JPS59162673A - Actuator - Google Patents
ActuatorInfo
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- JPS59162673A JPS59162673A JP3690383A JP3690383A JPS59162673A JP S59162673 A JPS59162673 A JP S59162673A JP 3690383 A JP3690383 A JP 3690383A JP 3690383 A JP3690383 A JP 3690383A JP S59162673 A JPS59162673 A JP S59162673A
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- head
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- laminated piezoelectric
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- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B21/00—Head arrangements not specific to the method of recording or reproducing
- G11B21/02—Driving or moving of heads
Landscapes
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
- Moving Of The Head To Find And Align With The Track (AREA)
- Optical Recording Or Reproduction (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はたとえば磁気テープの長手方向に対して傾斜[
また記録トラワクを形成するいわゆるヘリカルスキャン
ニング方式のVTRや、ディスクに対し同心円状もしく
けスパイラル状の記録トラックを磁気的あるいけ光学的
に形成するようにした情報記録再生装置のへ、ド等を駆
動制御するためのアクチュエータに関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention provides, for example, a magnetic tape that is inclined with respect to the longitudinal direction [
In addition, there is a so-called helical scanning type VTR that forms a recording track, and an information recording/reproducing device that magnetically or optically forms a concentric spiral recording track on a disk. The present invention relates to an actuator for drive control.
従来のこの種のアクチーエータの1つに磁気ヘラトラハ
イモルフ素子(圧電素子の1種)の先端部に取付け、ト
ラッキング情報に基いて上記バイモルフ素子に所定電圧
を印加することによシ、磁気へ、ドのギヤ4.ゾ中心位
置が常にトラックの中心位置に一致するように、ヘッド
位置をIIJ御するものがある。上記のものはバイモル
フ素子自体の機械的強度が比較的弱いために、例えば磁
気ヘッドの先端が磁気テープや磁気ディスクの記録面と
接触すること、にょって生じる力等の外力が磁気ヘッド
に加わると、磁気ヘッドは上記外力により所定の位置か
ら太きくずれて他の位置へ移動してし壕うことがある。One of the conventional actuators of this type is attached to the tip of a magnetic helatrahymorph element (a type of piezoelectric element), and a predetermined voltage is applied to the bimorph element based on tracking information, thereby generating magnetic force. , gear 4. Some types control the head position so that the center position of the track always coincides with the center position of the track. In the above devices, the mechanical strength of the bimorph element itself is relatively weak, so external forces such as those caused by the tip of the magnetic head coming into contact with the recording surface of a magnetic tape or magnetic disk are applied to the magnetic head. In such a case, the magnetic head may be severely deviated from a predetermined position and moved to another position due to the above-mentioned external force.
このような場合、磁気へ、2ドを最適動作位置に戻すに
めには、バイモルフ素子に対し、ずれ量補正用の大きな
電圧を印加する必要がある。したがって上記印加電圧を
供給するための増幅器のダイナミックレンジを十分大き
くする必要があり、コスト的に不利と々る問題がある。In such a case, in order to return the magnet to the optimum operating position, it is necessary to apply a large voltage for correcting the amount of deviation to the bimorph element. Therefore, it is necessary to sufficiently widen the dynamic range of the amplifier for supplying the above-mentioned applied voltage, which poses a considerable problem in terms of cost.
又、前記ずれ量はトラッキングサーボ系にオフセットを
与えることになる。このため上記オフセットを吸収する
目的でトラッキングサーボ系のサーブ利得を極めて太き
くする必要がおり、サーボ系の安定性確保の面でも問題
がある。Further, the amount of deviation gives an offset to the tracking servo system. Therefore, in order to absorb the above-mentioned offset, it is necessary to make the serv gain of the tracking servo system extremely large, which also poses a problem in terms of ensuring the stability of the servo system.
r バイモルフ素子は、薄手のセラミックス同志全2枚
ハリ合わせたもの、あるいは圧電素子と金属板や高分子
フィルムの機力非圧電素子とをはり合わせた構造をして
いる。したがって磁気ヘッドを位置的に太きく動かすに
は、バイモルフ素子の長さを十分長いものにする必要が
ある。r A bimorph element has a structure in which two sheets of thin ceramic are glued together, or a piezoelectric element and a mechanical non-piezoelectric element made of a metal plate or polymer film are glued together. Therefore, in order to move the magnetic head positionally, it is necessary to make the bimorph element sufficiently long.
