JPS59204775A - 誘電体の帯電放電測定方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は、電子線による帯電放電測定方法に曲し、例
えば人工衛星に使用される熱制御材料及び太陽電池のカ
バーグラスやブラクン管用ガラス等の真空中で使用され
る誘電体の帯電現象の測定などに関するものである。

従来この種の方法としてオ１図に示す装置によるものが
あった。

図において、（１）は真空容器、（２）は電子銃のカソ
ード、（３）はカソード（２）を加熱するヒータ、（４
）は電子銃のアノード、（５）は電子銃よｐ出射した電
子線をパルス前作させるグリッド、（６）は真空排気装
置に接続される真空排気口である。

（７）は誘電体、（８）　ｒｆｉ誘一体（７）に入射す
る電子線が影響を受けない程度に誘電体（７）の表面に
薄く蒸着された蒸着電極、（９）は誘電体（７）の裏面
に蒸着された主電極、ＵＯ）は誘電体（７）の表向に主
電極（９）と分離して蒸着され、リード保を介して直接
アース接地されたガード電極、　（ｌｉ）は誘電体（７
）を設置する試料台、０りは生電極（９）から流れる′
電流と測定する電流計ｓ　（’ｓ）は蒸Ｎ電極（８）と
接続された電位計である。

次にこの装置による測定方法について１ｆｆｌ−１１４
する。真空容器（１）内に設置され、両面が金属蒸着さ
れた誘電体（７）に、カソード（２）から加速電圧によ
って放出された電子を照射する。照射された電子は蒸着
電極（８）を貫通して誘電体（７）中に入る。

この時電子のエネルギが誘電体（７）全貫通してしまわ
ない程度のものであれば、電子は誘電体（７）中に束縛
されて電界を誘電体（７）甲に形成する、この電界によ
って、誘電体（７）中には電位差が生じ、表面には表面
電位が表われ、同時に誘電体（７）中を漏れ電流が流れ
る。この表面電位を電位計（＋ａｌ、漏れ電流を電流計
０２）により測定する。更にこの電位差かめる閾値を越
えると誘電体（７）中又は表面で放電を起こす。この時
流れる放電電流を同じく電流計０２）で測定する。

従来の測定は以上のような方法であるので、誘電体（７
）の表面で放電が起これば蒸着電極（８）がはがれ易く
、又、誘電体（７）表面の電位の分布を測定することが
できないという欠点があった。

更に、人工衛星用熱制御材料のような片面だけが金属蒸
着された誘電体について測定する際に、もう片面を薄く
蒸着しなければならないという煩しさと、この蒸着によ
って材料自身の特性を変化させてしまうという欠点もあ
った。

この発明は上記のような従来のものの欠点を除去するた
めになされたもので、電位プローブを誘電体の表面から
所定の間隔をあけて配置し、上記誘電体表面を掃引する
ことにより表面電位分布を測定できる誘電体の帯電放電
測定方法を提供することを目的としているＯ 以下、この発明の一実施例を第２図の装置の構成図につ
いて説明する。ｉｌｌ〜（７）及び（９）〜α２）は従
来装置と全く同一である。但し、ｌＪ５電体（７）には
表面に蒸着電極は施されていない。（２１）は非接触静
電電位計で、（２ｚは電位プローブ、１２３］はプロー
ブ・アパーチャであり、閾は非接触静電電計シＤと電位
プローブ（２２とを結だリード線である。

彌は電位プローブを誘電体（７）上を非接触で平行に掃
引させるためのベローズである。

次にこの装置を用いた測定方法について巳明する。従来
装置と同様に、真空容器（１］内に設置された片面が金
属蒸着された誘電体（７）に、カソード（２）から加速
電圧によって放出加速された電子を照射する。照射され
た電子は誘電体（７）中に浸入するが、電子のエネルギ
が誘電体（７）を貫通してし筐わない程のものであれば
、電子は誘電体（７）中に束縛されて、誘電体（７）中
に電界を形成する。この電界によって、誘電体（７）中
には電位差が生じ、表面には表面電位が表われ、同時に
、誘電体（７）中を漏れ電流が流れる。したがって、電
位のプローブ３ｚをベローズ（至）を介して誘電体（７
）の表面に平行に非接触で掃引することによって、その
表面電位の空間的分布を非接触静電電位計（２ηで測定
することができる。それと同時に、誘電体（７）中の漏
れ電流及び放電電流を電流計（國によシ測定することも
できる。

なお、上記実施例では真空容器Ｈ１・中での電気的信号
の計測のみを示したが、真空容器＋１１に誘電体（７）
が観測できるように石英で覗き窓を設け、放電時の光を
検出したシ、あるいは、紫外線照射効果等も測定できる
ようにしてもよい。

また、上記実施例では真空中で使用される誘電体の帯電
現象の測定方法について説明したが、不活性ガス中で使
用される誘電体の基礎的な帯電現象の測定にも上記実施
例と同様の効果を奏する。

以上のように、この発明によれば、真空中または不活性
ガス中で、電子線を連続的またはパルス的に誘電体に照
射して上記誘電体を帯電させ、電子線照射中又は照射後
の上記誘電体の表面電位の分布及び上記誘電体中を洩れ
て流れる電流を放電によって生じる電流を同時に測定す
る方法において、電位プローブを上記誘電体の表面から
所定の間隔をあけて配置し、上記誘電体の表面にそって
移動して電位分布を、測定するようにしたので、誘電体
表面の電位分布を測定することができ、精度の高い帯電
放電測定方法を得られる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の測定方法による装置の４１に成図、第２
図はこの発明の一実施例を示す構成図である。 ＋１１−ｍ−容器、（２］−−一カソード、（３１−−
−ヒータ、［４１−−−アノード、＋５１−−−グリッ
ド、（７１−−一誘電帆（９ｉ−主電極、叫−一一ガー
ド電極、（ｌリー−一試料台、（１２１−−一電流計、
（財）−ｍ−電位プローブ、−一一一グローブ・アパー
チャ、（財）−ｍ−リード線。 なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。 代理人　　大　岩　　増　雄 手続補正書（目発） １、事件の表示　　　特願昭５８−７９５４７号２、発
明の名称 誘電体の帯電放電測定方法 ３、補正をする者 代表者片山仁へ部 ４、代理人 ５、補正の対象 明細書の発明の詳細な説明および図面の簡単な説明の欄 ６、補正の内容 （１）明１１ａ書第６頁第８行に「電流を放電に」とあ
るのを「電流と放電に」と訂正する。 （２）明細書第７頁第２行に「＠・・・電流計、」の後
に「Ｑつ・・・非接触静電電圧計、」を追加する。 以上

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 真空中または不活性ガス中で、電子線を連続的またはパ
   ルス的に誘電体に照射して上記誘電体を帯電させ、電子
   線照射中又は照射後の上記誘電体の表面電位の分布及び
   上記誘電体中を漏れて流れる電流と放電によって生じる
   電流を同時に測定する方法において、電位プローブを上
   記誘電体の表面から所定の間隔をあけて配置し、上記誘
   電体の表面にそって移動させる〇とにょシミ位分布を測
   定する誘電体の帯電放電測定方法。