JPS59190370U - 回転塗布装置 - Google Patents

回転塗布装置

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Publication number
JPS59190370U
JPS59190370U JP8315683U JP8315683U JPS59190370U JP S59190370 U JPS59190370 U JP S59190370U JP 8315683 U JP8315683 U JP 8315683U JP 8315683 U JP8315683 U JP 8315683U JP S59190370 U JPS59190370 U JP S59190370U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
spin coating
coating device
heating
rotary coating
coating apparatus
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Pending
Application number
JP8315683U
Other languages
English (en)
Inventor
勉 菅原
Original Assignee
クラリオン株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by クラリオン株式会社 filed Critical クラリオン株式会社
Priority to JP8315683U priority Critical patent/JPS59190370U/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第1図aおよびbは従来の回転塗布装置のヘッドのそれ
ぞれ側面図および上面図、第2図aおよびbは本考案の
一実施の態様による回転塗布装置を模式的に示すそれぞ
れ側面図および平面図、第3図、第4図および第5図は
本考案の三つの異なった実施の態様によるスピンナ・ヘ
ッドの断面図である。 1・・・スピンナ・ヘッド、2・・・真空引き口、3・
・・溝、4・・・スピンナ・ヘッドの回転を示す矢印、
5・・・ヒータ、6.6′・・・整流子、7・・・電源
、8・・・固定カバー、9・・・赤外線ランプ、10・
・・送風機。

Claims (4)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. (1)基板表面に感光性樹脂、ワックス等を塗布する回
    転塗布装置において、基板の加熱手段を具備することを
    特徴とする回転塗布装置。
  2. (2)上記加熱手段がスピンナ・ヘッドに内蔵された発
    熱体であることを特徴とする実用新案登録請求の範囲第
    1項記載の回転塗布装置。
  3. (3)上記加熱手段がスピンナ゛・ヘッドの下に設けら
    れた発熱体であることを特徴とする実用新案登録請求の
    範囲第1項記載の回転塗布装置。
  4. (4)上記加熱手段が熱風であることを特徴とする実用
    新案登録請求の範囲第1項記載の回転塗布装置。
JP8315683U 1983-06-01 1983-06-01 回転塗布装置 Pending JPS59190370U (ja)

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JP8315683U JPS59190370U (ja) 1983-06-01 1983-06-01 回転塗布装置

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JP8315683U JPS59190370U (ja) 1983-06-01 1983-06-01 回転塗布装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS59190370U true JPS59190370U (ja) 1984-12-17

Family

ID=30213115

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP8315683U Pending JPS59190370U (ja) 1983-06-01 1983-06-01 回転塗布装置

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JP (1) JPS59190370U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63189371U (ja) * 1987-05-27 1988-12-06

Cited By (1)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63189371U (ja) * 1987-05-27 1988-12-06

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