長いセラミックスは、強度的に弱いので厚手の材料を使
用しなければならない。しかるに厚手の・ぐイモルフ素
子は駆動電圧を高くしないと充分動作しない。Long ceramics have weak strength, so thick materials must be used. However, thick guimorph elements do not work well unless the drive voltage is high.
以上述べた様に、・ぐイモルフ素子には素子の厚み、素
子の長さ、駆動゛電圧、変形量(移動りに相関があり、
装置にとって好適な駆動素子の設計をむずかしいものに
L2ていた。As mentioned above, there is a correlation between the thickness of the guimorph element, the length of the element, the drive voltage, and the amount of deformation (movement).
This makes it difficult to design a drive element suitable for the device.
本発明けこのような事情に基いてiさi’L f?:も
のであり、その目的は機械的強度が十分大きく、たとえ
外力が駆動対象物である磁気へ、、ド等に加っても、こ
の駆動対象物を安定に保持できると共に、駆動素子が長
大化せず、全体をコン・4′クトに形成できる上、構成
が簡単で組立ておよび配線が容易で例えば小型の可搬式
磁気記録装置のへラドアクチュエータ等として好適なア
クチュエータを提供することKある。The present invention is based on these circumstances. The purpose of this is to have sufficiently high mechanical strength so that even if an external force is applied to the magnetic object being driven, the object to be driven can be held stably, and the driving element is long and large. It is an object of the present invention to provide an actuator which can be formed as a whole into a compact structure without becoming bulky, has a simple structure, and is easy to assemble and wire, and is suitable as, for example, a head actuator for a small portable magnetic recording device.
本発明は上記目的を達成するために次の如く構成したこ
とを特徴とする。すなわち本発明は所定距離をおいて平
行に相対向する三脚を備えた枠体を機械的強度の大きな
部材で形成し、上記枠体の上記三脚間中央に駆動対象物
全配置し、この駆動対象物の一側面と前記一方の脚の内
側面との間および駆動対象物の他側面上前記他方の脚の
内側面との間に、それぞれ第1.第2の積層圧電素子を
挿着し、これら第1.第2の積層圧電素子に対し駆動制
御情報に応じた所定極性の制御電圧を印加することによ
り、駆動対象物を所定位置に駆動制御するようにしたも
のであり、特に第1.第2の積層圧電素子として、それ
ぞれ複数の圧電素子単体を、分極方向を交互に180°
異ならせて積層したもσ)を用いるようにしたものであ
る。かくして本発明では・々イモルフ構造の素子を用い
ず圧電素子の厚み方向縦振動を利用することによって駆
動対象物を駆動制御するようにい/4イモルフ素子の構
造的な弱さと素子の長大化を防止すると共に、各圧電素
子単体相互間に挿入される電極構造の単純化および組立
て、配線の簡略化をはかるようにしたことを特徴として
いる。In order to achieve the above object, the present invention is characterized by the following configuration. That is, in the present invention, a frame body with tripods facing each other in parallel at a predetermined distance is formed of a member with high mechanical strength, and the object to be driven is all arranged in the center between the tripods of the frame body, and the object to be driven is The first. A second laminated piezoelectric element is inserted, and these first and second laminated piezoelectric elements are inserted. By applying a control voltage of a predetermined polarity according to drive control information to the second laminated piezoelectric element, the object to be driven is controlled to be driven to a predetermined position. As the second laminated piezoelectric element, a plurality of single piezoelectric elements are arranged alternately at 180 degrees in the polarization direction.
Even if the layers are stacked differently, σ) is used. Thus, in the present invention, it is possible to drive and control an object to be driven by utilizing longitudinal vibration in the thickness direction of a piezoelectric element without using an element with an immorph structure. The present invention is characterized in that it is possible to prevent this, and to simplify the electrode structure inserted between each piezoelectric element, as well as the assembly and wiring.
