JPS5918502A - Light illuminator - Google Patents
Light illuminatorInfo
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- JPS5918502A JPS5918502A JP57126348A JP12634882A JPS5918502A JP S5918502 A JPS5918502 A JP S5918502A JP 57126348 A JP57126348 A JP 57126348A JP 12634882 A JP12634882 A JP 12634882A JP S5918502 A JPS5918502 A JP S5918502A
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- lamp
- lamp house
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- heat
- light irradiation
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- Arrangement Of Elements, Cooling, Sealing, Or The Like Of Lighting Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は高圧および超高圧放電ランプを用いた光照射
装置の冷却方式を改良したものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention is an improved method of cooling a light irradiation device using high-pressure and ultra-high-pressure discharge lamps.
従来、高負荷の高圧あるいは超高圧放電ランプ（以下単
にランプと称す）を用いた光照射装置は。Conventionally, light irradiation devices have used high-load high-pressure or ultra-high-pressure discharge lamps (hereinafter simply referred to as lamps).
ランプを点灯した際、ランプが高温となるので。When the lamp is turned on, it becomes hot.
ランプハウスおよびランプの過熱防止のため、外部の冷
却空気を送風して冷却する冷却方式が採用されていた。In order to prevent the lamp house and lamp from overheating, a cooling method was used that cooled them by blowing cooling air from outside.
この冷却方式はランプハウス外部の冷空気をランプハウ
ス内にプロア等を使用して送風し、ランプより放出され
る熱によって熱せられた空気をランプハウス外へ排出す
るものであった。This cooling method used a blower to blow cold air from outside the lamp house into the lamp house, and the air heated by the heat emitted from the lamp was discharged outside the lamp house.
近年、写真製版の分野において原稿フィルムの焼付は用
光源として、紫外線を照射する高圧あるいは超高圧放電
ランプが使用されるようになってきた。In recent years, in the field of photolithography, high-pressure or ultra-high-pressure discharge lamps that irradiate ultraviolet rays have come to be used as light sources for printing original films.
一万写真製版作業における作業場は、原稿フィルムを焼
付ける焼付装置と焼付完了フィルムを現像するフィルム
現像装置とが同一室内に配置されているのが一般的であ
り、フィルム現像液の蒸発性成分が蒸発して僅かではあ
るが室内空気中に混入しているのが現状である。このよ
うな作業環境のもとに設置されているフィルム焼付装置
に上記の紫外線照射ランプを使用すると、室内空気を直
接ランプハウス内に送風冷却しているため、室内空気に
微量含まれている現像液の蒸発性成分が２ンブ近傍の高
熱や紫外線に触れて化学反応を起し乳白色微粉体となり
、ランプハウスの比較的低温となる箇所や被照射面のガ
ラス板等に付着し、フィルムの焼きムラやフィルム焼付
速度を減少させるという不都合を生じていた。In the workplace of 10,000 photoengraving operations, the printing device that prints the original film and the film developing device that develops the printed film are generally located in the same room, and the evaporative components of the film developer are Currently, it evaporates and enters the indoor air, albeit in small amounts. When the above-mentioned ultraviolet irradiation lamp is used in a film printing equipment installed in such a work environment, indoor air is blown directly into the lamp house and cooled, so trace amounts of developing material contained in the indoor air are removed. When the evaporative components of the liquid come into contact with the high heat and ultraviolet rays near the lamp, a chemical reaction occurs, forming a milky-white fine powder that adheres to the comparatively low-temperature parts of the lamp house and the glass plate of the irradiated surface, causing film burning. This has caused problems such as unevenness and reduced film printing speed.
この不都合を解消するために、ダクト等を用いて屋外の
空気を取入れて冷却する方法が考えられるが、据付工事
が面倒であったり、設備費が高くなる等の問題点があっ
た。In order to solve this inconvenience, a method of cooling by taking in outdoor air using a duct or the like has been considered, but there are problems such as troublesome installation work and high equipment costs.
この発明は上記事情を鑑みなされたもので、簡単な据付
工事で済みかつ設備費を高めることなく。This invention was made in view of the above circumstances, and requires simple installation work without increasing equipment costs.
