JPS59168200U - ビ−ムシヤツタ - Google Patents

ビ−ムシヤツタ

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Publication number
JPS59168200U
JPS59168200U JP6180983U JP6180983U JPS59168200U JP S59168200 U JPS59168200 U JP S59168200U JP 6180983 U JP6180983 U JP 6180983U JP 6180983 U JP6180983 U JP 6180983U JP S59168200 U JPS59168200 U JP S59168200U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
aperture
diaphragm
shutter
shota
blocking part
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP6180983U
Other languages
English (en)
Inventor
郁夫 小西
Original Assignee
株式会社島津製作所
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社島津製作所 filed Critical 株式会社島津製作所
Priority to JP6180983U priority Critical patent/JPS59168200U/ja
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Pending legal-status Critical Current

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  • Particle Accelerators (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は、従来のシャッタ付近の構成を示すもので同図
イは部分断面止面図、同図口はハウジングを除去したと
きの側面図、第２図はこの考案に係るシャッタ付近の構
成を示す部分断面正面図、第３図はこの考案に係るシャ
ッタの動作を説明するための平面図、第４図はビーム電
流値と本体の微小角回転方向との関係を示すグラフであ
る。 ２０・・・ビームシャッタ（シャッタ）、２１・・・シ
ャッタ本体（本体）、２２・・・ビーム孔、２３・・・
ビーム遮断部（遮断部）、２４・・・絞り、Ｂ・・ゼー
ム、Ｙ・・・回転中心。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. ビーム孔とビームと遮断部と絞りを具備するビームシャ
    ッタであって、前記絞りは前記ビーム孔を関連し、かつ
    回転軸から偏心して設け、かつ前記絞りの直径は前記ビ
    ーム孔の直径よりも小さくするとともに、前記絞りの電
    位は前記ビーム遮断部と同電位にしたことを特徴とする
    ビームシャッタ。
JP6180983U 1983-04-25 1983-04-25 ビ−ムシヤツタ Pending JPS59168200U (ja)

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JP6180983U JPS59168200U (ja) 1983-04-25 1983-04-25 ビ−ムシヤツタ

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JP6180983U JPS59168200U (ja) 1983-04-25 1983-04-25 ビ−ムシヤツタ

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Publication Number Publication Date
JPS59168200U true JPS59168200U (ja) 1984-11-10

Family

ID=30192024

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP6180983U Pending JPS59168200U (ja) 1983-04-25 1983-04-25 ビ−ムシヤツタ

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JP (1) JPS59168200U (ja)

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