以下、本発明の実施例につき図面を参照して説明する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
第1図は本発明の一実施例の機構部の構成を示す平面図
であり、図中11は回転磁気ディスク、12は磁気ディ
スク上に形成さf]たn己=トラック、13はへ2.ド
送り用ステ1.プモータ、14は上記モータの軸に設け
られたアピールネジ、15け上記ボールネジ14の回転
に伴ってディスク11の半径方向にステップ移動するヘ
ッド保持体である。FIG. 1 is a plan view showing the configuration of a mechanical section of an embodiment of the present invention, in which 11 is a rotating magnetic disk, 12 is a track formed on the magnetic disk, and 13 is a 2 .. 1. 14 is an appeal screw provided on the shaft of the motor, and 15 is a head holder that moves in steps in the radial direction of the disk 11 as the ball screw 14 rotates.
第2図は第1図に示L〜女ヘッド保持体15の一具体的
構成を示す斜視図である。第2図中、20は十分な機械
的強度を有する部材にて形成されたH形の枠体であり、
この枠体20の相対向する三脚21 a + 21 b
間にはギヤ、ノブG?有する磁気へ1.ド22が両側を
第1.第2の積層圧電素子23a、23bにて挾持され
た状態で挿着されている。第1.第2の積層圧電素子2
3a 、23bには電圧増幅器24.25にて電圧増幅
された正または負電位の制御電圧l;印加される。なお
枠体20の三脚21a、21bと第1.第2の積層圧電
素子2 、? a 、 23 bとの間、および磁気ヘ
ッド220両側面と第1゜第2の積層圧電素子23a、
23bとの間は、接着剤等にて接着される。FIG. 2 is a perspective view showing a specific structure of the female head holder 15 shown in FIG. In FIG. 2, 20 is an H-shaped frame made of a member having sufficient mechanical strength,
Opposing tripods 21 a + 21 b of this frame 20
In between is a gear, knob G? 1. To the magnetism that it has. 22 on both sides. It is inserted while being held between the second laminated piezoelectric elements 23a and 23b. 1st. Second laminated piezoelectric element 2
A control voltage l of positive or negative potential amplified by voltage amplifiers 24 and 25 is applied to 3a and 23b. Note that the tripods 21a and 21b of the frame body 20 and the first. Second laminated piezoelectric element 2,? a, 23b, and between both sides of the magnetic head 220 and the first and second laminated piezoelectric elements 23a,
23b is bonded with adhesive or the like.
第3図は第1.第2の積層圧電素子238゜2 、?
bの詳細な構成を示す図である。ただ(〜第3図には、
第1の積層圧電素子23aのみを示し7である。図中、
31.32,33.34゜35.36d圧電素子単体で
あり、図中矢印で示す如く、分極方向を交互に1800
異ならせて積層しである。上記各圧電素子単体31〜3
6の相互間および3)と36の両外側面には電極層41
.42,43,44.45,46.47が設けられてい
る。上記電極層のうち奇数番目の電極層41.43,4
5.47は共通接続されて電圧増幅器24の出力端に接
続されており、偶数番目の電極層42,44.46は共
通接続されて接地されている。かくして上記各圧電素子
2.β1〜36には電圧増幅器24で電圧増幅されたト
ラッキング情報に応じた制御電圧が並列に印加されるこ
とばなる。その結果、各圧電素子31〜36け制御電圧
が正電位のものであれば第3図中矢印Iの方向へ膨張し
、制御電圧が負電位のものであれば、第3図中矢印■方
向へ圧縮し、ヘッド22に偏倚力を与える。なお上記の
偏倚力がヘッド22に対し7作用する方向が第1.第2
の積層圧電素子2 、? a 、 23 bで一致する
ように、第1.第2の圧電素子23a。Figure 3 is 1. Second laminated piezoelectric element 238°2,?
It is a figure showing detailed composition of b. However (~ Figure 3 shows
Only the first laminated piezoelectric element 23a is shown at 7. In the figure,
31.32, 33.34°35.36d It is a single piezoelectric element, and the polarization direction is alternately 1800° as shown by the arrow in the figure.
They are laminated in different layers. Each of the above piezoelectric elements 31 to 3
6 and on both outer surfaces of 3) and 36.