（３）
フィルムの焼きムラやフィルム焼付速度を向上させた光
照射装置を提供するものである。(3) To provide a light irradiation device that improves film printing unevenness and film printing speed.
この発明の構成は、内部に高圧または超高圧放電ランプ
を配設した密閉形のランプハウスと、このランプハウス
内の空気を外部の空気と隔離して強制的に循環させる空
気循環装置と、この空気循環装置によって循環する空気
を冷却する冷却装置とを備えたことを特徴とするもので
ある。The structure of the present invention includes: a sealed lamp house in which a high-pressure or ultra-high-pressure discharge lamp is disposed; an air circulation device that forcibly circulates the air inside the lamp house while separating it from outside air; The present invention is characterized by comprising a cooling device that cools the air circulated by the air circulation device.
このように構成された光照射装置においてはランプ点灯
時に発生する熱によって熱せられたランプハウス内の空
気は、空気循環装置によって外部の空気と隔離されて冷
却装置に送られ、この冷却装置によって冷却された空気
はランプハウス内に戻る空気循環回路を形成するので、
上述の外気の汚ｎＫまつわる不都合をなくすことができ
る。In a light irradiation device configured in this way, the air inside the lamp house that is heated by the heat generated when the lamp is lit is separated from the outside air by the air circulation device and sent to the cooling device, where it is cooled. The emitted air forms an air circulation circuit that returns to the lamp house.
The above-mentioned inconveniences related to outside air pollution can be eliminated.
具申この発明の詳細を図面にしたがって説明する。第１
図および第２図はこの発明の一実施例を示す概略構成図
で、第１図はその平面図、第２図は正面図である。図に
おいてｉｌｌは光を取り出すレンズ（４）を取付けた蓋
（２）を有するランプハウスで。Details of this invention will be explained with reference to the drawings. 1st
1 and 2 are schematic configuration diagrams showing one embodiment of the present invention, with FIG. 1 being a plan view thereof and FIG. 2 being a front view thereof. In the figure, ill is a lamp house with a lid (2) fitted with a lens (4) that takes out light.
（４） 内部に石英ガラス製のランプ（３）が配設されている。(4) A quartz glass lamp (3) is arranged inside.
（７）は冷却装置でフィン付きヒートパイプ形の熱交換
器であり、ランプハウス（１１の外に設置さ扛ている。(7) is a cooling device, which is a finned heat pipe type heat exchanger, and is installed outside the lamp house (11).
このフィン付ヒートパイプ形熱交換器（７）Ｈ。This finned heat pipe type heat exchanger (7)H.
吸熱部（８）および放熱部（９）が囲い箱Ｉに納められ
。A heat absorption part (8) and a heat radiation part (9) are housed in an enclosure I.
さらにこの囲い箱（１４には吸熱部（８）および放熱部
（９）の両端に位置する箇所に空気を通過させる大輪。Furthermore, this enclosure box (14) has large wheels that allow air to pass through the portions located at both ends of the heat absorbing section (8) and the heat dissipating section (9).
Ｕ、αり、α謙が開けである。更に吸熱部（８）と放熱
部（９）とけ仕切り板員に工っで互いに隔離されている
。U, α-ri, and α-ken are open. Furthermore, the heat absorption part (8) and the heat radiation part (9) are separated from each other by a partition plate member.
ランプハウス＋１１の両端に空気流通用穴（１？） 、
αＩ１９を設け、これらの穴０７１ 、 Ｈと熱交換器
の吸熱部（８）の近くに設けられた穴Ｈ、Ｑｌ）とをダ
クト（５）および（６）で連結し、ランプハウス１１１
−ダクト（６）−熱交換器の吸熱部（８）−ダクト（５
）−ランプハウス（１１より成る空気循環器を形成する
。（ｌっけこの空気循環路の途中に位置する熱交換器（
７）の吸熱部（８）の出口近傍に設けられた送風機で強
制的に空気を循環させるものである。また（Ｉｅは熱交
換器（７）の放熱部（９）の出口側に設けられた空気排
出用の送風機である。Air circulation holes (1?) at both ends of lamp house +11,
αI19 is provided, and these holes 071, H and holes H, Ql) provided near the heat absorption part (8) of the heat exchanger are connected by ducts (5) and (6), and the lamp house 111
- Duct (6) - Heat absorption part of heat exchanger (8) - Duct (5
) - Lamphouse (11) forms an air circulator consisting of a heat exchanger (11) located in the middle of this air circulation path.
