JPS59190370U - 回転塗布装置 - Google Patents
回転塗布装置Info
- Publication number
- JPS59190370U JPS59190370U JP8315683U JP8315683U JPS59190370U JP S59190370 U JPS59190370 U JP S59190370U JP 8315683 U JP8315683 U JP 8315683U JP 8315683 U JP8315683 U JP 8315683U JP S59190370 U JPS59190370 U JP S59190370U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- spin coating
- coating device
- heating
- rotary coating
- coating apparatus
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Coating Apparatus (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図aおよびbは従来の回転塗布装置のヘッドのそれ
ぞれ側面図および上面図、第2図aおよびbは本考案の
一実施の態様による回転塗布装置を模式的に示すそれぞ
れ側面図および平面図、第3図、第4図および第5図は
本考案の三つの異なった実施の態様によるスピンナ・ヘ
ッドの断面図である。 1・・・スピンナ・ヘッド、2・・・真空引き口、3・
・・溝、4・・・スピンナ・ヘッドの回転を示す矢印、
5・・・ヒータ、6.6′・・・整流子、7・・・電源
、8・・・固定カバー、9・・・赤外線ランプ、10・
・・送風機。
ぞれ側面図および上面図、第2図aおよびbは本考案の
一実施の態様による回転塗布装置を模式的に示すそれぞ
れ側面図および平面図、第3図、第4図および第5図は
本考案の三つの異なった実施の態様によるスピンナ・ヘ
ッドの断面図である。 1・・・スピンナ・ヘッド、2・・・真空引き口、3・
・・溝、4・・・スピンナ・ヘッドの回転を示す矢印、
5・・・ヒータ、6.6′・・・整流子、7・・・電源
、8・・・固定カバー、9・・・赤外線ランプ、10・
・・送風機。
Claims (4)
- (1)基板表面に感光性樹脂、ワックス等を塗布する回
転塗布装置において、基板の加熱手段を具備することを
特徴とする回転塗布装置。 - (2)上記加熱手段がスピンナ・ヘッドに内蔵された発
熱体であることを特徴とする実用新案登録請求の範囲第
1項記載の回転塗布装置。 - (3)上記加熱手段がスピンナ゛・ヘッドの下に設けら
れた発熱体であることを特徴とする実用新案登録請求の
範囲第1項記載の回転塗布装置。 - (4)上記加熱手段が熱風であることを特徴とする実用
新案登録請求の範囲第1項記載の回転塗布装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8315683U JPS59190370U (ja) | 1983-06-01 | 1983-06-01 | 回転塗布装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8315683U JPS59190370U (ja) | 1983-06-01 | 1983-06-01 | 回転塗布装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS59190370U true JPS59190370U (ja) | 1984-12-17 |
Family
ID=30213115
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8315683U Pending JPS59190370U (ja) | 1983-06-01 | 1983-06-01 | 回転塗布装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS59190370U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63189371U (ja) * | 1987-05-27 | 1988-12-06 |
-
1983
- 1983-06-01 JP JP8315683U patent/JPS59190370U/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63189371U (ja) * | 1987-05-27 | 1988-12-06 |
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