを
形成することができる。これらの開口部１７は、例えば
長孔の形をしている。同様に、媒体の流れ２を（黄切っ
て流体路断面１内に配置される測定金属箔３は、例えば
１８で示すように、接続端子領域１６に向って幅が次第
に狭くなるような形にすることができる。
続されている。この電気接続端子領域は、同様に無定形
金属によって構成され、測定金属箔３を製造する際に同
時に一緒に成形されるか、又は、別の導−材料で製作さ
れ、測定金９３４箔と溶接される。接続端子領域１６に
は、電気端子が接続、例えば締めつけられている。測定
金属箔３を流体路断面１において温度特性に適合させる
ために、例えば、測定金属箔３の端部に、開口部１Ｔを
形成することができる。これらの開口部１７は、例えば
長孔の形をしている。同様に、媒体の流れ２を（黄切っ
て流体路断面１内に配置される測定金属箔３は、例えば
１８で示すように、接続端子領域１６に向って幅が次第
に狭くなるような形にすることができる。
これによシ同様にして、測定金属箔３から接続端子領域
１６への熱の流れが低減される１、第４図に図示の実施
例に寂いては、測定金属箔３は、その端部に部分的にス
リットが設けられている。その結果、加熱鑞流を測定金
属箔の各端部において供給するだめの接続端子領域２０
は、スリット２１によって、測定金へ箔に所属の小くと
も１つの舌片状のクップ頑域２２から分離されている。
１６への熱の流れが低減される１、第４図に図示の実施
例に寂いては、測定金属箔３は、その端部に部分的にス
リットが設けられている。その結果、加熱鑞流を測定金
属箔の各端部において供給するだめの接続端子領域２０
は、スリット２１によって、測定金へ箔に所属の小くと
も１つの舌片状のクップ頑域２２から分離されている。
これらのタップ頭載２２から、タップ領域２２０間にあ
る本来の測定頭載２３の電位がタップして取出され、電
子側（、＋１１装置２９に供給される。
る本来の測定頭載２３の電位がタップして取出され、電
子側（、＋１１装置２９に供給される。
温度に依存する測定抵抗３の材料特性のあとからの変化
は断面部分及び／又は長手延長部にわたってのイオン加
速器を用いて不純物原子でドーピングすることにより行
われる。こうした方法は、Ｐ−ピングプロフィルを形成
するだめの半導体産業において既に公知である。１−ピ
ングにより、例えば、測定領域における測定感度の向上
、及び、接続端子領域１６．２０におけるＦ毘気砥杭の
低減が達成される。さらに、ドーピングにより、測定抵
抗の表面を改善することができる。同様に、第４図に破
線で示すような、少くとも１つの、眠気的絶縁作用をす
る絶縁ドーピング部２５を設けるのが有利である。
は断面部分及び／又は長手延長部にわたってのイオン加
速器を用いて不純物原子でドーピングすることにより行
われる。こうした方法は、Ｐ−ピングプロフィルを形成
するだめの半導体産業において既に公知である。１−ピ
ングにより、例えば、測定領域における測定感度の向上
、及び、接続端子領域１６．２０におけるＦ毘気砥杭の
低減が達成される。さらに、ドーピングにより、測定抵
抗の表面を改善することができる。同様に、第４図に破
線で示すような、少くとも１つの、眠気的絶縁作用をす
る絶縁ドーピング部２５を設けるのが有利である。
この絶縁ドーピング部２５により、測定金属箔３は、少
くとも２つの平行な測定帯状部２６゜２７に分割され、
同時に、接続端子領域２０及びタツゾ頑域２２も分割さ
れる。適当な織気的評１曲により、この場合、媒体の流
れ方向２の方向検出全行うことができる。
くとも２つの平行な測定帯状部２６゜２７に分割され、
同時に、接続端子領域２０及びタツゾ頑域２２も分割さ
れる。適当な織気的評１曲により、この場合、媒体の流
れ方向２の方向検出全行うことができる。
発明の効果
本発明による無定形金属より構成された温度に依存する
ｄ１１１定抵抗は、高い耐食性と付着物が沈着しに＜＜
、高い機械的安定性を有し、また、非常に小さい断面の
ものを容易に製作できるので、熱容量が僅かとなり、従
って熱的時定数を小さくできるという効果がめる。
ｄ１１１定抵抗は、高い耐食性と付着物が沈着しに＜＜
、高い機械的安定性を有し、また、非常に小さい断面の
ものを容易に製作できるので、熱容量が僅かとなり、従
って熱的時定数を小さくできるという効果がめる。
第１図は、流れる媒体の量を測定するだめの装置の回路
略図、第２図は、本発明による装置の第１実施例の平面
図、第６図は、第２図に図示の装置を線分！−１「に沼
って切断した断面図、第４図は、流れる媒体の量を測定
するだめの装置の第２実施例の平面図を示す。
略図、第２図は、本発明による装置の第１実施例の平面
図、第６図は、第２図に図示の装置を線分！−１「に沼
って切断した断面図、第４図は、流れる媒体の量を測定
するだめの装置の第２実施例の平面図を示す。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、重子調整回路と、媒体の流れ内に配置された温度に