.. 42, 43, 44.45, and 46.47 are provided. Odd numbered electrode layer 41, 43, 4 among the above electrode layers
5.47 are commonly connected and connected to the output terminal of the voltage amplifier 24, and even numbered electrode layers 42, 44, and 46 are commonly connected and grounded. Thus, each piezoelectric element 2. A control voltage corresponding to the tracking information voltage amplified by the voltage amplifier 24 is applied in parallel to β1 to β36. As a result, each of the piezoelectric elements 31 to 36 expands in the direction of arrow I in FIG. 3 if the control voltage is at a positive potential, and in the direction of the arrow ■ in FIG. 3 if the control voltage is at a negative potential. to apply a biasing force to the head 22. Note that the direction in which the above biasing force acts on the head 22 is the first direction. Second
Laminated piezoelectric element 2,? a, 23 b to match, 1st. Second piezoelectric element 23a.
23bの一方が膨張するときには他方が圧縮するように
制御される。23b is controlled so that when one expands, the other compresses.
すなわち、第2図において、積層圧電素子23aに電圧
増幅器24からこの素子2.7 aが厚み方向に膨張す
るような電位の電圧が印加されるときには、積層圧電素
子23bには電圧増幅器25からこの素子23bが厚み
方向に圧縮されるよう々電位の電圧が印加される。その
結果、23a、23b双方の効果で、ヘッド22は図示
のA方向へ移動することになる。That is, in FIG. 2, when a voltage having a potential that causes the element 2.7a to expand in the thickness direction is applied from the voltage amplifier 24 to the laminated piezoelectric element 23a, this voltage is applied from the voltage amplifier 25 to the laminated piezoelectric element 23b. A potential voltage is applied so that the element 23b is compressed in the thickness direction. As a result, the head 22 moves in the direction A shown in the figure due to the effects of both 23a and 23b.
第4図はトラッキング情報検出手段を示す図である。第
4図において51.52d一対のトラッキング情報検出
用のヘッドである。上記検出用ヘッド51.52はヘッ
ド22が最適トラッキング状態にあるとき、ヘッド5ノ
および52の各ギャップ中心位置がトラ1.り12の両
端に一致するように位4設定されており、ヘッド22と
共に一体的にトラック12の幅方向へ移動するものとな
っている。上記トラッキング情報検出用へラド51.、
52の各出力はエンベロープ検波器53.54によりそ
れぞれエンベローゾ検波され、しかるのち差動増幅器5
5に供給される。差動増幅器55の出力はトラッキング
情報として前記電圧増幅器24.25に与えられる。FIG. 4 is a diagram showing tracking information detection means. In FIG. 4, there are a pair of heads 51.52d for detecting tracking information. In the detection heads 51 and 52, when the head 22 is in the optimum tracking state, each gap center position of the heads 5 and 52 is set to 1. 4 are set so as to coincide with both ends of the track 12, and move integrally with the head 22 in the width direction of the track 12. The tracking information detection helad 51. ,
Each output of 52 is envelope-detected by envelope detectors 53 and 54, and then sent to a differential amplifier 5.
5. The output of the differential amplifier 55 is given to the voltage amplifiers 24 and 25 as tracking information.
本装置は上記の如く構成されているので、ヘッド22が
トラッキングエラーを生じると、検出用ヘッド51.5
2の出力に差が生じ、差動増幅器55から上記差に応じ
たトラッキング情報が送出される。このトラッキング情
報は電圧増幅器24.25にて電圧増幅され、正または
負電位の制御電圧として積層圧電素子23a。Since this device is configured as described above, when the head 22 generates a tracking error, the detection head 51.5
A difference occurs between the two outputs, and tracking information corresponding to the difference is sent out from the differential amplifier 55. This tracking information is voltage amplified by voltage amplifiers 24 and 25, and applied to the laminated piezoelectric element 23a as a positive or negative potential control voltage.
23bに印加される。このため、積層圧電素子23a
、23bは第2図に示すようにヘッド22に対しAまた
はB方向への駆動力を与え、ヘッド22の中心位置がト
ラック12の中心位置と一致するようにトラッキング制
御する。23b. Therefore, the laminated piezoelectric element 23a
, 23b apply a driving force to the head 22 in the direction A or B as shown in FIG. 2, and perform tracking control so that the center position of the head 22 coincides with the center position of the track 12.
