JPS5917860U - 測定用探針 - Google Patents

測定用探針

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Publication number
JPS5917860U
JPS5917860U JP11248982U JP11248982U JPS5917860U JP S5917860 U JPS5917860 U JP S5917860U JP 11248982 U JP11248982 U JP 11248982U JP 11248982 U JP11248982 U JP 11248982U JP S5917860 U JPS5917860 U JP S5917860U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
measuring probe
recorded
carbide layer
tungsten
utility
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP11248982U
Other languages
English (en)
Inventor
昌男 大久保
Original Assignee
日本電子材料株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by 日本電子材料株式会社 filed Critical 日本電子材料株式会社
Priority to JP11248982U priority Critical patent/JPS5917860U/ja
Publication of JPS5917860U publication Critical patent/JPS5917860U/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Measuring Leads Or Probes (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第1図は本案品の構成を略示する部分破砕側面図、第2
図は本考案に係る他の実施例を略示する部分破砕側面図
である。 1・・・本案品、11・・・タングステンカーバイド層
、12・・・ニッケルメッキ。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. タングステン素材の表面にタングステンカーバイド層を
    形成したことを特徴とする測定用探針。
JP11248982U 1982-07-24 1982-07-24 測定用探針 Pending JPS5917860U (ja)

Priority Applications (1)

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JP11248982U JPS5917860U (ja) 1982-07-24 1982-07-24 測定用探針

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11248982U JPS5917860U (ja) 1982-07-24 1982-07-24 測定用探針

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS5917860U true JPS5917860U (ja) 1984-02-03

Family

ID=30260756

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP11248982U Pending JPS5917860U (ja) 1982-07-24 1982-07-24 測定用探針

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS5917860U (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6473097A (en) * 1987-09-16 1989-03-17 Canon Kk Production of microelectrode
JPH01182756A (ja) * 1988-01-14 1989-07-20 Tokyo Electron Ltd プローブカード

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6473097A (en) * 1987-09-16 1989-03-17 Canon Kk Production of microelectrode
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