7) The air is forcibly circulated by a blower installed near the outlet of the heat absorbing section (8). Further, (Ie is a blower for discharging air provided on the exit side of the heat radiating part (9) of the heat exchanger (7).
このようにして構成さｎた光照射装置を運転すると、ラ
ンプ（３）の熱によって熱せられたランプハウスｆｉｌ
内の空気は、ダク）（６１ｅ介して熱交換器の吸熱部（
８）を通り、この吸熱部（８）で熱を奪はわれ冷却され
てダクト（５）を通してランプハウス（１）内に戻る循
環サイクル繰返し、ランプ（３）およびランプハウス（
１）内を冷却する。When the light irradiation device configured in this way is operated, the lamp house filtration is heated by the heat of the lamp (3).
The air inside the heat exchanger is passed through the duct (61e) to the heat absorption part (
8), the lamp (3) and the lamp house (1) undergo a repeating circulation cycle where the heat is removed from the heat absorbing part (8), cooled, and returned to the lamp house (1) through the duct (5).
1) Cool the inside.
一万熱交換器（７）の吸熱部（８）に吸収された熱は放
熱部（９）に畝達さ扛、送風機（Ｉ［９によって放熱部
（９）を通過するランプハウス外部の空気によって奪ば
われ、ランプハウス（１）外に放出される。熱交換器（
７）の吸熱部（８）と放熱部（９）とは仕切り板（ＩＩ
によって分離さ扛ているので、ランプハウス（１）内の
空気はランプハウスｉｌｌ外の空気と隔離される。した
がってランプハウス（１１内に密閉さｎた空気をランプ
ハウス（１１外部の空気と隔離した状態で循環させ、ラ
ンプ（３）およびランプハウス（１）内を冷却すること
ができるものである。The heat absorbed by the heat absorption part (8) of the heat exchanger (7) is transferred to the heat radiation part (9), and the air outside the lamp house passes through the heat radiation part (9) by the blower (I [9). heat exchanger (
The heat absorbing part (8) and the heat dissipating part (9) of 7) are separated by the partition plate (II).
The air inside the lamp house (1) is isolated from the air outside the lamp house (1). Therefore, the air sealed inside the lamp house (11) can be circulated in a state separated from the air outside the lamp house (11) to cool the inside of the lamp (3) and the lamp house (1).
第３図、第４図は上記実施例とは異なる別の実施例を示
す。この実施例はランプ（３）をマイクロ波によって点
灯させるようにしたものに適用したものである。第３図
および第４図において、 Ｑ４）はランプハウス（１）
内部にマイクロ波電磁波を発生させるマグネトロン翰は
このマグネトロン（財）に連結さｎＪＣアルミニウム等
の導電体で作られた導波管−はとの導波管（ハ）に給電
口（ハ）を介して連結され、マイクロ波空胴の一壁面を
兼ね備えた反射笠翰、そしてこの反射笠（イ）内の所定
の位置に無電極ランプ（３）が配設されている。Ｑυは
導電性の金属メツシュで２反射笠（２）の開口部に電気
的に密接されており。3 and 4 show another embodiment different from the above embodiment. This embodiment is applied to a lamp (3) that is lit by microwaves. In Figures 3 and 4, Q4) is the lamp house (1)
The magnetron wire that generates microwave electromagnetic waves inside is connected to this magnetron (incorporated) and connected to the waveguide (c) made of conductor such as nJC aluminum through the power feed port (c). A reflective shade (A) is connected to the microwave cavity and serves as one wall of the microwave cavity, and an electrodeless lamp (3) is disposed at a predetermined position within this reflective shade (A). Qυ is a conductive metal mesh that is electrically closely connected to the opening of the two reflective shades (2).