依存する測定抵抗とを備えた、流れの る媒体の耽欠副定Ａち如義−姦シ２装置において、温度
に依存する測定抵抗（３）を、無定形金属で構成したこ
とを特徴とする、流れる媒体の量の測定装置。 ２、温度に依存する抵抗を、測定金属箔（３）として構
成した、特許請求の範囲第１項記載の測定装置。 ６、 測定金属箔（３）の各端部に、接続端子領域（１
６）を接続した、特許請求の範囲第２項記載の測定装置
。 ４、 １ｌｌ１１定金属箔（３）において、接続端子領
域（１６）の近傍に、開口部（１γ）を設けた、特許請
求の範囲第５項記載の測定装置。 ５、測定金属箔（３）を、接続端子領域（１６）に向っ
て幅が次第に狭幅（１８）になるようにした、特許請求
の範囲ｔ：Ｊ”、 ５項記載の８１１１定装置。 ６、 ｔｉ１１定金属箔（３）の各端−ｔＳ＋Ｓンこ
、接続端子領域（２０）とタップ領域（２２）とを設け
た、特許請求の範囲第２項記載の測定装置。 ｌ 温度に依存する測定抵抗（３）を、断面部分及び／
又は長さにわたって、不純物原子でドーピングした、特
許請求の範囲第１項記載の測定装置。 ８、 温度に依存する測定抵抗（３）を、電気的絶縁作
用をする少くとも１つの絶縁ＩＳ−ピング部分（２５）
によって、少くとも２つの平行な測定帯状部（２６，２
γ）に分割した、特許請求の範囲、−Ａ７項記載の（ｊ
１１定装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19833318368 DE3318368A1 (de) | 1983-05-20 | 1983-05-20 | Vorrichtung zur messung der masse eines stroemenden mediums |
| DE33183686 | 1983-05-20 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59217115A true JPS59217115A (ja) | 1984-12-07 |
Family
ID=6199458
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59094784A Pending JPS59217115A (ja) | 1983-05-20 | 1984-05-14 | 流れる媒体の量の測定装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59217115A (ja) |
| DE (1) | DE3318368A1 (ja) |
| FR (1) | FR2546294A1 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7251553B2 (en) * | 2003-04-30 | 2007-07-31 | Robert Bosch Corporation | Thermal optimization of EMI countermeasures |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4064757A (en) * | 1976-10-18 | 1977-12-27 | Allied Chemical Corporation | Glassy metal alloy temperature sensing elements for resistance thermometers |
| DE2728060A1 (de) * | 1977-06-22 | 1979-01-18 | Bosch Gmbh Robert | Messonde mit temperaturabhaengigem widerstand zur mengenmessung |
| DE3127097A1 (de) * | 1981-07-09 | 1983-01-27 | Degussa Ag, 6000 Frankfurt | "haltevorrichtung fuer elektrische duennschichtwiderstaende" |
-
1983
- 1983-05-20 DE DE19833318368 patent/DE3318368A1/de not_active Withdrawn
-
1984
- 1984-03-30 FR FR8405004A patent/FR2546294A1/fr active Pending
- 1984-05-14 JP JP59094784A patent/JPS59217115A/ja active Pending
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| FR2546294A1 (fr) | 1984-11-23 |
| DE3318368A1 (de) | 1984-11-22 |
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