ところで今、ヘッド22に側らかの外力が加わったとす
る。しかるにヘッド22はその両側を積層圧電素子23
a、23bKより挾持されており、しかも両圧電素子2
3a、23hの外側は機械的強度の大きな部材で形成さ
れた枠体20の両脚211L、21bによって堅固に保
持されているため、上記外力によってヘッド22の位置
が大幅にずれるおそれはない。したがって従来のような
ずれ量補正のための大きな電圧を圧電素子23a、23
bに与えるべく増幅器24.25のダイナミックレンジ
を格別大きくする必要もないeまたオフセット吸収のた
めのサーボ利得を確保する必要もな史のでサーボ系の安
定性が得られる。一方、第2図に示す如く、ヘッド22
は平行な二押21a、21b間において一対の積層圧電
素子23 a 、 2 、? bにより両側を均等に挟
圧保持されるので、格別の調整手段を講じなくともヘッ
ド22の垂直度および平行度が容易に得られ組立てが容
易な利点がある。Now, suppose that an external force is applied to the head 22 from the side. However, the head 22 has laminated piezoelectric elements 23 on both sides.
a, 23bK, and both piezoelectric elements 2
Since the outer sides of 3a and 23h are firmly held by both legs 211L and 21b of frame body 20 formed of a member with high mechanical strength, there is no fear that the position of head 22 will be significantly shifted by the external force. Therefore, a large voltage is applied to the piezoelectric elements 23a and 23 for correcting the amount of deviation as in the conventional case.
There is no need to make the dynamic range of the amplifiers 24 and 25 particularly large in order to provide for the offset absorption, and there is no need to ensure servo gain for offset absorption, so stability of the servo system can be obtained. On the other hand, as shown in FIG.
is a pair of laminated piezoelectric elements 23 a, 2, ? between two parallel presses 21a, 21b. Since both sides are equally held under pressure by b, the perpendicularity and parallelism of the head 22 can be easily obtained without any special adjustment means, and the assembly is easy.
捷だ第]、第2の積層圧電素子23 a 、 23bけ
第2図、第3図に示すように圧電素子の厚み方向縦振動
を利用しているので、バイモルフ素子の構造的弱さがな
く、しかも長大化するおそれがない。さらに第3図に示
すように、各圧電素子単体31〜36の分極方向を交互
に180゜異ならせて積層しているので、゛各圧電素子
単体相互間に介在している電極層全単一化しその両側に
隣接している2つの圧電素子単体に対し共用できる。そ
の結果、第5図に示すように分極方向を一様にして積層
したものに比べると、各電極層の構造が単純化される一
ヒ、配線も簡略化される。なお第5図中、6ノ〜66は
各圧電素子単体、71a、71b 〜75a、75bは
各圧電素子単体61〜65の両側に配設した電極層、8
1〜86は絶縁層である。本実施例によれば上記各対を
なす電極層71a、71b〜75a、75bがそれぞれ
単一化ちれる結果、絶縁層81〜86も省略できること
になる上、電極に対する配線も1つおきに共通接続すれ
ばよいものとなる。As shown in FIGS. 2 and 3, the second laminated piezoelectric elements 23a and 23b utilize longitudinal vibration in the thickness direction of the piezoelectric elements, so they do not have the structural weakness of bimorph elements. , and there is no risk of it becoming too long. Furthermore, as shown in FIG. 3, since the individual piezoelectric elements 31 to 36 are laminated with their polarization directions alternately different by 180 degrees, ``all the electrode layers interposed between the individual piezoelectric elements are It can be shared by two piezoelectric elements adjacent to each other on both sides. As a result, the structure of each electrode layer is simplified and the wiring is also simplified, compared to a structure in which the polarization direction is uniform and the layers are stacked as shown in FIG. In FIG. 5, 6 to 66 are individual piezoelectric elements, 71a, 71b to 75a, and 75b are electrode layers disposed on both sides of each individual piezoelectric element 61 to 65, and 8
1 to 86 are insulating layers. According to this embodiment, the electrode layers 71a, 71b to 75a, and 75b forming each pair are unified, so that the insulating layers 81 to 86 can also be omitted, and the wiring for every other electrode is common. All you have to do is connect.