反射笠（イ）と金属メツシュ（２υとでマイクロ波空胴
を形成する。この金属メツシュｅ２Ｄけマイクロ波は内
部に反射するが光は通過するような開口部寸法に設定さ
れている。＠はマグネトロンを強制空冷するためのファ
ン、＠は無電極ランプ（３）を強制空冷するためのファ
ンである。（ハ）はファン（５）により穴（ハ）から放
出される風を反射笠（至）の底に設けた穴（至）を通し
て無電極ランプ（３）を冷却するものと、導波管Ｑ擾に
開けら扛た穴（ハ）および給電口（功を介して無電極ラ
ンプ（３）を冷却できるように規制するための箱である
。なお上記以外は第１図および第２図（７）
に示すものと同様である、
このように構成された光照射装置を運転するとマグネト
ロンｆ２４）より発生したマイクロ波は導波管（ハ）−
給電口（３２）を介して反射笠（イ）と金属メツシュＱ
υとで形成さ扛るマイクロ波空胴内に導か扛、無電極ラ
ンプ（３）に供給さ牡て無電極ランプ（３）を点灯させ
る。無電極ランプ（３）より放出される熱およびマグネ
トロンＱ４の熱によって熱せら扛た空気は。A microwave cavity is formed by the reflective shade (a) and the metal mesh (2υ).The opening dimensions of this metal mesh e2D are set so that the microwave is reflected inside, but the light passes through. A fan for forced air cooling of the magnetron, @ is a fan for forced air cooling of the electrodeless lamp (3). ) to cool the electrodeless lamp ( 3 ) is a box to regulate the cooling of the magnetron.Other than the above, it is the same as the one shown in Figures 1 and 2 (7).When the light irradiation device configured in this way is operated, the magnetron ) The microwaves generated from the waveguide (c) −
Reflector shade (A) and metal mesh Q via power supply port (32)
The microwaves formed by υ are guided into the cavity and supplied to the electrodeless lamp (3), thereby lighting the electrodeless lamp (3). The air is heated by the heat emitted from the electrodeless lamp (3) and the heat from the magnetron Q4.
強制冷却ファン（イ）および（イ）によって第３および
第４図中の矢印Ｃ，Ｄの方向に排出され、さらにランプ
ハウス（１）内−ダクト（６）−熱交換器（７）の吸熱
部（８）全通リーダクト（５）−ランプハウス＋１１内
に戻る循環サイクルの空気のＲｎに乗って循環し冷却さ
扛る。貫た上記循環サイクルの空気はランブノ・ウス（
１）内の強制空冷用ファンｆｉ 、 ｔ、！Ｑ以外のと
ころも通過して流れるので、無電極ランプ（３）、マグ
ネトロン（財）およびランプハウス内部を冷却する。−
万態交換器（７）の吸熱部（８）に吸収された熱は放熱
部（９）に畝達さ扛、送風＋ｌｅによって放熱部（９）
を通過するランプハウス（１１の外部の空気によって＃
はわれ放出（８）
される。ランプハウス＋１１内の空気は熱交換器（７）
の吸熱器部（８）と放熱器部（９）と間に設けられた仕
切り板Ｑｌによってランプハウス（１）外の空気と分離
されているので、無電極ランプ（３）およびマグネｌロ
ン（財）や２ングハウス（１）内をランプハウス（１）
外の空気に曝すことなく冷却することができる。The forced cooling fans (A) and (A) exhaust heat in the directions of arrows C and D in Figures 3 and 4, and the heat is absorbed between the lamp house (1), the duct (6), and the heat exchanger (7). Part (8) All-through lead duct (5) - The air in the circulation cycle that returns to the lamp house +11 is circulated on Rn and cooled. The air in the above circulation cycle that penetrates Lambnous (
1) Forced air cooling fan fi, t,! Since it flows through areas other than Q, it cools the electrodeless lamp (3), the magnetron, and the inside of the lamp house. −
The heat absorbed by the heat absorption part (8) of the universal exchanger (7) is transferred to the heat radiation part (9) by the air blow +le.
