JPS5915941U - センサ - Google Patents
センサInfo
- Publication number
- JPS5915941U JPS5915941U JP10932982U JP10932982U JPS5915941U JP S5915941 U JPS5915941 U JP S5915941U JP 10932982 U JP10932982 U JP 10932982U JP 10932982 U JP10932982 U JP 10932982U JP S5915941 U JPS5915941 U JP S5915941U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sensor
- silicon chip
- moisture
- joint
- recorded
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来のセンサの縦断面図、第２図および第３図
は本考案のセンサの一実施例を示す縦断面図である。 ６・・・シリコンチップ、７・・・ガラス台、８． ９
・・・被覆部材。
は本考案のセンサの一実施例を示す縦断面図である。 ６・・・シリコンチップ、７・・・ガラス台、８． ９
・・・被覆部材。
Claims (1)
- シリコンチップとこのシリコンチップに接着したガラス
台とからなるセンサにおいて、接合部に防湿コーティン
グを施したことを特徴とするセンサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10932982U JPS5915941U (ja) | 1982-07-21 | 1982-07-21 | センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10932982U JPS5915941U (ja) | 1982-07-21 | 1982-07-21 | センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5915941U true JPS5915941U (ja) | 1984-01-31 |
Family
ID=30254719
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10932982U Pending JPS5915941U (ja) | 1982-07-21 | 1982-07-21 | センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5915941U (ja) |
-
1982
- 1982-07-21 JP JP10932982U patent/JPS5915941U/ja active Pending
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