第6図は本発明の他の実施例を示す斜視図である。第6
図において、91はステップモータ、92はボールネジ
、93はコ字形の枠体、94は上記枠体の三脚93a、
93b間に配置きれた磁気へ、ド、95a 、95bは
第1+第2の積層圧電素子である。この実施例でに[ヘ
ッド94のギャップ位置が第2図とl−1’90°異な
ったものとなっている。このような構成のものであって
も、前記実施例と同様の作用効果を奏するのは勿論であ
る。FIG. 6 is a perspective view showing another embodiment of the invention. 6th
In the figure, 91 is a step motor, 92 is a ball screw, 93 is a U-shaped frame, 94 is a tripod 93a of the frame,
95a and 95b are first and second laminated piezoelectric elements. In this embodiment, the gap position of the head 94 is different from that in FIG. 2 by l-1'90°. Of course, even with such a configuration, the same effects as those of the embodiment described above can be achieved.
なお本発明は上述(、た実施例に限定されるものでは々
い。たとえば前記実施例では本発明を磁気ディスク装置
用のヘッドアクチュエータとして使用する場合を例示し
たが、ヘリカルスキャニング方式のVTR用へラドアク
チーエータにも使用できる。ただしこの場合に第2図お
よび第6図に示したボールネジ14は不要で、yV−ル
ネノ挿通部位に設けた枠体の軸を回転シリングの軸と平
行に取付ければよい。さらに光学式ディスク装置の光学
式へラドアクチーエータあるいはフォーカシングアクチ
ュエータとしても使用できる。Note that the present invention is not limited to the embodiments described above. For example, in the embodiments described above, the present invention is used as a head actuator for a magnetic disk device, but it is also applicable to a helical scanning type VTR. It can also be used with a Rad actuator.However, in this case, the ball screw 14 shown in Figures 2 and 6 is not necessary, and the axis of the frame provided at the yV-Runeno insertion site is installed parallel to the axis of the rotary sill. Furthermore, it can be used as an optical radar actuator or focusing actuator for an optical disc device.
以上説明したように、本発明によれば機械的強度の大き
な部材で形成された枠体の三脚間に配置した駆動対象物
を第1.第2の積層圧電素子にて両側から挾持する如く
にし、これら各圧電素子に対し駆動制御情報に応じた所
定極性の制御電圧を印加することにより、駆動対象物を
所定位置に駆動制御するように[またものであり、圧電
素子の厚み方向縦振動全利用したものであるから、駆動
素子の機械的強度が十分大きなものとなり、たとえ駆動
対象物に外力が加っても、この駆動対象物を安定に保持
できると共に、駆動素子が長大化せず全体をコンパクト
に形成できる。捷た本発明によ引ば、第1.第2の積層
圧電素子と(〜で、それぞれ複数の圧電素子単体を、分
極方向を交互に180°異方らせて積層(盆ものを使用
しているので、各圧電素子部体相互間に挿入される電極
構造を単純化でき、構成が簡単で組立ておよび配線が容
易であり、たとえば小型の可搬式磁気記録装置のへラド
アクチュエータ等として好適なアクチュエータを提供で
きる。As explained above, according to the present invention, the driven object placed between the tripods of the frame made of a member with high mechanical strength is moved to the first. The object to be driven is controlled to be driven to a predetermined position by sandwiching the object from both sides with the second laminated piezoelectric element and applying a control voltage of a predetermined polarity to each of these piezoelectric elements according to drive control information. [Also, since it makes full use of the vertical vibration in the thickness direction of the piezoelectric element, the mechanical strength of the driving element is sufficiently large, and even if an external force is applied to the driven object, it will not be able to move the driven object.] It can be stably held, and the drive element does not become long, making the entire structure compact. According to the present invention, 1. With the second laminated piezoelectric element (~), each piezoelectric element is laminated with the polarization direction alternately anisotropic by 180 degrees (since a tray is used, there is a gap between each piezoelectric element body). The inserted electrode structure can be simplified, the structure is simple, assembly and wiring are easy, and it is possible to provide an actuator suitable for use as, for example, a head actuator for a small portable magnetic recording device.