By the outside air of the lamp house (11 #
It is released (8). The air inside the lamp house +11 is a heat exchanger (7)
The heat absorber part (8) and the heat radiator part (9) are separated from the air outside the lamp house (1) by the partition plate Ql provided between them, so the electrodeless lamp (3) and the magnetron ( Lamp house (1) inside the second house (1)
It can be cooled without being exposed to outside air.
したがって、ランプハウス（１）外の空気９例えばフィ
ルム現像液の蒸発成分等の混入している空気がランプハ
ウス（１１内に入らないため、フィルム現像液の蒸発成
分の化学反応がなくなり、それに伴う被照射面の汚れを
なくすことができる。Therefore, since the air 9 outside the lamp house (1), which contains evaporated components of the film developer, does not enter the lamp house (11), there is no chemical reaction of the evaporated components of the film developer, and the accompanying It is possible to eliminate stains on the irradiated surface.
上記各実施例において冷却装置としてフィン付ヒートパ
イプ形の熱交換器（７）を用いたが、この理由はヒート
バイブ方式の熱交換器（７）は他の冷却装置においてラ
ンプハウス＋１１内の空気の温度を６０゛０以下程度に
保持するものにおいては効率の良い冷却ができることが
実験的に判明したこと。In each of the above embodiments, a finned heat pipe type heat exchanger (7) was used as the cooling device. It has been experimentally found that efficient cooling can be achieved by maintaining the temperature at about 60°C or less.
したがって冷却装置自身を小型にでき取扱いが簡単にな
るためである。Therefore, the cooling device itself can be made smaller and easier to handle.
また、冷却装置はランプハウス（１）外に別設置して、
ランプハウスｆｉ＋とダクト（５）によって連結される
ことによって、冷却装置を所望の場所に設置できるので
便利であり、このようにすることにより。In addition, the cooling device is installed separately outside the lamp house (1).
By connecting the lamp house fi+ with the duct (5), it is convenient because the cooling device can be installed at a desired location.
例えば写真製版用のフィルム焼付装置内にこの光源装置
を組込む場合、フィルム焼付装置の側壁面に簡便に取付
けることができる等の効果がある。For example, when this light source device is incorporated into a film printing device for photolithography, it can be easily attached to the side wall of the film printing device.
以上説明のようにこの発明による光照射装置によれば、
ランプハウス外部の空気の汚れ等による不都合が解消で
きる。As explained above, according to the light irradiation device according to the present invention,
Inconveniences caused by air pollution outside the lamp house can be eliminated.
また石英ガラス製の放電ランプを用いた場合。Also when using a discharge lamp made of quartz glass.
ランプより放射される短波長の紫外線によって発生する
オゾンがランプハウス外すなわち作業場所の空気の中へ
放出されないので２作業環境衛生上からも好ましい。This is preferable from the viewpoint of sanitary working environment, since the ozone generated by the short wavelength ultraviolet rays emitted from the lamp is not released outside the lamp house, that is, into the air of the working place.
なおこの発明はランプハウス内にランプ以外の部品を配
設した場合においてもこの発明の効果を有するものであ
り２例えばランプを点灯させるための安定器等の電気部
品や光を有効利用するための反射笠等をこのランプハウ
ス内に配設したものにおいてもこの発明の効果を奏する
ものである。Furthermore, this invention has the effect of this invention even when components other than the lamp are arranged in the lamp house. The effects of the present invention can also be achieved in a lamp house in which a reflective shade or the like is provided.
