JPS59186491U - クライオポンプに於けるポンプケ−ス - Google Patents
クライオポンプに於けるポンプケ−スInfo
- Publication number
- JPS59186491U JPS59186491U JP8038483U JP8038483U JPS59186491U JP S59186491 U JPS59186491 U JP S59186491U JP 8038483 U JP8038483 U JP 8038483U JP 8038483 U JP8038483 U JP 8038483U JP S59186491 U JPS59186491 U JP S59186491U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pump case
- cryopump
- stage
- refrigerator
- shield
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来例の截断側面図、第２図は本考案の実施例
の截断側面図である。 １・・・・・・ポンプケース、２・・・・・・冷凍機第
１段、３・・・・・・シールド、４・・・・・・冷凍機
第２段、５：・・・・・クライオパネル、３ａ・・・・
・・底部、６．７・・・・・・間隙。
の截断側面図である。 １・・・・・・ポンプケース、２・・・・・・冷凍機第
１段、３・・・・・・シールド、４・・・・・・冷凍機
第２段、５：・・・・・クライオパネル、３ａ・・・・
・・底部、６．７・・・・・・間隙。
Claims (1)
- ポンプケース１内に冷凍機第１段２により低温に冷却さ
れる有底筒状のシールド３を設け、該シールド３の内部
に冷凍機第２段４により超低温に冷却されるクライオパ
ネル５を設ける式のものに於て、該シールド３の底部３
ａ及び冷凍機第１段２にポンプケース１を接近させてそ
れらの間の間隙６．７を狭めたことを特徴とするクライ
オポンプに於けるポンプケース。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8038483U JPS59186491U (ja) | 1983-05-30 | 1983-05-30 | クライオポンプに於けるポンプケ−ス |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8038483U JPS59186491U (ja) | 1983-05-30 | 1983-05-30 | クライオポンプに於けるポンプケ−ス |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59186491U true JPS59186491U (ja) | 1984-12-11 |
Family
ID=30210376
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8038483U Pending JPS59186491U (ja) | 1983-05-30 | 1983-05-30 | クライオポンプに於けるポンプケ−ス |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59186491U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57186075A (en) * | 1981-05-12 | 1982-11-16 | Ulvac Corp | Cryo-pump and operating method thereof |
-
1983
- 1983-05-30 JP JP8038483U patent/JPS59186491U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57186075A (en) * | 1981-05-12 | 1982-11-16 | Ulvac Corp | Cryo-pump and operating method thereof |
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