第1図〜第4図は本発明の一実施例を示す図で、第1図
は機構部の構成を示す断面図、第2図はヘッド保持体の
具体的構成を示す斜視図、第3図は第1.第2の積層圧
電素子の詳細な構成を示す図、第4図はトラッキング情
報検出手段を示す図、第5図は同実施例の作用説明のた
めに示し、た積層圧電素子の構成例を示す図、第6図は
本発明の他の実施例を示すへ、ド保持体の斜視図である
。
11・・・回転磁気ディスク、12・・記録トラ。
り、13.91・・・ヘッド送り用ステップモータ、1
4.92・・・ゾールネジ、15・・へ、ド保持体、2
0 、93−・・枠体、21 a 、 2 l b 、
9.7 a 。
9 、? b−・二押、22.94−・磁気ヘッド、2
3a。
23b 、 95 a 、 95 b−積層圧電素子、
24゜25・・・電圧増幅器、31〜36・・・圧電素
子単体、41〜47・・・電極層、51.52・・・ト
ラッキング情報検出用再生へ、7ド、53.54・・エ
ンペローゾ検波器、55・・・差動増幅器、出願人代理
人 弁理士 鈴 江 武 彦第1図
第2図
第3図
第41図1 to 4 are views showing one embodiment of the present invention, in which FIG. 1 is a sectional view showing the structure of the mechanism section, FIG. 2 is a perspective view showing the specific structure of the head holder, and FIG. Figure 1. FIG. 4 is a diagram showing the detailed configuration of the second laminated piezoelectric element, FIG. 4 is a diagram showing the tracking information detection means, and FIG. FIG. 6 is a perspective view of a door holder showing another embodiment of the present invention. 11... Rotating magnetic disk, 12... Recording track. 13.91...Step motor for head feeding, 1
4.92... Sol screw, 15... To, do holder, 2
0, 93--frame body, 21 a, 2 l b,
9.7 a. 9,? b-・Two presses, 22.94-・Magnetic head, 2
3a. 23b, 95a, 95b - laminated piezoelectric element,
24゜25...Voltage amplifier, 31-36...Piezoelectric element alone, 41-47...Electrode layer, 51.52...To playback for tracking information detection, 7 de, 53.54...Enperoso Detector, 55...Differential amplifier, Applicant's representative Patent attorney Takehiko Suzue Figure 1 Figure 2 Figure 3 Figure 41
Claims (1)
強度の大きな部材で形成された枠体と、この枠体の三脚
間中央に配置された駆動対象物と、この駆動対象物の一
側面と前記一方の脚の内側面との間に挿着された第1の
積層圧電素子と、前記駆動対象物の他側面と前記他方の
脚の内側面との間に挿着された第2の積層圧電素子と、
上記第1.第2の積層圧電素子に対し駆動制御情報に応
じた所定極性の制御電圧を印加し前記駆動対象物を所定
位置に駆動制御する手段とを具備し、前記第1.第2の
積層圧電素子はそれぞれ複数の圧電素子単体を、分極方
向を交互に180°異ならせて積層したものであること
を特徴とするアクチュエータ。A frame body formed of a member with high mechanical strength and having tripods facing each other in parallel at a predetermined distance, a driven object disposed at the center between the tripods of this frame body, and one side of this driven target object. and an inner surface of the one leg, and a second piezoelectric element inserted between the other surface of the driven object and the inner surface of the other leg. A laminated piezoelectric element,
Above 1. means for applying a control voltage of a predetermined polarity according to the drive control information to the second laminated piezoelectric element to drive and control the driven object to a predetermined position; An actuator characterized in that each of the second laminated piezoelectric elements is a plurality of piezoelectric elements laminated with their polarization directions alternately different by 180 degrees.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3690383A JPS59162673A (en) | 1983-03-07 | 1983-03-07 | Actuator |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3690383A JPS59162673A (en) | 1983-03-07 | 1983-03-07 | Actuator |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS59162673A true JPS59162673A (en) | 1984-09-13 |
JPH048867B2 JPH048867B2 (en) | 1992-02-18 |
Family
ID=12482731
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3690383A Granted JPS59162673A (en) | 1983-03-07 | 1983-03-07 | Actuator |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS59162673A (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6211266U (en) * | 1985-07-05 | 1987-01-23 |
Families Citing this family (1)
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---|---|---|---|---|
JP5404460B2 (en) | 2010-02-09 | 2014-01-29 | 三菱重工業株式会社 | Engine exhaust purification apparatus and method, and filter regeneration system for engine exhaust purification apparatus |
-
1983
- 1983-03-07 JP JP3690383A patent/JPS59162673A/en active Granted
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6211266U (en) * | 1985-07-05 | 1987-01-23 | ||
JPH056603Y2 (en) * | 1985-07-05 | 1993-02-19 |
Also Published As
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---|---|
JPH048867B2 (en) | 1992-02-18 |
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