第１図はこの発明による光照射装置の一実施例を示す平
面図、第２図は同じく正面図、第３図はこの発明の他の
実施例を示す平面図、第４図は同じく正面図である。
図中、（！）はランプハウス、（３）はランプ、（７）
は熱交換器（冷却装置）、Ｑ！１９は送風機（空気循環
装置）なお各図中同一符号は同一または相当部分を示す
。
代理人 葛 野 信 −
（１１）
第 １ 因
ｆＩＩｋ２！ｆｆｌ
態 ３ 画
鎌倉市大船五丁目１番１号三菱
電機株式会社大船製作所内
０発 明 者 伊藤弘
鎌倉市大船五丁目１番１号三菱
電機株式会社大船製作所内
０出 願 人 株式会社龍電社
東京都港区新橋四丁目７番２号
■出 願 人 三菱電機株式会社
東京都千代田区丸の内２丁目２
番３号
６゜
特許庁長官殿 （１
）１、事件の表示 特願昭 ５７−１２６８４８
号２、発明の名称
光照射装置
３、補正をする者
代表者片山仁へ部
補正の対象
図面
補正の内容
図面中、第１図を別紙のとおシ訂正する。
以上FIG. 1 is a plan view showing an embodiment of the light irradiation device according to the present invention, FIG. 2 is a front view, FIG. 3 is a plan view showing another embodiment of the invention, and FIG. 4 is a front view. It is. In the diagram, (!) is the lamp house, (3) is the lamp, and (7)
is a heat exchanger (cooling device), Q! Reference numeral 19 denotes a blower (air circulation device); the same reference numerals in each figure indicate the same or corresponding parts. Agent Shin Kuzuno - (11) First cause fIIk2! ffl Status 3 Picture: Mitsubishi Electric Co., Ltd. Ofuna Works, 5-1-1 Ofuna, Kamakura City Author: Hiro Ito, Ofuna Works, Mitsubishi Electric Co., Ltd., 5-1-1 Ofuna, Kamakura City: Author: Ryuden Co., Ltd. Company 4-7-2 Shinbashi, Minato-ku, Tokyo ■Applicant Mitsubishi Electric Corporation 2-2-3-6 Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo Commissioner of the Japan Patent Office (1
) 1. Display of the incident Patent application No. 57-126848
No. 2, Name of the invention Light irradiation device 3, Person making the amendment Representative Hitoshi Katayama Drawings to be amended Contents of the amendment Figure 1 in the drawings will be corrected as shown in the attached sheet. that's all
Claims (5)
密閉形のランプハウスと、このランプハウする空気を冷
却する冷却装置とを備えたことを特徴とする光照射装置
。(1) A light irradiation device characterized by comprising a closed-type lamp house in which a high-pressure or ultra-high-pressure discharge rung is arranged, and a cooling device for cooling the air flowing through the lamp house.
としたことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の光
照射装置。(2) The light irradiation device according to claim 1, wherein the cooling device is a finned heat pipe type heat exchanger.
れランプハウス外に設置されていることを特徴とする特
許請求の範囲第１項または第２項記載の光照射装置。(3) The light irradiation device according to claim 1 or 2, wherein the cooling device is connected to the lamp house by a duct and installed outside the lamp house.
けたことを特徴とする第１項ないし第３項Ｑいづれかに
記載の光照射装置。(4) The light irradiation device according to any one of items 1 to 3 Q, wherein the air circulation device is provided at least on the outlet side of the cooling device.
ランプとしたことを特徴とする特許請求の範囲第１項記
載の光照射装置。(5) The light irradiation device according to claim 1, wherein the high-pressure or ultra-high-pressure discharge lamp is an electrodeless discharge lamp.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57126348A JPS5918502A (en) | 1982-07-20 | 1982-07-20 | Light illuminator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57126348A JPS5918502A (en) | 1982-07-20 | 1982-07-20 | Light illuminator |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5918502A true JPS5918502A (en) | 1984-01-30 |
Family
ID=14932941
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57126348A Pending JPS5918502A (en) | 1982-07-20 | 1982-07-20 | Light illuminator |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5918502A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4887008A (en) * | 1984-06-14 | 1989-12-12 | Fusion Systems Corporation | Electrodeless lamp bulb of modified shape for providing uniform emission of radiation |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5367275A (en) * | 1976-11-26 | 1978-06-15 | Nippon Bunko Kogyo Kk | Air cooler for xenon lamp to prevent leakage of ozone |
-
1982
- 1982-07-20 JP JP57126348A patent/JPS5918502A/en active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPS5367275A (en) * | 1976-11-26 | 1978-06-15 | Nippon Bunko Kogyo Kk | Air cooler for xenon lamp to prevent leakage of ozone |
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