JPS59184455U - 電子顕微鏡用試料保持装置 - Google Patents
電子顕微鏡用試料保持装置Info
- Publication number
- JPS59184455U JPS59184455U JP8101683U JP8101683U JPS59184455U JP S59184455 U JPS59184455 U JP S59184455U JP 8101683 U JP8101683 U JP 8101683U JP 8101683 U JP8101683 U JP 8101683U JP S59184455 U JPS59184455 U JP S59184455U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron microscope
- holding device
- sample holding
- cable
- sample
- Prior art date
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- Pending
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- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来例の装置の斜視図、第２図はこの考案の実
施例の平面図、第３図は第２図の正面図である。 １・・・・・・フラットケーブル、２・・・・・・コネ
クタ、３・・・・・・試料台、４・・・・・・チップソ
ケット、６・・・・・・チップ、７・・・・・・ケーブ
ル素線。
施例の平面図、第３図は第２図の正面図である。 １・・・・・・フラットケーブル、２・・・・・・コネ
クタ、３・・・・・・試料台、４・・・・・・チップソ
ケット、６・・・・・・チップ、７・・・・・・ケーブ
ル素線。
Claims (1)
- 回転自在の試料台にチップソケットを設け、フラットケ
ーブルのＬ端をチップソケットの足に接゛ 続し
、他端を試料室壁に設けたコネクタに接続した電子顕微
鏡用試料保持装置において、上記フラットケーブルの一
端側をケーブル素線に分離し、試料台に独立して設けた
穴に各ケーブル素線を挿通したことを特徴とする電子顕
微鏡用試料保持装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8101683U JPS59184455U (ja) | 1983-05-26 | 1983-05-26 | 電子顕微鏡用試料保持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8101683U JPS59184455U (ja) | 1983-05-26 | 1983-05-26 | 電子顕微鏡用試料保持装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59184455U true JPS59184455U (ja) | 1984-12-07 |
Family
ID=30210990
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8101683U Pending JPS59184455U (ja) | 1983-05-26 | 1983-05-26 | 電子顕微鏡用試料保持装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59184455U (ja) |
-
1983
- 1983-05-26 JP JP8101683U patent/JPS59184455U/ja active Pending
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